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ユニバーサルロボット専用(第7軸 )UR走行軸 MovoTrak
PRユニバーサルロボット専用 第7軸 (走行軸)最大移動距離10m ! …
MovoTrak CTU走行軸 Thomson社は協働ロボットメーカーであるユニバーサルロボットとの初のコラボレーションMovoTrak 7 軸(走行軸)を発売しました。 画期的なプログラミングと制御の利点をもたらす第7軸(走行軸)は、2つの衝突検出機能で安全を担保します。 ロボット機能に迅速かつ簡単に実装できるプラグアンドプレイ システムである MovoTrak は最大 10...
メーカー・取り扱い企業: ミワ株式会社
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【止水・防水・防滴をロボットが実現】シーリングロボットシステム
PR産業用ロボットにミキシングノズルを搭載して3次元、凹凸等どのような形状…
自動車部品、住宅設備、配電盤等種々様々な隙間を発泡ウレタンによって埋め、止水・防水・防滴の役割をする技術をドイツから輸入。 産業用ロボットにミキシングノズルを搭載して3次元、凹凸等どのような形状にも塗布可能です。更にドイツから輸入した技術を紹介します。 その技術とは発泡ウレタンの硬さ、柔らかさの質感、塗布幅、塗布高さ、塗布量を対象に合わせるレシピです。 実績としてダイムラー、BMW、フォ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ROSECC
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(…
要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機~フルオート機までご提案できます。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■薄ウェーハ対応ロボット ■薄ウェーハ対応チャック ■低価格を実現 ■ウェーハサイズを自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成!電着による塗布とX-Yロボットで高…
『室温・大気圧』下であるにも関わらず、均一な薄膜を形成致します 『電着による塗布』+『X-Yロボット』=ムダのない効率的な塗布! マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』! 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! マニュアル機やセミオート機のラインナップもあります! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ:(例)1650×1350×1800(Φ4"本体) 3000×1500×1800(□4"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(自走式ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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反りウェハも搬送!ベルト搬送式自動レジスト塗布装置(コーター)
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…
ハの搬送も可能! ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実現!ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム(ベルト搬送)のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。 ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
トでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。
株式会社エイブルジャパン 取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置(自動タイプ)」や、投入された基板に自動で塗布~乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイブルジャパン
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【新製品】吸着搬送の電力削減に貢献!電動吸着ハンド「e-VEE」
電力削減率最大77%!エジェクタからの切替で吸着搬送を省エネ化…
日東工器株式会社 -
協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)
LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働…
リナック株式会社 日本支社 -
空中搬送ロボット『ゴクー』※テレビ東京トレたまで放映されました!
【空飛ぶロボットハンド】運搬の不便を解消したい製造現場必見!無…
ダブル技研株式会社 座間事業所 -
協働ロボットへ進化するマキテックAMR『Robot-Vシリーズ』
2D-SLAMのみで停止位置精度±1cmを実現!環境マップの作…
株式会社マキテック -
プレス加工向け高速3次元トランスファーロボット『KOA-PS』
必要な時だけ既存の保有プレス加工機に設置するだけで、自動搬送に…
株式会社島田製作所 -
【高強度・軽量・防塵】アルミ安全柵・安全カバー※一貫生産対応
軽量・高強度のアルミフレームを活用した安全柵・安全カバーを制作…
鍋清株式会社 -
溶接ヒューム回収に!局所排気装置に好適な難燃性耐熱ホース!
難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース(最高1,100℃)は、…
エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社 -
スクリュー製品の肉盛り修復、強度アップ!
摩耗、破損したスクリューに、高合金パウダーを肉盛り! 形状復…
南海モルディ株式会社(旧:南海鋼材株式会社) -
【LEMO】計測機器/医療機器/半導体製造装置向けコネクタ特集!
ご採用事例とともに、各アプリケーションに好適なLEMOコネクテ…
レモジャパン株式会社 -
人協働ロボット搭載AGV
理想の1台が手に入る!人協働ロボットで進化したラボ・オートメー…
田辺工業株式会社