NC旋盤用チャック交換システム『セントロテックス S』

PRチャック交換後の芯出し調整不要！ワークと加工内容に応じた好適なチャック…

『セントロテックスS』は、専用の吊りジグを使用して、重いチャックでも 安全かつ簡単に交換が可能なNC旋盤用チャック交換システムです。 交換時の芯出し調整は不要で、ボルトを締め付けるだけで繰り返し精度0.003mm以下。 チャック交換に伴う機械停止時間の短縮が図れるため、 多品種少量生産に対応する柔軟性の高い製造ライン設計が容易となり、 工作機械を限りなく有効に活用することが可能に...

メーカー・取り扱い企業： ハインブッフ・ジャパン株式会社

基板分割機【卓上型でコンパクト＆きれいな切断面】

PR基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。集塵…

基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。 上方式、下方式と2タイプの集塵方式をご用意。 【主な特長】 ■集塵機の設置が不要でイニシャルコスト削減 ■卓上型で省スペースを実現 ■高性能ロボットのCP制御で曲線・直線のカットも可能 ■基板へのストレスが少なく、きれいな切断面を実現 ■＝＝下方集塵式の新機能＝＝ 　・ルータビット数倍長持ち 　・スピンドルモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャノメ

プラズマCVD装置『210Dモデル』

φ200mmウェーハまで対応！成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…

『210Dモデル』は、誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma：ICP)による、成膜装置です。 現場でのハードウエアの交換により、十数分の作業時間で、 誘導結合プラズマエッチング装置として使用する事が可能。 コンパクトな機体に多彩なオプションで、薄膜の堆積やトレンチのパターニング等、 様々なアプリケーションに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー』

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

る「縦型・左右スプレー」をはじめ、 「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。 少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、 また、薬液の交換も容易で、省スペースにて設計されています。 【特長】 ■小型基板の製作および薬液の実験・開発に好適 ■少量の薬液でのエッチングが可能 ■数枚単位の基板製作に対応 ■薬液の交換も容易 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シマテック

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

【　納　期　短　縮　】 標準交換部品等を事前購入保管（購入に伴うタイムロスの軽減実施） 　　標準交換部品例 ・各種Oリング ・ソレノイドバルブ ・ベアリング・ワッシャー ・ステッピングモーター ・モーター（ACT）ケー...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

半導体産業工程用フィルタ　有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属…

Iongard SL purifier 　イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier 　Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣToＣタイプも対応可能 Ｃｕ膜など難エッチングプロセスに対応し幅広い基板ウェハ’（Ｓｉ、ガラス、セラミックス）、ＦＰＤ、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

ング液最大液量：40リットル エッチング液：塩化第二鉄　40ボーメ（サンハヤト製　H-20L指定） エッチング液フィルター ハウジング：住友スリーエム　キュノ　1M1-PP　250mmタイプ 交換用フィルター：ダイワボウ　セキソウSタイプ（S-50標準装備） エッチング液ノズルヘッダー：上下各3本 エッチング部スプレーノズル：上下各12個 スプレー圧：0.12Mpa（新液時） 水洗槽...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート、EPDへの成膜以外にフォーカスリン...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

試作エッチング装置

様々な条件に対応！搬送方向に対するノズルの配列も千鳥状に並べているため…

薬液が装置外に漏れる可能性が少ないという点にあります。 また、スクエア状であったオシレーションフレームを無くした事により、 ノズル両端のオシレーションフレームに直接ノズル管を付け、ノズル交換等の メンテナンス性が向上しております。 【ライン構成】 ■投入 ■エッチング ■水洗4段 ■液切り ■受取 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備えプロセス再現性や安定性に優れる ■ウエハとプラズマ間距離を最適化し、良好な面内均一性を確保 ■TMP(ターボ分子ポンプ)や高周波電源をユニット化し、交換が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

[チラー]スループット追求モデル　SXシリーズ

高い冷却能力、高速加熱・冷却を追求した温度管理システム

【特徴】 ○迅速な加熱・冷却でスループット向上 ○高温の1次冷却水(+30℃)でも使用可能 ○リークレスポンプの採用 ○特殊熱交換システム設計(特許取得済み) ○SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ●カスタマイズにつきましてもお気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ（MFC）と素早く簡単に交換できます。...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社