切削油を使わないNANO水加工【コストダウン事例資料を進呈！】

PR切削油不要！ナノ単位に微細化した水のみを使用した新たな加工技術。工場の…

水道水を「NANO水」発生装置を通過することで水道水に含まれる気体を ナノサイズにまで微細化して水の特性を激変させ、機械加工時の切削油の 代替品としてこの「NANO水」を使用することで、加工工場の課題を一気に 改善する全く新しいテクノロジーです。 すでに加工現場で13年の実績があり、加工精度向上、生産性向上、 工具の寿命延長、工場内の環境改善などを実践しています。 【以下の現場...

メーカー・取り扱い企業： 東京印刷機材トレーディング株式会社

バックアップ電源　瞬低保護装置「ボルテージサグプロテクター」

PR瞬時停電された1秒以内に様々な電源の問題を完全に解決！半導体、LCD、…

ボルテージサグプロテクターは、半導体、LCD、自動車、化学、医療分野を含む様々な産業分野に適用可能です。無停電電源供給のために伝統的に使用してきたバッテリー蓄電方式の無停電電​​源装置（UPS）とは異なり、瞬時停電された1秒以内に様々な電源の問題を完全に解決することができます。既存のデバイスの電気使用量80％削減することができる。 【特長】 ■落雷、着氷雪、台風による瞬間的停電及び電圧低下...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図る...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

【アルミ表面処理　問題解決事例】IC 検査治具への耐熱性絶縁膜

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレ…

の検査をする際に、所定の高電圧を 加えなければならず、その際に絶縁体の治具が必要となります。 セラミック溶射や絶縁コーティング等はコストが高く、治具の形状に 制限もあり、熱伝導率低下などの問題も生じます。 そこで、350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、 耐熱クラックレス硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施工。 特殊な形状の治具が比較的低コストで作...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！…

純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

スタッドバレル

スタッドバレル

が向上しメッキ成膜時間を短縮。また電気効率が向上し消費電力を削減。2つのメリットにより電気代を大幅削減 ★耐熱温度向上 　従来のバレルはPVC素材であったために60℃以上のメッキ温度では溶解する問題がありました。スタッドバレルはPP素材なので90〜100℃までのメッキ温度でも利用可能です。 ★バレルメンテナンス費用・期間削減 　従来バレルでは一部破損した場合には溶接などのメンテナンス手間が...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについてや、ディスペンサーやエポキシ転写の不安定問題、ワイヤボンディング用トーチ電極などの事例を多数ご紹介しております。当社は、装置メーカーが勧める汎用性の高いパーツでは対応できないケースにおいても、数多くの異なる特徴ある仕様を揃えています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

真空フィルム貼付装置｜LP・テープマウンター

真空フィルム貼付装置のご紹介！ローラーでの破損問題を解決します

『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件（真空度、着圧）を変更可能です。 デモテストご相談ください。 【特長】 ■ストレスを与えたくないワークに対応 ■ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800ｘ40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置…

金属製プレートは重く、熱変形により精度維持が困難です。SiCセラミックスへの代替により様々な問題を解決します。 【仕様】 ■最大寸法　□800(Φ800)ｘ40t ■平面度1~5μm　平行度2~10μm　面粗さRa0.4μm 　※精度は寸法や形状で変わります 【主な特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

ファイバーレーザー溶接『ステイク溶接』スポット溶接の打痕問題解消

打痕よ、おさらば。スポット溶接をファイバーレーザー溶接に置き換えれば、…

◆ステイク溶接とは？ ・ステイク溶接とは、「レーザ溶接機での重ね溶接」を意味します ・溶接用語として、2013年にJIS規格化(JIS Z 3001-5)されました ・近年レーザ溶接にて重ね溶接を行う手法が一般化されつつあります ◆ステイク溶接のメリット ・スポット溶接時の分流による強度不足の懸念がない ・必要強度に応じて近距離に複数個所の溶接が可能 ・電極の形状に左右されず、溶...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレッシオ 板金事業部　愛晃工場

エポキシ ディスペンシングノズル

最適なデザインを設計！不安定なエポキシ塗布量などの問題を解決します

ンシングノズル』は、半導体製造装置の消耗パーツや ピックアップツールの開発・製造しているオルテコーポレーションの製品です。 テーリング、ブリッジング、ボイド等不安定なエポキシ塗布量などの 問題解決の為に最適なデザインを設計致します。 【特長】 ■最適なデザインを設計 ■MATRIX・STAR・INTERLOCKINGの3パターン ■最小ピン間ピッチは0.76mmまで可能（25...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

