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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無!ホットエンド工程にも対…
『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定!全ての表面に対応します
『CHRocodile C』は、白色光を通した、色収差による変位もしくは 厚み測定を行う色収差共焦点センサーです。 440g以下のコンパクトサイズ。 "粗面"をはじめ、"鏡面"や"色付き材料"など全ての表面に対応します。 プローブヘッドは200um~10mmまでご用意しております。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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VICIVISION / 光学式シャフト形状測定機テクノシリーズ
円筒状のワークを非接触にて高速・高精度に測定します。 オプションでタ…
複数の加工機に対応できます。 高解像度: 極小細部まで超高解像度で撮影します。 タッチセンサー: 光学式では測定の出来ない部位も、オプションのタッチセンサーで測定可能です。 共焦点センサー: スプラインの計測も、オプションの共焦点センサーを使用することにより非接触で高速に測定可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シーケービー
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CHROMATIC LINE SENSOR (CLS)は、ラインに沿っ…
【その他掲載内容】 ■ラインセンサー:CHROMATIC LINE SENSOR(CLS)超高速3D計測 ■色収差共焦点の測定原理 ■色収差共焦点ラインセンサー:Chromatic Line Sensor(CLS) ■ラインセンサー:CHROMATIC LINE SENSOR(CLS)超高速3D測定 ■新製品...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています!
サー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1:共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』
インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検…
『CHRomatic Vision Camera』は、高速な外観検査用のラインカメラです。 色収差共焦点原理を利用しているため、焦点深度が最大3mmと広いタイプです。 焦点合わせが不要となり、フラットでない凹凸面でも高コントラストな画像が取得できます。2次元画像が得られます。また、最大140k...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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測定例を多数掲載!CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご…
■例1:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:分光干渉式Si厚み ■分光干渉原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■例2:ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ例:色収差共焦点によるステップハイト(厚み) ■色収差共焦点原理によるウェハーInsituプロセスの利点 ■測定例3:バンプウェハーの形状計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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高性能TCSPCモジュールを搭載。ピコ秒分解能で測定。定常状態・時間分…
【関連知識】 半導体の高速電荷キャリアダイナミクスの研究には、さまざまなタイプのセットアップがあります。セットアップは、スペクトロメーター、共焦点顕微鏡、またはスペクトロメーターと顕微鏡両方の組み合わせという3つの大きなカテゴリに分類できます。 一般的に測定は、パルス光源で半導体を励起することからスタート。放出された信号は、フィルタや...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本レーザー
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色彩共焦点式技術を使用した非接触式センサーで、白色光が透過するさまざま…
さまざまな測定範囲、機械的寸法、測定仕様の多様な光学プローブファミリーとコントローラーを組み合わせることで、多様なアプリケーションニーズに応えることができます。 1チャンネルの「CPS1」と2チャンネルの「CPS2」の2モデルをご用意しています。 <特徴> ・白色光を反射できるさまざまな材料(例:金属、ガラス、プラスチック、塗膜、液体)の測定が可能 ・対象に触れずに測定の必要があるすべ...
メーカー・取り扱い企業: マーポス株式会社
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CHRocodile 2DPS+CHRocodile 2IT
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介!
光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点:色収差共焦点原理による使用 ■利点:分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: プレシテック・ジャパン株式会社
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DLS 式粒度分布とELS 式ゼータ電位測定を一台で迅速かつ簡単に行え…
『Nicomp Nano 3000シリーズ』は、動的光散乱法(DLS)による粒度分布測定と電気泳動光散乱法(ELS)によるゼータ電位測定を、一台で迅速かつ簡単に行えます。 粒度分布測定においては、高出力レーザーと高感度検出器の組合せにより、シングルナノ粒子からの測定を実現させます。 ゼータ電位測定においては静止層へ光学的調整が一切不要な構造を採用しているため、どなたでも簡単にゼータ電位を測...
メーカー・取り扱い企業: 日本インテグリス合同会社
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