オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』

さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア …

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 　　　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など 【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioのSTMシュミレーション

『Materials Studio』でのPd上にあるCOのSTM像…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudio充電放電 における電極膨張

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

article-PLUS』》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、 プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発シミュレーション『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

半導体材料開発解析ソフト『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

新規材料開発の為のソフト『Materials Studio』

さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア …

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CFRP(炭素繊維)等解析に『Materials Studio』

CFRP(炭素繊維)などの溶解解析シミュレーション はじめ、さまざまな…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

高機能材料の解析に『Materials Studio』

高機能材料などの解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

トライボケミカル解析に『Materials Studio』

トライボケミカル(潤滑)反応のシミュレーション はじめ、さまざまなタ…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

混合ポリマーなどの解析に『Materials Studio』

ポリマーなどの溶解解析などのシミュレーション はじめ、さまざまなタイ…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

第一原理計算には『Materials Studio』

材料開発シミュレーションソフト マテリアルズインフォマティクスに適応…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 　　　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』

材料開発シミュレーションソフトウェア 量子力学、古典力学、メソスケー…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 　　　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例紹介】Li-S電池用のグラフェン材料調査

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など 【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudio電解液の還元とSEI膜形成

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など 【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudio　遷移状態探索

【事例】LST/QSTを使用した遷移状態探索をご案内します

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例紹介】グラファイトアノード上Liイオン拡散エネルギー

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など 【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Materials Studio Y添加剤の特性

【事例】Materials Studio　半導体デバイス　 Y添加剤Z…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioのクマリンの光学特性計算

『Materials Studio』でのクマリンの光学特性計算シュ…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioの高分子/金属表面相互作用

『Materials Studio』での「高分子/金属表面」の相互…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudio半導体バンドギャップ計算

『Materials Studio』は半導体材料開発にも役立ちます …

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioの電解液内の金属イオン凝集

『Materials Studio』での電解液内の金属イオンの凝集…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioの樹脂と銅界面の引張試験

『Materials Studio』での樹脂と銅界面の引張試験 事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】MaterialsStudioの水溶媒中金ナノ粒子の凝集

『Materials Studio』での水溶媒中の金ナノ粒子の凝集…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Materials Studio 有機分子の物性予測

【事例】Materials Studio　機械学習を有機分子に適用 …

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール 【事例】 ・結晶成長 ・結晶表面の原子の挙動 ・結晶解析 ・物性値の計算 ・スパッタリングシミュレーション ・潤滑剤の性能向上 ・触媒 ・トライボケミカル(潤滑)反応 　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 株式会社ウェーブフロント 営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社