チャック | イプロスものづくり

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツレダース社製の高速ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゴーショー

ロボット向けハンドリング機器選定ガイド

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。製品の選定にご活用ください。【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業：新光電機株式会社

高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』

極薄基板などワークの防汚課題を解決！フィルムなどデリケートな薄物ワーク…

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。また、ワークは浮上ユニットで...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

【採用事例4】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：吸着・研磨】独創的なアイディアで将来性に期待、技術開発の連携…

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。ご相談いただいたD社様では下記のような課題がございました。【課題】研磨装置の開発、販売を行っているが、研磨時のワーク固定が課題… 新技術を活用した製品開発の必要を感じて...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

【採用事例3】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：吸着】高い技術力ですべての課題をクリア、新たな挑戦に向けて

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。ご相談いただいたC社様では下記のような課題がございました。【課題】従来の真空チャック製品では吸着面のエアー抜きの穴にフィルム素材が引き込まれ、たわみが生じるため品質上...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

【採用事例1】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：浮上】安定したワークの浮上により作業効率と品質の向上を実現

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。【課題】・レーザーアニールではワークに光をあてるためピント合わせが難しい… ・ワークを浮かせたままレーザーをあ...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

【採用事例2】高精度多孔質セラミックス真空チャック

【用途：研磨】ワックス不要による工程削減で作業効率アップに成功

『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質セラミックス真空チャックです。ご相談いただいたA社様では下記のような課題がございました。【課題】研磨の際にサファイア基板をワックスで固定しているが、貼る、剥がす、洗浄するといった一連の作業に手間と...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

セラミック製品　超精密真空チャック

材料を創設し、いつの日かを創造する

ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NTKセラテック

セラミック製品　ＥＳＣ（静電チャック）

材料を創設し、いつの日かを創造する

各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャックをラインナップしています。プラズマ環境領域、電子線使用領域、極低膨張仕様等用途に応じた製品を開発・試作段階から提供いたします。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NTKセラテック

ウェハチャック　SiC/Si複合材料による改善事例　

JFC独自の金属セラミックス複合材料MMCによる問題解決の事例を実績よ…

アルミの軽さと鉄の剛性を併せ持ち、高熱伝導、低熱膨張を特長とする複合材料MMC。SiCとSiの複合材料はポアレスでパーティクル防止効果があり、ウェハチャックに適した材料です。【主な特長】 ■軽量　■高剛性　■高熱伝導　■低熱膨張　■耐摩耗【採用効果】軽量・高剛性による装置性能向上やエネルギー効率向上、高熱伝導・低熱膨張による熱問...

メーカー・取り扱い企業：日本ファインセラミックス株式会社

セラミック製品　ポーラスチャック

材料を創設し、いつの日かを創造する

平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。...【特徴】 ○ポーラスと基台が一体構造　独自の技術により、基台とポーラス体の界面は、一体構造を有しています。　これにより、非常に優れた吸着面の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NTKセラテック

ファインセラミックス『アルミナセラミックス（AL203）』

機械強度、絶縁性、耐熱、耐腐食などバランスよく優れた材料！セラミックス…

では安価に提供可能 ■セラミックスの特長である高強度、絶縁、耐熱、耐摩耗、耐食性等　すべてにおいてバランス良い特性 ■電気絶縁性、耐熱性（1500℃）【用途例】 ■精密部品（真空チャック、絶縁リング・ガイド　など） ■定盤（XYテーブル、エアスライダー　など） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

ファインセラミックス『炭化珪素（SiC）』

ファインセラミックスの中では耐食性に優れ高温下でも強度を保つ材料！

く、グレードによっては窒化アルミ同等の伝導率がある ■高温構造材料、耐蝕材料として優れた特性 ■クリープ抵抗性、耐酸化性も高い特性を有する【用途例】 ■半導体製造装置用プレート、チャック、定盤、フィンガー　など ■耐摩耗用ノズル、メカニカルシール　など ■耐食用反応管、酸処理用治具　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

太陽電池製造装置向け　複合材料MMC

セラミックスを超える高熱伝導！シリコン並みの低熱膨張を実現！

クスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しました。 SiCやAlNを超える熱伝導率！複合比率を変更することにより、さまざまな特性を実現できます。表面処理（めっき）が可能で、静電チャックにも使用可能です。セラミックスよりも大型化が可能です。 SiCとアルミの組み合わせもラインナップしてます。 ●●●詳しくはPDFカタログを参照ください。●●●...

メーカー・取り扱い企業：日本ファインセラミックス株式会社

【加工実績】セラミック加工技術

微細、プレート、円筒、長尺物、球面など！セラミック加工は当社へお任せく…

ご相談ください。【加工実績】 ■面粗度：試料研究用途に必要とされる鏡面研磨　　　　SiC：Ra 0.3nm / YAG：Ra 0.4nm / ジルコニア：0.4nm ■形状精度：チャックプレートやスライダーでは高精度の形状加工を必要とする　　　　　　平面度はλから数μmレベル、凹凸形状のご要望にもご対応可能　 ■実績材料：SiC、アルミナ、ジルコニア、YAG、カーボン、など...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリスタル光学

製品カタログ　半導体製造装置用セラミックス製品

ウェハ製造プロセス・デバイス製造プロセスで用いられるセラミックス製品を…

ハポリシングプレート　・SiC製ウェハポリッシングプレート　・ドレッシングプレート　他 ■デバイス製造プロセス　・プラズマプルーフドーム　・プラズマプルーフリング　・静電チャック　他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：橋本理研工業株式会社

石川技研工業株式会社　事業紹介

一貫生産、多品種や一点物の加工・試作品加工など、お客様の利便性を追求。

【事業内容】 ○セラミックス事業 ○各種機能材料部品加工【製品紹介】 ○半導体生産設備 →素材：セラミックス →用途：静電チャック、ヒータープレート等 ○治具・生産設備・切断機 →素材：セラミックス、超硬 ○塗料製造メーカー、治具、生産設備 →素材：セラミック、超硬、金属 ○電気部品 →素材：フェライト【...

メーカー・取り扱い企業：石川技研工業株式会社

【製品事例無料プレゼント】セラミックス接合製品

《新品交換はもう不要》セラミックス接合製品で１０倍以上寿命アップ！金属…

【掲載製品】 ■エンジニアリングセラミックス ■マシナブルセラミックス ■導電性ジルコニア ■多孔質セラミックス（ポーラス） ■透明セラミックス ■Vブロック ■位置決めピン ■チャックツメ ■整列ガイド ■軸受け ■ストッパー ■搬送レール ■チャック ■導電性セラミックス　など ※製品事例はカタログダウンロードからご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミテック