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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無!ホットエンド工程にも対…
『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定!全ての表面に対応します
『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um~10mmまでご用意しております。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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【変位センサー】コンフォーカル(共焦点)光学式 変位センサー
コンフォーカル(共焦点)光学式 変位センサーは、鏡面でもガラスのような…
コンフォーカル(共焦点)光学式 変位センサーは、非接触の変位計です。複レンズを用いて多色光源としての白色光を対象物の表面で合焦させます。このときレンズは白色光が単色光に分散するように配置され、出荷時の設定により各波長に...
メーカー・取り扱い企業: 三協インタナショナル株式会社
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従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定…
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。 2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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高速・高精度な厚み測定、形状測定に!プレシテック社 非接触センサ
色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、 平坦度の測定・検査などに使用されて...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善
えるには、超高速のインライン測定による データが不可欠です。 そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の 3Dイメージングが求められます。 当社の「色収差共焦点センサー」なら、こうした要件を満たすことが可能です。 高性能な光学レンズを採用した当社の色収差共焦点センサーは、白色光が 光軸に沿って1点ではなく複数の距離で合焦するため、可視光のすべての...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
薄膜(数um)~厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…
豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜(数um)~厚膜(780um)までカバー。 材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。 ■高分解能(サブミクロン 最小1nm) 「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定 ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…
ば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています!
サー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1:共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』
インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…
『CHRomatic Vision Camera』は、高速な外観検査用のラインカメラです。 色収差共焦点原理を利用しているため、焦点深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり、フラットでない凹凸面でも高コントラストな画像が取得できます。2次元画像が得られます。また、最大140k...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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測定例を多数掲載!CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み) ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3:バンプウェハーの形状計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介
各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介!…
当資料では、プレシテック・ジャパン株式会社で取り扱う、さまざまな コンポーネント検査向けセンサーの性能についてをご紹介しております。 「色収差共焦点シングルポイントセンサー」や「光学ポイントセンサー」 などの各センサーの測定原理や対応センサー、使いやすさなどを掲載。 当社では、レーザー材料加工や光学測定技術のためのインテリジェントで ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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CHRocodile 2DPS+CHRocodile 2IT
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介!
光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点:色収差共焦点原理による使用 ■利点:分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…
【原理】 当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。 ■色収差共焦点:主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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