ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【サンプル提供可能！】シリコンフォームシート「ハマガスフォーム」

PR広範囲での使用を可能にした、環境に配慮したシリコンフォームシート！

『ハマガスフォーム』は、液状シリコーンゴムの発泡体で 断熱、遮音、耐熱、難燃性において、優れた特性をもつシートです。 －40℃～180℃迄、短時間なら200℃まで物性に変化がないので安心 して使用できます。撥水性にも優れているため、グラスウール、 ウレタンフォームに比べ長期断熱性がよいです。 また、フロン、炭酸ガス等地球環境問題になるものは一切使用して おらず、万一燃焼してもハ...

メーカー・取り扱い企業： 浜松ガスケット株式会社

超音波（スイープ発振、パルス発振）システム－ノウハウ－

－－オリジナル超音波プローブの発振制御による、非線形振動現象をコントロ…

：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 各種対象（水槽、振動子、プローブ、治具、対象物・・・）について 基本的な超音波の音響特性（応答特性、伝搬特性）を確認...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

ハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

一つのチャンネルから二種類の超音波プローブを発振制御するシステム

超音波の非線形現象をコントロールする技術

す。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２０ＭＨｚ 　伝搬制御範囲　１ｋＨｚ～５００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 興味のある方は、メールでお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

ファンクションジェネレータを利用した超音波システム

非線形現象をコントロールする超音波発振（スイープ発振）システム

：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 各種対象（水槽、振動子、プローブ、治具、対象物・・・）について 基本的な超音波の音響特性（応答特性、伝搬特性）を確認...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波プローブを利用した超音波制御システム

超音波の発振プローブと受振プローブによる制御システム

超音波発振制御プローブ（概略仕様） 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．１ｋＨｚ～１０ＭＨｚ 　解析範囲　０．０１Ｈｚ～１ＧＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　（材質・サイズ・構造・・・音響特性に合わせた対応が可能です） 超音波受振プローブ（概略仕様） 　＊測定（解析）周波数の範囲 　　仕様　０．１Ｈｚ　から　１０...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波システム（音圧測定解析、発振制御）

「超音波テスターＮＡ（１０ＭＨｚ、１００ＭＨｚ）」と「超音波発振システ…

：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 注：超音波の伝搬特性 １）振動モードの検出（自己相関の変化） ２）非線形現象の検出（バイスペクトルの変化） ３）...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

表面弾性波の伝搬制御に基づいた、超音波伝搬用具の開発・製造技術

各種利用目的に対応した、超音波伝搬用具の開発方法を、コンサルティング対…

：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波プローブの伝搬特性テスト

オリジナル超音波プローブのダイナミック特性を評価する技術

の範囲に対して、製造対応可能となっています。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～３００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 注： １）低周波の共振特性 ２）高調波の非線形特性 ３）超音波伝搬現象のダイナミック特性 ＜材質・形状...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

非線形現象の音圧測定解析に基づいた、超音波洗浄機の改良技術

超音波の音圧測定・解析・制御・評価システムの応用技術

の利用レベル・目的に合わせて製造対応します。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波伝搬現象の分類に基づいた、超音波プローブの製造技術

ーー７００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を制御可能にする、超音波プローブの…

発振制御プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．１ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　（伝搬周波数範囲　１ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜材質・形状・構造・・・による音響特性＞を 　把握（測定・解析・評価）することで、 　目的に合わせた超音波の伝搬状態を実現...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波発振制御プローブの製造技術（コンサルティング対応）

製造技術・データの解析評価技術を提供します

超音波プローブの製造技術を開発しました。 超音波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波の各種相互作用を評価する技術ー音圧データのパワー寄与率解析

－－自己回帰モデルによるフィードバック解析：パワー寄与率の解析－－水槽…

：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～２００ＭＨｚ 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 　伝搬範囲　０．５ｋＨｚ～７００ＭＨｚ以上（解析により確認評価） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ 超音波の伝搬特性 １）振動モードの検出（自己相関の変化） ２）非線形現象の検出（バイスペクトルの変化） ３）応答...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

超音波と表面弾性波（オリジナル超音波システムの開発技術）

オリジナル超音波プローブの「発振・制御」技術

波プローブ：概略仕様 　測定範囲　０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ（特別タイプ　２００ＭＨｚ） 　発振範囲　０．５ｋＨｚ～１００ＭＨｚ（特別タイプ　３００ＭＨｚ） 　材質　ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 　発振機器　例　ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 　発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性につい...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

溶剤系洗浄システム「減圧超音波洗浄装置 マイスター」

最強洗浄力、省洗浄剤、全自動！独自の減圧超音波洗浄システム

実現しました。 自動で洗浄剤を入れ替えて粗洗浄および仕上洗浄の“浸漬2回洗浄”を行います。 その上で蒸気洗浄によるリンスを行うため、きわめて高水準の清浄度を得ることが可能です。 炭化水素系、シリコン系洗浄剤など向け（防爆対応）「マイスターα」、フッ素系、臭素系、塩素系洗浄剤など向け「マイスターβ」、ノンハロゲン非引火性洗浄剤など向け（防爆対応）「マイスターΩ」がございます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プリス

スピン＆コンベア処理装置　（エッチング・洗浄・剥離）

高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能！

せ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装置、スクラブ洗浄、ウエハ剥離装置、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

る省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表…

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

シャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット