リニアスケール | イプロスものづくり

分解能0.5μｍの精度を非接触計測で実現。リニアスケール

Temposonics独自の磁歪技術と回路技術により、位置・速度が検出できる、アブソリュートリニアスケールです。非接触式で、過酷な産業環境下での耐久性に強く、高精度な直線変位計測が行えます。従来式のポテンショメータ、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダ、グラススケール、マグネットスケール、スチー...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

高精度磁気式リニアスケール

最小分解能0.2μm！光学式エンコーダに代わる多用途向け高精度リニアス…

高精度磁気式リニアスケールマグラインシリーズは従来の光学式エンコーダに代わる多用途向けの高精度リニアスケールです。着磁されたマグテープ上を動くセンサの変位をインクリメンタルまたはアブソリュートで測定することができます。...

メーカー・取り扱い企業：サンテスト株式会社

エンコーダ用スケール（金属エッチングや樹脂プレス加工）

リニアスケール＆ディスク（スリット板）を様々な仕様で作製します。

<各種仕様> 形状：リニアスケール・ディスク（コードホイール）用途等に応じて、基材や加工等の仕様を選択いただけます。 1.PETフィルム仕様（透過式・反射式）　フィルムシートに微細パターンを形成し、プレス加工 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メルテック本社工場

オープンタイプリニアエンコーダ MC 15シリーズ

RSF社製－取付けが容易なアブソリュートリニアエンコーダ

■特長・原点復帰が不要・大きな取付け公差・高速制御・MS 15と同じ寸法 ■仕様・スケール本体: スチールスケールテープ* ・最小分解能: ～0.05μm ・精度等級: ±15μm ・最高走査速度: 10m/s ・測定長: 最長6140ｍｍ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、パナソニック、安川、BiSS C *MC 15 MKは接着テ...

メーカー・取り扱い企業：ハイデンハイン株式会社

産業用ロボット向け非接触アブソリュートリニアスケール

超小型、ローコスト化を高性能で実現、非接触磁歪式リニア変位センサ

Temposonics EHシリーズ、Cシリーズは、小型でありながら、非接触、高精度、高耐久性を持つ位置決めセンサです。産業用ロボット、搬送機、直動ガイド、医療機器、油空圧シリンダ、ボート/車両の自動運転等、小型で高性能が求められるアプリケーションに適しています。可動部にはマグネットのみを取り付けて位置を検出し、電源/信号ケーブルが不要のため、構造をシンプルにでき、お客様のコストダウンに貢献します...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…

テージコントローラ、ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。【大気用システムの特徴】 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されています。【真空対応システムの特徴】創業以来、特注品の製作で...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

インクリメンタルシールドタイプリニアエンコーダ LB 382

長尺測定用インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長・最大測定長30mの長尺測定用・AURODURスチールスケールテープ・シングルフィールド走査方式による高い位置決め精度・絶対番地化原点対応・ミラーバージョン供給可能 ■仕様・精度等級: ±5μm ・最高走査速度: 120m/min ・信号周期: 40μm ・測定長: 最長30040mm ・インターフェース: 1Vpp...詳しくはお問い合わせいただく...

メーカー・取り扱い企業：ハイデンハイン株式会社

リニアライズ付メータリレー『SP-323シリーズ』

リニアライズ演算機能を標準装備！表現豊かなメータリレー。

『SP-323シリーズ』は、リニアライズ演算や割合表示など表現豊かなメータリレーです。警報信号としてc接点リレー×2を標準装備、オプションとしてa接点リレー×2 を追加可能、さらにオープンコレクタ出力を最大8点まで増設でき、計12点の警報信号を出力可能です。【特長】 ■リニアライズ演算機能標準装備 ■c接リレー標準装備 ■スケール値＋割合値の表示可能 ■最大警報1...

