【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech出展＞

PRエアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ！…

クイッククランパーシリーズ新製品！カスタムクランパー エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ。 両端に追加されたリニアブッシュにより、スラスト荷重を受けることが出来ます。 カスタムクランパーをならいユニットに使用すれば、素子の配置パターン替えも容易になります。 高さ調整や位置決め、Z軸の落下防止用途、治具、ロボットハンドなど、様々な用途にご利用いただけます。 【使用...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

【総合カタログ 進呈】省エネ・省コスト用断熱保温ジャケット

PR着脱自由で簡単施工！繰り返し使用可能な耐熱・保温カバーで省エネ・省コス…

当社では素材の一環生産により耐熱性のある特殊樹脂加工を施した生地を生産し、 その蓄積した技術により優れた断熱効果で省エネ・省コストや室温の安定化を実現する 作業環境に配慮した断熱保温ジャケットを製作・販売しております。 省エネ型新保温材「インシュレートジャケット」は、着脱自由なデザインと簡単施工で バルブ、配管、フランジ装置などの機器類を保護しながらその放熱を抑える保温材として、 過剰な燃料や電...

メーカー・取り扱い企業： 泉株式会社 東京本社

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！ ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

サイズ: DN 16 – 50 mm (⅝“ – 2“) アクチュエータ: 手動式 回転ハンドル付き 圧空作動式 単動シリンダー スプリングによる閉動作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

でプロセス側から保護 開口サイズ: 50 x 336mm to 80 x 500mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム シール技術: L-MOTION ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

サイズ: DN63-250mm アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: 15.0/15.1 アルミニウム、15.2 ステンレススチール 軸シール: 15.0 O-リング軸シール、15.1/15.2 ベローズ軸シール 標準フランジ: 15.0/1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール シール技術: MONOVAT機構 ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: VATRING "hard on ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVアングルバルブ　Series 28.4

腐食性ガスにも対応！

サイズ: DN 16 – 63 mm (⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ビームストッパー/ビームストッパー インサート

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

サイズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

緊急遮断シャッターシステム　Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

サイズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社