スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

このシステムには3つのスパッタリングソースと プレクリーニングエッチャーがすべて共焦点形状に配置されており、生産性を高めるためにロードロックならびに搬送チャンバを追加することも可能です。スパッタリングソースには直径100mmのシャッターが搭載されており、このシャッターを制御すること...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

多光子励起光造形装置『MPF-330』

材料が熱的な損傷を受けない！フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形…

【主な構成】 ■レーザー導入光学系 ■スペーシャルフィルター（共焦点光学系） ■レーザー照射位置決め用半導体レーザー ■赤外用対物レンズ（オリンパス製X100,NA=0.8） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトサイエンス

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム