• FOUP洗浄装置 製品画像

    FOUP洗浄装置

    PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

    【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能(常温→65℃まで3秒)  ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa(15...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • 汚れによる効率低下を予防し消費電力削減!『熱交換器自動洗浄装置』 製品画像

    汚れによる効率低下を予防し消費電力削減!『熱交換器自動洗浄装置』

    PRボール洗浄システム「XAC」を導入することで、従来から無駄に使用されて…

    ボール式熱交換器自動洗浄装置『XAC』は、 スポンジボールにより熱交換器のチューブ内を常時洗浄する装置です。 冷凍機の運転中に洗浄(伝熱管が汚れる前に洗浄)するため、 汚れによる効率低下を防止し、大幅な省エネが可能です。 大規模商業施設業をはじめ、製造業などの企業で導入頂いております。 【導入メリット】 ■汚れによる効率低下を防止し、常に冷凍機の能力を最大限活用 ■伝熱管チュ...

    メーカー・取り扱い企業: 住友電工ツールネット株式会社 本社

  • 段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター 製品画像

    段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

    現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

    2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置 製品画像

    段取り替えなし!インチ兼用自動リフトオフ装置

    【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウ…

    てインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応!】 高圧ジェットはウェハ(基板)が薄いと割れるのではないか?という声をよくお聞きします。 ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 先端スクイ兼用研磨機『EGHT-VC23+EPAT-510』 製品画像

    先端スクイ兼用研磨機『EGHT-VC23+EPAT-510』

    供給装置はアーム振り子式を採用!分離型ワーク自動供給装置付き

    『EGHT-VC23+EPAT-510』は、高精度、ハイパフォーマンスの 兼用型研磨機です。 砥石の3枚使い、しかも連続運転で作業の高速化を実現。 高品質を実現するため、ワンチャッキングで4工程の連続運転が可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社えのきだ

  • 手動先端スクイ兼用研磨機『ENK-035D』 製品画像

    手動先端スクイ兼用研磨機『ENK-035D』

    高精度とハイレベルな操作性で高能率を実現!スペースを取らないコンパクト…

    『ENK-035D』は、先端とスクイの変換が容易な手動先端スクイ兼用研磨機です。 オシレーション機構により安定した精度を実現。 また、砥石角度は特別仕様により±45°まで可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社えのきだ

  • 2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像) 製品画像

    2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)

    段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…

    当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 卓上型ワイヤーボンディング装置(ボール/ウエッジ兼用) 製品画像

    卓上型ワイヤーボンディング装置(ボール/ウエッジ兼用

    ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能!広範囲のワイヤおよびリボンの…

    当製品は、プロセス開発、製造、研究、製造サポートに使用される 高度な卓上型デュアル(ボール/ウェッジボンダ)ワイヤーボンディング(ダイボンディング)装置です。 R&Dや少量生産に好適で、ユーザーフレンドリーなタッチパネル搭載。 ボンディング位置でマウスをクリックするだけでボンディングが可能です。 必要最低限のパラメーターのみ用いているため、ボンディングパラメーターの調整が容易となっています。 ...

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    メーカー・取り扱い企業: Micro Point Pro ltd株式会社 本社

  • OLED恒温恒湿環境評価装置 ELS-100A 製品画像

    OLED恒温恒湿環境評価装置 ELS-100A

    有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光…

    験評価を効率的に行う装置です。恒温恒湿装置内部にOLEDデバイスの発光ユニットを設置して、環境制御部天面の高透過ガラスを通して自動測定します。標準仕様は4CHでボトムエミッション/トップエミッション兼用治具にOLEDデバイスを装着します。多数の納入実績と確かな評価のある定電流制御システムと信頼性のある輝度計により温度と湿度の加速試験及び発光状態の記録を行いCSVファイル出力を行います。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー

  • チップ部品外観検査機『SS-2000シリーズ』 製品画像

    チップ部品外観検査機『SS-2000シリーズ』

    高精度検査を実現!微細チップから特殊サイズまでチップ部品外観検査に完全…

    動で高精度かつ 正確に検査する装置です。 0402、0603サイズ等の微細チップ部品から1005~3216以上の特殊サイズまで 独自のワーク搬送方式と充実した検査ソフトウェアにより、サイズ兼用、 多面検査、高速検査、高精度検査が実現可能です。 【特長】 ■2電極製品から多端子製品まで幅広く検査することが可能 ■6面検査からそれ以上の検査にも対応可能 ■ディスク交換で各種サイ...

    メーカー・取り扱い企業: 西進商事株式会社

  • 電子部品6面外観検査装置 製品画像

    電子部品6面外観検査装置

    チップ部品の高速6面検査を行う、2次元CCDカメラによる画像検査機です

    面を検査します。ライン計測とずらし減算を主体とした独自の検査ロジックにより、実用的な検査ができます。オペレータはタッチパネルで簡単操作で、多角形ウインドウで隅々まで検査範囲を設定できます。部品交換で兼用可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒューブレイン

  • 刃物研磨サービス 製品画像

    刃物研磨サービス

    品質、スピード、生産性を追求する「刃物研磨」のプロフェッショナルです

    【主な機械設備】 ■全自動先端・スクイ兼用研磨機 供給機付 (株)えのきだ 1台 ■全自動先端・スクイ兼用研磨機 (株)えのきだ 8台 ■全自動先端専用研磨機 (株)えのきだ 1台 ■全自動チップソー研磨機 VOLLMER 2台 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社和光刃物研磨所

  • バフ研磨機『BK-46C・46・UBS-46E・BKN-10』 製品画像

    バフ研磨機『BK-46C・46・UBS-46E・BKN-10』

    インバーターの取付も可能!主軸芯高が低く腰掛け作業に適したバフ研磨機

    -46C・BK-46」は、主軸芯高を低くしてありますので、腰掛け作業に 適しています。オプションでインバーターの取付けも可能です。 「UBS-46E・BKN-10」は、バフ研磨・ベルト研磨の兼用ができるため 広範囲にご利用いただけます。 【特長】 ■主軸芯高が低く腰掛作業に適している(BK-46C・BK-46) ■バフ研磨・ベルト研磨の兼用ができる(UBS-46E・BKN-10...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社野水機械製作所 本社

  • スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー) 製品画像

    スプレー/パドル兼用 小型スピン現像装置(デベロッパー)

    高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…

    マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。...6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...

    メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター

  • バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー) 製品画像

    バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)

    ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

    持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー

  • 自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater 製品画像

    自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater

    レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

    ハに応じてFOUP(フープ)対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジス...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • マニュアル ウェハ移載器 製品画像

    マニュアル ウェハ移載器

    ウェハメーカーのキャリアからプロセスキャリアへの移載が手動にて容易に行…

    プッシュスライドタイプで、ほぼ全てのキャリアに対応しています。特殊キャリアの場合はご相談ください。 6インチと8インチは兼用のタイプもございます。 アルミ製、PVC製その他対応致します。 傾斜型の移載器もございます。 その他特殊品も対応致しますのでお問合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エボルシオン

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