高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

ロボット向けハンドリング機器選定ガイド

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。 グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、 多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。 電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、 多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業： 新光電機株式会社

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ・ガラス基板非接触搬送装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

『チャッククリーニングウェハ(CCW)』についてご紹介します。 当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量が1/3である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行いま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

半導体製造装置用セラミック静電チャックの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体製造装置用セラミック静電チャックのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月14日に発行しました。本レポートでは、半導体製造装置用セラミック静電チャック市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過・温調システム ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：バキュームチャック 　　　　　　　　※オプションにてメカニカルチャック対応可 ・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,500x2,000mm ・自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

冷凍チャックシステム

水を凍結することにより加工物を固定する方式で、非磁性体材料や硬脆材料、…

料や硬脆材料、また複雑な曲面形状を有する加工物でも チャッキングが可能です。 特に樹脂、ゴム系材料は冷却効果によりバリやカエリを ほぼ生じることなく切断等が可能です。 エス・シー・エムではチャック・クーラント装置・媒体を各種取り揃えトータルなシステムでノウハウと共に ご提供致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エス・シー・エム

非接触搬送装置「フロートチャックWLNA型」

FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…

フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

材質 チャック本体:セラミックス, アルミニウム, CFRP ウェーハ接触部:PEEK 表面処理 導電性テフロンコーティング ユーティリティ エア：エアシリンダ駆動用 0.09MPa以上（構造により異なり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

多孔質製品ラインアップのご紹介　※短納期でのご提供可能！

ガラス・フィルム吸着プレートや精密浮上テーブルをはじめ、精密ポーラスチ…

のご紹介です。 高精度・非接触で、ガラス基板・フィルムを加工搬送できる「精密浮上テーブル」をはじめ、 ワークの切断加工を行っても、ワークがずれること無く吸着固定を持続する 「円形精密ポーラスチャック」などをラインアップしています。 当社では、高品位天然石にて精密さの限界に挑み、1/1000ミリ単位の 要求精度にお応えします。 【ラインアップ】 ■精密浮上テーブル ■精密チャ...

メーカー・取り扱い企業： ピー・ヂー・ダブリュー株式会社

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いています...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

シート送り出し・搬送・積層装置

くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置である フィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採用し、フィルムを一枚づつ確...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

ハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

チャッククリーニングウェハ(CCW)　技術ハンドブックVol.1

技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果な…

当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するための お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、 種類・他社品比較...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

フロートチャッくLNAS型

穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する

ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。 スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

この度、新たに開発した「フロートチャックＣ型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイピンセット（５０μm超薄ガラス用）

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

xcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

TAB・COF製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

の回転速度を一定に制御。 巻出部テンションは製品幅により可変しますが96mm幅では、100g以下での 搬送が可能です。 またタクト搬送方式では、ニップローラー送り又は、1軸ロボットで チャックして送る方法で行い、微細品対応として、位置決めはカメラによる オートアライメント方式を多く取入れてきています。 【特長】 ■一定の速度により数百m単位で製品を流し、同一条件で連続加工がで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

Hz 300VA 【外形寸法 WxDxHmm】180×250×100　（突起部は除く、ゴム足を含む） 【質 量】2.2kg ■振動体ノズル 【流量】指定なし 【全長】159mm 【チャック部寸法】φ24mm 【照射面積】24㎠ 【質量】600g...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

【仕様】 ■基板サイズ：最大3インチ（2インチ、20mm角はチャック部アタッチメントで対応） ■スピンコータ回転数：0 ～ 5000rpm（±1rpm） ■焼結温度：～800℃（均熱領域50mm） ■基板冷却：乾燥窒素吹付け ■ロボット停止精度：±50μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

半導体関連装置　製品カタログ

半導体関連装置やパワー半導体関連装置、LED関連装置を掲載！

導体関連（収納／保管庫） 　・簡易型マスクストッカー 　・マスクストッカー　他 ■半導体関連（卓上タイプ） 　・手動移載機 　・一治具移載機　他 ■半導体関連（治具関連） 　・スピンチャック 　・石英フォーク　他 ■パワー半導体関連装置 　・Cies/Rg検査装置 　・絶縁耐圧検査装置　他 ■LED関連装置 　・暗電流測定機 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピクリング

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T

装置寸法：1700W×1300D×1400H

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場