高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

ロボット向けハンドリング機器選定ガイド

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。 グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、 多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。 電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、 多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業： 新光電機株式会社

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置：フロートチャックSAC型

オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構：非接触搬送装置「フロ－トチャックSAＣ型」には吸引力を生じるエゼクタ効...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ELID搭載　研削盤『ヒカリオン(R)・ラップ研削盤III型』

ELID（電解インプロセスドレッシング）搭載型のラップ研削盤！片面／両…

ラップ研削盤 ■□■特徴■□■ ■片面ラップ、両面ラップ研削が可能 ■一定圧での研削が可能（圧力転写型加工） ■強制切込みによる研削が可能（運転転写型加工） ■ワークの保持に真空チャックを採用、ワークの着脱が簡便 【ヒカリオンラップ研削盤の研削加工形態】 　１）高能率研削 　　　粗粒メタルボンド砥石を用いた強制研削 　２）鏡面研削 　　　微細砥粒メタルボンド（または...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ワークを空中に浮遊した無接触（非接触）状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜すること...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

『チャッククリーニングウェハ(CCW)』についてご紹介します。 当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量が1/3である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

□2.0mmウエハチップ非接触チャック

微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。

　「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ＩＣミュウチップを非接触状態にてつかみ搬送しま...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

超細・長尺ワ－クを非接触吸引するため新方式： 気体垂直噴流方式（VGF方式)を採用。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSA-CL型」シリーズは極細・長尺ワ－クを効率良く吸引するため新しく気体垂直噴流方式（VGFS)を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行いま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

半導体製造装置用セラミック静電チャックの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体製造装置用セラミック静電チャックのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月14日に発行しました。本レポートでは、半導体製造装置用セラミック静電チャック市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,000mm ・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

冷凍チャックシステム

水を凍結することにより加工物を固定する方式で、非磁性体材料や硬脆材料、…

料や硬脆材料、また複雑な曲面形状を有する加工物でも チャッキングが可能です。 特に樹脂、ゴム系材料は冷却効果によりバリやカエリを ほぼ生じることなく切断等が可能です。 エス・シー・エムではチャック・クーラント装置・媒体を各種取り揃えトータルなシステムでノウハウと共に ご提供致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エス・シー・エム

非接触搬送装置「フロートチャックWLNA型」

FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…

フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

加熱・冷却機能付きポーラスチャック

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！

・加熱冷却の繰り返しで耐久試験などに最適 ・ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造 ・各種サイズにも対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉岡精工

SiC半導体製造用機能部品

2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品…

Momentiveの『タンタルカーバイドコーティング』は、SiC単結晶成長炉、エピタキシャル装置の部品として多くの実績を有しており、『静電チャック』はSiやSiC半導体プロセスの高温イオン注入、スパッタリング工程で使用されています。 【特長】 ■タンタルカーバイド ・超高温（2000℃以上）での使用が可能 ・複雑な形状にも対応で...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

SRLフロートチャックPF型

プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

材質 チャック本体:セラミックス, アルミニウム, CFRP ウェーハ接触部:PEEK 表面処理 導電性テフロンコーティング ユーティリティ エア：エアシリンダ駆動用 0.09MPa以上（構造により異なり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」は気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

全自動ホルソー先端専用研磨機『EGTH-07』

コレットチャック式の為ワーク脱着が容易！オプションでエアーチャックも可…

石(80φ)でオシレーションにて湿式研磨します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■内刃・外刃の組合せ、平刃の組合せが可能(刃型パターン書込み方式) ■コレットチャック式のため、ワーク脱着が容易 　(オプションでエアーチャックも可能) ■研磨するチップを割出すため、簡単にセット可能 ■外周砥石(φ80)でオシレーションにて湿式研磨 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

多孔質製品ラインアップのご紹介　※短納期でのご提供可能！

ガラス・フィルム吸着プレートや精密浮上テーブルをはじめ、精密ポーラスチ…

のご紹介です。 高精度・非接触で、ガラス基板・フィルムを加工搬送できる「精密浮上テーブル」をはじめ、 ワークの切断加工を行っても、ワークがずれること無く吸着固定を持続する 「円形精密ポーラスチャック」などをラインアップしています。 当社では、高品位天然石にて精密さの限界に挑み、1/1000ミリ単位の 要求精度にお応えします。 【ラインアップ】 ■精密浮上テーブル ■精密チャ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・ヂー・ダブリュー株式会社

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いています...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『チャックテーパー研磨加工』

立形研磨加工機によるチャックテーパー研磨加工！内外径同時研磨で高精度を…

中村製作所では、立形研磨加工機による『チャックテーパー研磨加工』を行っています。 内外径端面をすべて同時に研磨することで、高精度な加工が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中村製作所

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫することでかなり改善できます。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準で搭載。 お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

高温化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）をベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」（特許）に気体供給のＯＮ－ＯＦＦ操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）ＩｎＰウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

コーティング性能を確認できる！粘着テープの付着具合を数値化

「コーティングの効果を事前に確かめておきたい」 そんなニーズにお応え…

ハウで5種類の測定方法をご提案いたします。 サンプルピースのご用意などもお気軽にご相談ください。 ＝こんなお困りごとはありませんか？＝ ラベルやテープを搬送する設備で、ラベルの仮置き台やチャック爪にラベルの付着、テープの付着を防ぐためコーティングを試したい。 でも自社でお使っているラベルやテープの粘着とコーティングとのはがれ具合がどの程度かわからず、改善の検討が進めることができなくて困...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

全自動ウェーハ研削・研磨装置『CMG-802XJ』

1台でチャック面洗浄・粗研削・仕上げ研削・研磨を全自動で行います！

『CMG-802XJ』は、割り出しテーブル上にバキュームチャック4個を配置し、 ロータリートランスファータイプでチャック面洗浄-粗研削-仕上げ研削- ポリッシングの順に移動加工する全自動ウェーハ研削・研磨複合装置です。 多品種にわたるICカードやSi...

メーカー・取り扱い企業： ミクロ技研株式会社 本社

小型塗工機

小型サイズの塗工機です。

小型サイズの塗工機です。 平らな真空チャック内蔵のため、シートを固定し、薄膜の塗工時には非常に便利、一定の膜厚で塗工します。 100ｍｍ幅のマイクロメーター付フィルムアプリケーターが付属します。...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

１２インチマニュアルプローバー

１２インチマニュアルプローバー

12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。...

メーカー・取り扱い企業： イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社 関東事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

シート送り出し・搬送・積層装置

くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採用し、フィルムを一枚づつ確...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

ハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル