Enapter社「AEM式水電解水素製造装置」

PRAEM（アニオン交換膜）式水電解を採用。アルカリ水電解・PEM水電解の…

【AEM式水電解水素製造装置　3つの特長】 １．高圧・高純度の水素を生成 　　99.999%純度の水素を3.5MPaGの高圧で生成可能。電極反応はアルカリ 　　水電解と同じですが、腐食性の高い濃アルカリ液を使用しません。セ 　　ル構造はPEM水電解と同様、膜電極接合体構造で高速応答性、広い運 　　転範囲、間欠運転を許容する等の優れた特性を持ちます。 ２．貴金属不要で低コストを実現 　...

メーカー・取り扱い企業： 三國機械工業株式会社

【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

Druck モジュール式圧力コントローラPACE

【今なら延長保証キャンペーン実施中】業界最速クラスの圧力校正器。モジュ…

DruckのDPI5xx シリーズで実績のある完全デジタル制御方式を踏襲、更なる改良を加え高い制御安定性と高速応答を実現しています。新しいピエゾ抵抗式センサを採用することで、計測への更なる高精度化と長期安定性、また高い制御安定性を同時に実現できる圧力コントローラです。 各種試験プログラムも設定できます。詳しくはカタログをご覧いただくか、お問合せください。 ※尚、イプロスにご登録され...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

ーラ PACE】 ■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています ■圧力制御スピード：他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適（試験の自動化プログラムあり） ■モジュール式（シングル・デュアルが選べます） 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE：モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。 高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のＨ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

成膜システム

高生産性の成膜システムを提供しております

品に応用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【取扱製品】 ■建材ガラスの大面積成膜用システム「GC330H」 ■太陽電池のガラス成膜のための生産性の高いモジュール式装置「XENIA」 ■太陽光発電分野向けの成膜シリコンウェハ用 　モジュール式システムプラットフォーム「XEA|nova(R)」　他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

差圧式エアリークテスター『F620LV』

大容量ワーク対応モデル！ノイズキャンセリング機能搭載の差圧式エアリーク…

『F620LV』は、新型高感度圧力センサによる画期的な新技術を搭載した 大容量ワーク（最大200L）対応モデルの差圧式エアリークテスターです。 テスト環境における外乱要因の影響を排除し、より速くより正確な リークテストを実現。DNC機能を活用して0.1Pa/sec以下の圧力降下（変動） を検出することが可能です。 タンクやEV用バッテリー等の非常に大きな容積を持つワークに適してお...

メーカー・取り扱い企業： アテック株式会社

マイクロマニピュレータ AMS-1000

小部品を、数グラムで把持・μｍの位置決めが可能です。

数グラムで把持・μmの位置決めが可能。 ●精密対象動作を保証（特許出願中） ★詳しくは、資料・カタログを上記ボタンよりご請求ください。 ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ◆研究及び小ロット精密組立作業用に最適。 　各種モジュールの取り付けが可能。 ◆独自開発の小型XYZステージにより顕微鏡周辺での作業性が格段にアップします。占有容積が、従来の１／８以下を実現。（ガイドレー...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて、カスタマイズが可能です。 ...LEVIBOOST 75（75 l/min） １．ポンプシス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

ionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プロセスタンク複数搭載可 ■ 150～300mmウェハ対応 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省ス...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

サーマルALD装置『Firebird』

トップクラスのスループット！柔軟性のあるモジュール化されたデザイン

『Firebird』は、大規模量産の為のクラスターツールタイプ サーマル式のALD装置です。 実績のあるVeecoの自動化システムを搭載しており、 基板への衝撃の少ないバッチ搬送。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■トップクラスのスループット ■低所有コスト ■実績のあるVeecoの自動化システム ■柔軟性のあるモジュール化されたデザイン ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

Mg-SiC複合材料市場アナリストレポート 2023-2029

本レポートは、世界のMg-SiC複合材料市場について詳細かつ包括的に分…

当社（Global Info Research）の最新調査によると、世界のMg-SiC複合材料市場規模は2022年に600万米ドルと評価され、レビュー期間中にCAGR 6.0％で2029年までに800万米ドルの再調整サイズになると予測されます。市場規模を推定する際には、COVID-19とロシア・ウクライナ戦争の影響を考慮しました。 炭化ケイ素（SiC）にマグネシウム（Mg）を浸透させることで...

メーカー・取り扱い企業： GlobaI Info Research有限会社 Global Info Research

ブロードモーションセンサ

低周波振動から機械振動までを1つでカバー

傾斜を含むDC成分および振動数0.1Hz ～ 1000Hzまでの加速度0.1gal ～ 6Gを3軸出力するIMVオリジナルセンサーです。...振動は地面や建物の揺れから設備機械の振動まで様々存在し、目的に応じた最適なセンサーを選定する必要があります。 特に低周波微振動は高価なサーボ式加速度センサーが主流であり、機械振動の測定に使用される圧電式加速度型センサーや動電式速度型センサーでの共用は困難で...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社

250W水銀光源　REX-250

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択･切り換えが可能なUV照射…

•248・313・334・365・405・436nmを高出力 •安価に248nmの光が利用可能 •光反応だけの熱が出ない光学系 •超高圧250W水銀ランプを搭載 •フィルターで波長選択 •フィルターの切り換えが可能 •100～5の連続可変調光機能 •タイマー照射で指定エネルギー照射 •簡単なアライメントフリーランプ交換 •RS232Cポートで外部制御可能...波長範囲 240～4...

メーカー・取り扱い企業： 朝日分光株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-9000シリーズ』

低温プロセス　高屈折率制御　高速反応性成膜　緻密・平坦膜

『AFTEX-9000シリーズ』は、低温・低ダメージで高品質なナノ薄膜形成を 実現可能な装置です。 基板サイズ8インチ対応、ECRプラズマ源を3基まで搭載可能で、これらを 同時に稼動することにより生産性を大幅に向上することができます。 ナノ薄膜形成には是非当社製の装置をお使い下さい。 【特長】 ■8インチ対応のECR成膜モジュールを最大３基接続可能な 　本格的マルチチャン...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

Advancer セミオートウェットプロセッサー

省スペースながら精密なパフォーマンス

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【生産性】 低コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

【事業紹介】特殊アプリケーション

特別注文対応チーム！大規模生産に向けた理想的なソリューションを提供

大規模生産に向けた理想的なソリューションを提供します。 【その他の事業（一部）】 ■建材およびモビリティー向けのガラス成膜 ■薄膜太陽電池 ■結晶太陽電池 ■フレキシブル基板 ■モジュール式プロセスシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使…

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を 10msec まで短縮できます。 水銀不使用！従来のランプ...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社