高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

ロボット向けハンドリング機器選定ガイド

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。 グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、 多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。 電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、 多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業： 新光電機株式会社

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SRLフロートチャックPF型

プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

１２インチマニュアルプローバー

１２インチマニュアルプローバー

12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。...

メーカー・取り扱い企業： イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社 関東事業所

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

マニュアルプローバ

OYM-401は実体顕微鏡に対応したマニュアルプローバです。複数台のポ…

ＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップ 　したモデル ◆標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備 ◆オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の 　設置が可能 ※詳細は『資料請求』まで...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

xcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

アモルファス太陽電池、フィルム搬送装置

フィルムを非接触にて搬送・積層・送出する

アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を採用している。 ワークに傷、汚れ、を付着させない。弱い、脆いフィルムでも可能。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

構築する場合に比べて初期導入費用が安価 ■幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステム ■コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能 ■ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

り負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

アルミ／A5052／半導体製造装置部品／NC旋盤加工

最短半日見積り／A5052（アルミ材）／真空チャック用先端部によるNC…

〈材質〉アルミ／A5052 〈加工〉NC旋盤加工／放電加工 〈サイズ〉φ25mm×H60mm こちらの製品は、A5052 アルミ材を使用して加工されています。 特徴は、部品上面に幅0.7ｍｍ 深さ0.5ｍｍの溝が加工され、 穴径0.5mmと0.3ｍｍの細穴が施されています。 半導体製造装置部品に用いられる為、傷や打痕不可で、 カエリやバリにより製品搬送に影響の出ない様、注意し加工しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)