タイムに測定し補正を行うため、ウエハ膜の種類に依存せず正確な温度測定が実現可能になりました。 また、独自の赤外線高感度測定技術により、低温まで(検出器の感度限界近くまで)測定出来ます。 今まで問題になっていたチャンバー中の迷光に付きましても、さまざまなソリューションをご提供する事ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

耐薬品性ふっ素ゴムシール「サンエラストI」

耐薬品性フッ素ゴムシール！従来のフッ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅UP

学プラント、食品、および塗装などの業界では、溶剤、薬品、腐食性ガス等多くの流体が使用されております。 ●これらの流体をシールするには従来ふっ素ゴムが使用されておりますが、膨潤あるいは溶解などの問題で使用範囲が限られていました。 ●サンエラスト（3301-70）は、従来のふっ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅に向上しているのに加え、従来のふっ素ゴムと同等のシール性、耐熱性を備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

磁力を利用した非接触動力伝達装置「プロスパイン」

磁力を利用した非接触動力伝達装置！従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・…

非接触動力伝達装置「プロスパインシリーズ」は、磁石の吸引・反発の力を利用した動力伝達伝達装置です。従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・騒音といった問題を解決し、静かで安全・クリーンな動力伝達を実現します。 【特長】 ■非接触により回転するため、騒音や振動がほとんどありません。 ■非接触での噛み合いによるため、発塵（ホコリ）が出ません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロスパイン

新型加圧脱泡装置 （オートクレーブ）

協真エンジニアリングのオートクレーブが装いも新たに新登場！

望によりチャンバーの中でプレス・回転など様々な作業を行うことが可　能です。 ★高度な処理 　ご要望により加圧のみでなく真空引き機能を加え高度な処理をすることも　　可能です。 ★お客様がお持ちの問題をその場で解決できる研究設備も完備しています。 【お問い合わせ】 株式会社協真エンジニアリング　営業技術部　 TEL 048-283-5660 Email:sales@kyosin-e...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協真エンジニアリング 本社

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

ズを的確に捉え、半導体業界には無くてはならない企業であり続けたいという想いと共に、社員全ての人達が日々価値ある最高の製品・技術・サービスを提供する事で躍進して参ります。確かな技術と高度な知識で様々な問題の解決をお手伝いし、お客様のニーズに的確に捉え、最適なサポートを提供いたします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

吸着プレート(ヘッド)

積層金網フィルターは目開き(メッシュ)厚み(積層枚数)の選択肢が増えま…

を用いる事により、接触面が均一である・積層金網フィルターを用いる為、目開き(メッシュ)、厚み（積層枚数）の選択肢が増え、あらゆる用途に対応可能金網の角部にＲを付ける事により、素材進入時の引っかかりの問題を解消・ステンレス(イレギュラー粉)製焼結金属フィルター使用時では素材自体が尖っている為、柔らかい・薄い素材には刺さりかねない問題を解消・表面処理する事により滑り性（耐摩耗性）を格段に向上させ、さら...

メーカー・取り扱い企業： 焼結.com

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

クＣ型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

亜鉛メッキ

安価で耐食性を付与出来る亜鉛メッキ（クロメート処理）

特性としての導電性 亜鉛金属の導電性は5.9×10-6 Ω-cmと良好で、クロメート処理で更に導電性が高くなる 2.加工性 2.5モース硬度なので、常温では脆くメッキ後の曲げ加工には多少の問題があるが、良好 3.脆性 亜鉛メッキ処理後、4時間以内に200℃で数時間処理すると水素が放出すので、脆さがなくなり車のボルトなどに使用可能 4.はんだ付け性 亜鉛の状態では問題なく使...

メーカー・取り扱い企業： 三和メッキ工業株式会社

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

る。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にＬＣＤ用第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）の非接触搬送用に採用されている。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベローズ、フレキシブルチューブ

ベローズ、フレキシブルチューブ

大気汚染や温暖化など地球環境問題に対処することが急務とされており、エネルギー環境領域で活躍する新機能材料の開発や半導体設備、荷電粒子加速器、各種制御機器のシール等、ニーズは益々高度化しています。こうしたニーズに応えるため弊社では、...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

軟質PVCフィルム『アキレスバイオマスセイデンクリスタル』

バイオマス材料を使用し、環境負荷低減に貢献。優れた帯電防止・防炎効果を…

オマスセイデンクリスタル』は、原材料の一部にバイオマス材料を使用した帯電防止防炎透明軟質PVCフィルムです。 バイオマス材料を使用することで石油由来材料の使用量を削減。 海洋プラスチックごみ問題への対応や脱炭素社会の実現に貢献します。 環境負荷の低減を図りつつ、当社従来品と変わらない 優れた帯電防止性能および防炎性能を備えています。 【特長】 ■原材料の一部に植物由来のバイ...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 化成品事業部フイルム販売部

