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空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット
エハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブを手の操作により空気供給のON−OFFを行い。ウエハを非接触にてつかむ。 「ベルヌーイピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を無接触状態...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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