スピード量産も実現する「RP砂型積層造型手法」

PR新型砂積層3Dプリンターの導入により、さらなるスピードアップを実現。試…

製造工程を見直しませんか？ 砂積層鋳型とは、CADデータを砂積層装置に取り込み、ダイレクトに砂型を成形する造型手法です。 従来の鋳造品製造に欠かせなかった木型や樹脂型製作、試験鋳造などの工程を省略できるため、全体のリードタイムを短縮できます。 また、従来の砂型では製作困難な形状でも造型可能。中子等の同時大量造型も可能です。 鋳型製作のみの受託造型も承っております。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 北陸軽金属工業株式会社 埼玉工場

高性能パネルベンダー『TruBend Center』

PR追従作業、材料反転作業不要！ 1名での重量、長尺加工を可能にした高性能…

『TruBend Center』は、高剛性のフレーム構造とバリエーション豊かな金型により 軟鋼で板厚3.2mm、ステンレスで板厚2.0mm、アルミで板厚4.0mmまで曲げ加工が行える高性能パネルベンダーです。 角度曲げ、R曲げ、ヘミング、2重曲げは、金型交換不要で、標準金型で加工可能。 標準装備の金型自動交換装置により、段取り時間を大幅に削減 高精度、高生産性を実現します。 【特長】 ■軟鋼...

メーカー・取り扱い企業： トルンプ株式会社

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウェハー　一括移し替え器

ウェハー　一括移し替え器

■ウェハーにやさしい！ ウェハーを持ち上げて移送しますので、薄型ウェハーでも傷つけません。 また、二ヶ所のネジを緩めることによりウェハーの高さを調節できます。 ※薄厚の混合は不可 ■裏表反転移送が可能！ カセットは上下どちらにもセットできますので、カセットに対してウェハーを裏表どちらにもセットすることができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ※その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック

SSY-10010　EFEM

EFEM

す。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能 リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出 開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 　　　　　 　　 搬送、反転、傾斜することが可能です　汚染、損傷、パッド跡の付着がありません。　ウエハ・チップ非接触コレットチャック　　　　　　　　　 ◎特徴　 １．１〜１５ｍｍ□の微小ウエハチップを非接触にて懸垂把持、ト...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

サンドブラスト用マスク治具「MJ-2025型」

カスタマイズ対応致します！複雑な作業前準備は不要です。

プを挟み込み、取っ手付きボルトで固定するので工具不要 ○あらかじめフレーム保持用ピンを配置しているので、はめ込むだけで実装可能 ○片面のみでバリが取りきれなかった場合、裏面も開口があるので 　反転して使用可能 ○1～4方向・マトリックスタイプ等の全てのICチップに対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 　◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 　◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ 　◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等々 　　豊富なオプションに対応可能です。 　◆各種カスタマイズにも対応します。 《２》【フォトマスク洗浄装置】 　◆マスクサイズに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

00H　(300WCBT) ■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション 　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF　POD対応 オリフラ／ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

COF・COG対応フリップチップボンダー

１台でCOF・COG基板に標準対応！業界最小設置スペースと低価格を実現…

チップ反転機構付自動搬送システムと自動アライメント機構によるアライメント精度±5μm オプションにより超音波ヘッド搭載可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ボード・板物の移載装置（ハンドクレーン）

軽い操作で、セッティング作業が思いのままに！

反転作業にも対応できます。 アタッチメントは、個々の作業に合わせた最適設計。 大型、長尺物のセッティング作業に最適です。 １人で作業することができます。 ※詳細は、ＰＤＦカタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： アイコクアルファ株式会社 ラクラクハンド事業部

セル生産対応・超音波対応フリップチップボンダー

セル生産対応。多品種生産用途からプロセス・材料開発まで対応可能！

【特徴】 ●チップ反転機構 ●熱圧接工法対応（圧着ヘッド交換により） ●COF・COG基板対応 ●アライメント精度：±5μｍ（オプション±1μｍ） ●サーボモータによる高精度ヘッド加圧機構 ●ヒーター内蔵超音波...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

イチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マイクロマニピュレータシステム

小部品を、数グラムで把持・マイクロメートルの位置決めが可能

◆精密対称動作を保障したスリムな把持機 　・低把持力（数グラム）で、ワークダメージを防止 　・ワークの１８０°反転も容易 　・小型モーターによる、リモート開閉で、手ブレを防止 　・把持部を簡単に交換、各種ワークに対応 ◆小型ＸＹステージ 　・占有容積が従来の１／８以下 　・顕微鏡周辺での並べやすさと剛...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 L...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いていますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。紙、フィルム、不織布、スルホール基板等の薄い通気性のワークの搬送も可能です。ベルヌーイチャックと...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

　(300WCBT) ■ワークサイズ 　 ウェハー　φ4″～φ8″（300WCBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　　MAX□9″) ■オプション 　 ワーク反転機構 　 　 FOUPロードポート対応 　レチクルケース対応 　 SMIF　POD対応 　オリフラ／ノッチ合わせ機構 　 イオナイザー 　オゾン水供給ユニット 　 高圧ポンプユニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場