エポキシ樹脂でできたディスペンスノズルとは

エポキシ塗布に悩まない！最適なデザインを設計。装置に付随している純正品…

- テーリング、ブリッジング、ボイド等不安定なエポキシ塗布量などの問題解決に最適なデザインを設計。 - シングル/マルチノズルで提案可能で、使用するプロセス、アプリケーション、または塗布パターンに応じて選択可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

【資料】『半導体製造装置における 現状の課題と対策』※実例掲載

半導体製造装置開発におけるそのお困りごと、コネクタで解決できるかもしれ…

本資料では、半導体製造装置の開発におけるよくある課題を、コネクタによって解決した事例をご紹介しています。 【このような問題に直面していませんか？】 装置の有効スペース減少による耐熱性能の確保 市場において、このような背景があります。 ■半導体の微細化・多種開発、立上げ時間の短縮 ■スループットの向上、装置の...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

オープンクリーンベンチ KOACH C 900-F　興研

■局所クリーン化の決定版■クリーンベンチのように周りを囲う必要なし■囲…

たコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離れるにしたがって周囲の空気を誘引してしまい、徐々に清浄領域が狭まります。 この問題を、対向させた2つのプッシュフードから吹き出す清浄化されたコヒーレントな気流を衝突させること（対向型気流）で解決したのが、オープンクリーンシステムKOACHです。 対向型気流によって周囲の空気...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

テーブルコーチ KOACH T 500-F　興研株式会社

卓上設置のコンパクトなサイズです。研究・検査機関に多くの導入実績があり…

れたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離れるにしたがって周囲の空気を誘引してしまい、徐々に清浄領域が狭まります この問題を、対向させた2つのプッシュフードから吹き出す清浄化されたコヒーレントな気流を衝突させること（対向型気流）で解決したのが、オープンクリーンシステムKOACHです。 対向型気流によって周囲の空気...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

『高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウを凝縮！』 多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

ット」 などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。 当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、 確かな技術と高度な知識で、様々な問題をスピィデーに解決するお手伝いをしております。 【修理・改善内容】 ■高周波電源 ：放熱効果の改善 ■RFマッチングボックス ：過負荷や経年劣化する部品を定期交換⇒RF Match...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

【導入事例】ワーク持ち帰り防止、安定したチップトレイへの収納

交換式のため、経済的であり、作業現場で簡単に交換可能な導入事例のご紹介

半導体製造メーカー様よりご依頼をいただき、ワーク持ち帰り防止、安定したチップトレイへの収納を導入した事例をご紹介いたします。超硬、耐熱性樹脂等の平コレットでチップの表面にキズをつけり、チップのカケで問題をお持ちの方にお奨めします。 交換式のため経済的であり、作業現場で簡単に交換でき、絶えず最高クラスのコンディションで使用できます。先端形状は丸形、正方形、長方形で、標準仕様として豊富なサイズを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

未来を切り拓く、革新的な半導体製造技術！キズと不良をゼロにする究極の性…

来のSEMに加え、電子線技術を利用した電気特性測定を行うことによって、従来の方法では見つけづらかった不良箇所を高精度に特定できるようになります。電気特性測定によって、半導体チップの電子的性能に関する問題を把握し、改善策を立案することが可能となります。 ナノプローブ技術によるトランジスタ測定 ナノプローブ技術を導入することで、小型化されたプローブを使用してトランジスタを直接測定することができ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

精密ノズルを設計、造形するならオルテコーポレーション

半導体製造工程で使えるノズルや微小なサイズの精密ノズルを設計し、提供し…

「半導体後工程のノズル」 弊社ではエポキシ材質のノズルを取り扱っています。 テーリング、ブリッジング、ボイド等不安定なエポキシ塗布量などの問題解決の為に最適なデザインを設計致します。 「それ以外の精密ノズル」 3Dプリンターにより設計する樹脂製のノズルになります。サイズは数十ｍｍまで造形可能で、数マイクロメートル単位でプリントを行...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

お困りではありませんか？ プラズマや高温、ガスによる影響で連結部に使用しているセンターリングが劣化してしまうなどの問題にたいする改善策をまとめた事例集です。 センターリングの検討をされている方、選定の一助までにご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー