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多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…
○マグネトロン電極は､ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは､ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ､スパッタ効率を向上させています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス
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