メーカー・取り扱い企業：ユーアイニクス株式会社

チップエンコーダー

従来使用できなかった小スペースでの使用が可能な高性能エンコーダ。

【特徴】・超小型モジュール(7ｘ11ｍｍ)に光源、検出素子、　逓倍回路を全て集積したオールインワン構造・取り付け簡単、メンテナンスフリー・一つのセンサーでロータリ、リニアの両方に対応・大量生産も視野に入るコストパフォーマンス・高分解能・ハイクオリティな信号出力【主な仕様】・分解能：リニア最高1μm、ロータリ最高163,000CPR ・スケール：ロータリ５種類　...

メーカー・取り扱い企業：ノヴァンタ・ジャパン株式会社セレラモーション事業部

多位置同時計測 Temposonicsリニア変位/位置決めセンサ

同時に最大30箇所の『絶対位置』＋『移動速度』を計測

同時に最大30箇所の絶対位置+移動速度を計測 Temposonics独自の磁歪技術を応用したリニアスケールです。高分解能、かつ非接触計測を実現し、過酷な産業環境下で、耐久性が高く、高精度な直線変位計測が可能です。他のリニアエンコーダ、ポテンショメータ、LVDT、磁気テープ式/光学式リニアスケール等...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ

【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…

光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

リニアモータテーブル／ナノリニアNT…V

リニアモータテーブル。断面高さ16mmを実現！省スペース化に貢献

■鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ　用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ　用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニア　モータテーブルです。【特長】・断面高さ16mmを実現。装置の省スペース化に貢献・高推力&高剛性。X-Yなどの多軸構成でも安定した精度と剛性を発揮・テーブル案内部は、5年または20,000kmの...

メーカー・取り扱い企業：日本トムソン株式会社

長ストロークに対応！精密位置決め装置

長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

アブソリュートシールドタイプリニアエンコーダLC 200シリーズ

長尺測定用アブソリュートリニアエンコーダ

■特長・最大測定長28mの長尺測定用・標準型ハウジング・METALLURスチールスケールテープ・LB 382と取付け互換性あり・各種高速シリアル通信対応 ■仕様・精度等級: ±5μm ・最高走査速度: 180m/min ・最小分解能: ～10nm ・測定長: 最長28040mm ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱...詳しくはお問い合わせい...

メーカー・取り扱い企業：ハイデンハイン株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ昇降タイプ

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。ア...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

中空ステッピングモータ／ドライバ

±１パルス（０．０２５μｍ）以内の精度で位置決めが可能。

に組込むことにより取付寸法変更なし ■ステッピングモータドライバ：Ｄ３８７０パルス列入力フルクローズ制御対応のマイクロステップ駆動ドライバです。＜特長＞・エンコーダ／リニアスケールからの信号により、上位コントローラを変更することなくクローズドループ制御が可能です。・入力パルスによる速度指令に対して１次遅れ要素を持ち、モータの振動を抑制します。・ステッピングモータ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社旭エンジニアリング東京本社

Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

シャフトモーター

コアレスシャフトモーターは超低速から超高速までを低振動、高精度で位置決…

フラット型リニアモーターとは違い、超低速でもまったく振動の発生しない構造（コアレスシャフトモーター）でありながら今までに不可能とされていた超高速駆動を可能とする。繰返し精度はスケールフィードバックをダイレクトに監視する為、標準品で0.5μｍを実現。高速マウンター、画像処理装置、医療機器など幅広くご使用頂けます。摩擦箇所がガイド部分のみである為、メンテナンスフリー。ボールねじの様に熱膨張による摩...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・プロジェット

レベルメータ『LV1000シリーズ』

バーグラフ・リニアライズ補正演算機能を標準装備！

『LV1000シリーズ』は、見易いバーグラフ表示とリニアライズ補正演算機能を標準装備したレベルメータです。 20ドット(LED)レベル表示付。また、＋24V150mAの高容量供給電源を装備しており、オプションで12V200mA、5V100mAも選択可能です。【特長】 ■見易いバーグラフ表示を標準装備 ■リニアライズ補正演算機能を標準装備 ■c接リレー標準装備 ■最大警...

