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φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定
本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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