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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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PRコンパクトなデザインの目詰まりの無い連続式自動デカンタ型遠心脱水機!
世界大手の遠心分離機メーカーのデカンタ型遠心脱水機です。 デカンタ型の特徴 ・目詰まりが無い ・洗浄水が少ない ・クローズタイプで臭気が少ない ・汚泥性状(濃度)の変動にも幅広く対応 ・自動運転で手間が掛からない ・小設置スペース...弊社デカンタの特徴 ・処理量 :数百L/h~90m3/h(豊富なラインナップ) ・高遠心力 :最大3400G~4060G(機種により異なります)...
メーカー・取り扱い企業: GEAジャパン株式会社 本社
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高圧洗浄バキュームアタッチメント【スピンバック600/450】
高圧洗浄機とバキューム機の先端に取り付ける高スペックアタッチメント …
【施工対象床材】 ○インターロッキング ○御影石バーナ仕上げ ○磁器タイル ○コンクリート石畳 その他、吸水性の高い床材に適しています。 ※スピンバックの使用には、強力吸着装置が必要となります。 ※事前に予告なく一部使用が変更になる場合がございますので、ご了承ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アピア
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従来難しいとされてきたインターロッキングの洗浄を可能にした洗浄システム
『スピンバック洗浄システム』は、従来難しいとされてきた、 インターロッキングの洗浄を専用の機械を使用することにより、 洗浄を可能にした洗浄システムです。 高圧ノズルで洗浄後に、汚水を即回収するこ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナショナルメンテナンス
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,200x1,500x2,000mm ・自動消火システム、防爆ガラス等安全...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
ション数:1チャンバー(増設可) ・スクラブ機能:高圧ジェット ・処理液:有機系剥離液・純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過 ・処理能力:60枚/時 ・搬送ロボット:搬送ユニット ・スピンチャック:メカニカルチャック ・搬送ロボット:センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法(WxDxH):1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
M、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット/ドラムならびにキャリアレス(※搬送ロボットは上部/下部の2種類があります。) ・乾燥 スピンドライヤー/リンサードライヤー/IPAドライヤー(※IPAは内製品です。) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…
ズルチップの形状・ポンプ容量 は 洗浄の目的 必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 スピン・エアーナイフによる乾燥、 他洗浄方法(超音波・薬液等)と合わせての装置化 等 ご要望に応じてご提案させて頂きます。 ※ 写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
ワー等 ・処理チャンバー数:2, 4チャンバー ・処理液:有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給:薬液の循環回収・濾過・温調システム ・ワーク搬送:ダブルアームスカラロボット ・スピンチャック:バキュームチャック ※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法(WxDxH):1,900x2,700x2,200mm(2チャンバー) ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に!1秒間に30回のノズル開閉…
ズルチップの形状・ポンプ容量 は 洗浄の目的 必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 DP-Gun取り付けステー、洗浄槽・移動ステージ、 スピン・エアーナイフによる乾燥、 他洗浄方法(超音波・薬液等)と合わせての装置化 等 ご要望に応じてご提案させて頂きます。 ※ 写真はDP-Gunの複数台使用時の連結イメージと ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクニカルフィット
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