遠心分離機『IOW遠心オイルセパレーター』

PR潤滑油の汚染物質を高効率で除去し、装置メンテナンスを抑制。CO2排出量…

『IOW遠心オイルセパレーター』は、高い汚染物質除去能力を持ち、 潤滑オイルから不純物やサブミクロンレベルの粒子を高効率除去し、 エンジンの安定稼働とメンテナンスコストの削減に貢献します。 機械部品の摩耗防止による機械寿命の延長化により、 装置メンテナンスの抑制によるダウンタイム削減が図れるほか、 エンジンの安定稼働で燃料消費の無駄を削減できるため、 CO2排出量削減に向けた取り組...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノサポート

災害の先の安心を提供する非常用貯水槽『Multi Aqua C』

PR1本150Lの貯水タンクシステム！断水を伴う発災後ただちにひっぱくする…

『Multi Aqua C』は、断水を伴う災害直後の高鮮度の水の確保という課題をただちに解決する非常用貯水槽です。 大規模災害の場合、発災後一定期間の帰宅抑制、事業場の災害拠点化を迫られます。その場合、ただちに直面するのが水の確保の問題です。一般的に電気、ガスに比べて復旧に時間のかかる断水復旧。『Multi Aqua C』は、企業のBCP対策、一時帰宅困難者対策としてもお使いいただけます。 設置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…

で、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によっ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

低ガス放出・低温化を実現する 0.2%BeCu合金技術資料

従来の常識を破る真空構造材 0.2%BeCu合金 低ガス放出・…

真空構造材といえばステンレスやチタンがが一般的ですが熱線（赤外線～可視光）の吸収率が非常に大きく、しかも熱が伝わりにくい金属です。 そのため、一旦熱が吸収されると、熱が逃げにくく真空チャンバーやフランジなどの温度が上昇し、 結果、ガス放出が大きくなってしまう問題が生じます。 ベリリウム銅は同の持つ特性として熱伝導率が極めて高く、さらに熱輻射率が低いことから高温にならず、ガス放出を大きく抑えること...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■到達真空を改善 ■銅...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

【ウェビナーご招待】デバイスの質量ガス分析

極微少量の「残留ガス」検知で半導体チップや車載センサの劣化防止｜超高性…

この度、ものづくりや研究開発に携わる技術者のためのデジタル放送局 『アペルザTV』（運営：株式会社アペルザ）への出演が決定いたしました！ アペルザTVは、事前登録により無料でご視聴いただけますので、 下記URLよりご登録の上、是非この機会にご視聴ください！ ▼半導体・電子部品製造特集の視聴登録はこちらから https://tv.aperza.com/event/92?utm_so...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極高真空計『3B-Gauge』

X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計

『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現！

『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計（質量分析計）です。 RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、 カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。 メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセス…

INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。 ...・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計 ・365日の継続...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

　非蒸発型ゲッターポンプ　マジックNEG

残留水素でお悩みの方に！

0.2%BeCu合金の真空容器に小型のニップルNEGカートリッジを挿入したNEGポンプです。 活性化は中央部に配置したスパイラル状のタンタルヒーターで行います。 銅合金の低輻射率、高熱伝導性が活かせてポンプ自体からのガス（水素）放出が 従来型NEGポンプの1/10まで小さくなっています。 450℃活性時に要する電力はICF70タイプが22W、114タイプが50Wと省電力です。 0.2%BeCu合金...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

『魔法のニップル』

0.2% BeCu合金製材料の特性を活かしたアイディア商品をご紹介！

『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。 BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に 触ってみると、かなり温かくなっているはずです。真空を下げるために、 熱陰極電離真空計を切ってしまいたいと誰もが一度は考えます。 しかし、真空計が無ければ中の真空はわかりません。そんな時、当製品を 試してください。 今お使い...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

で、 低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。 また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。 電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。 【アプリケーション例】 ■XHV／UHVの高精度なガス分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によっ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか？

答えはこちら！真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご…

素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材！ BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】 ■真空系のガス放出を大幅に低減 ■到達真空を改善 ■銅表面はNiP...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

極高真空(XHV)製品『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで 従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を 大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、 温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 ★12月11日(水)より...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10?Pa ～ 10-?...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社