メーカー・取り扱い企業：ユーアイニクス株式会社

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時）ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）

ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ

特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が実現できます。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○繰返し位...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

自動機製品事例「レーザー印字装置」

精度5μm以内！高精度の位置合わせを120枚/hで実現

「レーザー印字装置」は、液晶パネルへのレーザー印字を行う自動機です。この自動機の特徴は、位置精度を出す自動機において、リニアサーボモータを使う代わりに、位置合わせ機構にリニアスケールを取り付け、汎用サーボモータとの組み合わせでクローズドループ制御を行うことによって、位置合わせ精度5μm以内という、高精度の位置合わせを120枚/hの速度で実現できることです。種類が豊...

メーカー・取り扱い企業：共栄制御機器株式会社

エンコーダ内蔵中空ステッピングモータ/パルス列入力フルクローズ制御ドライバー

中空軸を生かした計上に高分解能のエンコーダを内蔵させた高精度位置決めに…

ME-72、000パルス/1回転の高分解能によりフルクローズ制御ドライバーD3870との組み合わせにより0.01°の位置決め精度を達成しました。 ◆閉ループ制御機能-パルス入力とエンコーダ/リニアスケール入力を比較しながらステッピングモータを駆動します ◆振動抑制機能‐１次遅れ字定数によりモータの振動を抑制 ◆過電流保護機能‐何らかの原因によりモータに過電流が流れた場合、出力トランジスタを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社旭エンジニアリング東京本社

シグマテック株式会社　会社案内

正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします

シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ MS 15シリーズ

RSF社製－オンライン信号補正機能付インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長・超小型形状・リミットスイッチとホーミング機能・原点は50mm毎に選択可能・オンライン信号補正機能・ステータスLED搭載 ■仕様・信号周期: 40μm ・最小分解能: ～0.05μm ・最高走査速度: 10m/s ・インターフェース: 1Vpp、TTL MS 15 MK、MS 15 MP ・スケールテープ本体: スチール* ・精度等級: ±5...

メーカー・取り扱い企業：ハイデンハイン株式会社

超小型、非接触アブソリュートリニアスケール　Cシリーズ

超小型、ローコスト化を高性能で実現、非接触磁歪式リニア変位センサ

磁歪式センサを発明したTemposonicsが提供する超小型リニアスケールです。 Cシリーズは、超小型でありながら、定評のあるTemposonicsテクノロジーをベースに非接触、高精度、高耐久性といった、基本性能はそのままに、鉄道車両、車載、医療機器、ボートのジョ...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…

テージ・フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。半導体関連の装置、通信関連、先端研究の光学系などで使用されており、そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ■真空対応シス...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIF 400シリーズ

取付けが容易な高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長・高精度と高い繰り返し性・省スペースタイプの走査ヘッドとスケール・PRECIMET接着テープにより取付けが簡単・リミットスイッチとホーミング機能・ステータスLED搭載 ■仕様・信号周期: 4μm ・精度等級: ±1μm、±3μm ・推奨分解能: ～2nm ・測定長: 最長1640mm ・インターフェース: 1Vpp、TTL...詳しくはお問い合わせい...

メーカー・取り扱い企業：ハイデンハイン株式会社

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）

リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…

テージ・フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決め装置を開発・製造・販売しております。ナノテクノロジーという言葉が生まれる前よりナノの位置決めを実現しておりました。そのノウハウを元にお客様のニーズに応えます。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

非接触アブソリュートリニアスケール　モデルCS/CM

軽量・コンパクトセンサ

Temposonics Cシリーズは、超小型でありながら、Temposonicsテクノロジー（磁歪技術）をベースに非接触、高精度、高耐久性といった、基本性能はそのままに、鉄道車両、車載、医療機器、ボートのジョイスティック式ステアリング等、小型で高性能が求められるアプリケーションに適しています。加えてローコストを実現。LVDT、リニアポテンショメータに代わるリニア変位センサとして注目を浴びており、幅...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。自社開発リニアスケール...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケール...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージシステム

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm…

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までライ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　50mm動作

真空中で使える　5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　40mm動作

真空中で使える　5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-514

10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　20mm動作

真空中で使える　リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○繰返し位置決...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　サブミクロン分解能で位置決め　可動…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社