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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…
当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し 低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。 さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。 半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。 【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ADEKA
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高速回転を実現しコンパクト化!コンピュータのサーバ冷却用、燃料電池用、…
当社では『小型高速キャンドモータポンプ』を取扱っております。 インバータを標準装備し、省エネ化を実現。高速回転を実現しコンパクト化に 成功しました。 キャンドモータ採用のため、完全無漏洩。軸受摩耗検知機能付きです。 【特長】 ■インバータを標準装備し、省エネ化 ■高速回転を実現しコンパクト化 (従来の商用周波数運転のモータも取付可能) ■キャンドモータ採用のため完全無漏...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社帝国電機製作所
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