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圧搾空気を用いたアーク放電式の大気圧プラズマ装置 ‐低ランニングコ…
・ボンディング ・印刷 ・ラミネート ・はんだ付け ・溶着 活性ガスに含まれる反応性粒子(ラジカル)を反応させて活性化し、超微細な洗浄を行うのがプラズマビームです。プラズマノズルから噴出される活性ガスには、常に危険な電圧がかかっておらず、電圧はほとんど測定できないほど低いです。これにより、電子業界に限らず医用工学、自動車、消費財や太陽電池等の様々な分野で採用されています。 期待で...
メーカー・取り扱い企業: テクノアルファ株式会社
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マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を非…
OFF操作を行い、化合物半導体ウエハは(GaAs,InP,GaP)InPウエハはを非接触にて吸引し、所定の位置に脱着を行います。 ベルヌーイチャック「フロートチャックSAG(InP)型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、InPウエハを非...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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