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29件 - メーカー・取り扱い企業
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4件 - カタログ
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１０Gガラス基板非接触搬送装置
気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置
ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…
ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。 気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置
太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…
非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。 作動面...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型
排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…
ャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。 クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。 作...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ガラス基板を非接触にて搬送システム
この度、新たに開発した「フロートチャックＣ型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200m...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…
噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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アモルファス太陽電池搬送装置
空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド
「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの ローダ・アンローダに最適...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…
ニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。 【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整 ◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ スプレー ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など その他お気軽にご相談下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置
ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット
気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構に...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…
フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』
【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します
＜クラス100対応！半導体の洗浄に使用できます＞ 当エアーノズルは特許も取得した独自技術により、従来のエアーノズルと比較してエアーの噴出力がケタ違い。強力なエアーブローにより、半導体に付着したパーティクルを除去します。（クラス100対応） つまり、これまで「1.水洗浄 ⇒ 2.水切り ⇒ 3.乾燥」と3ステップで行っていた洗浄工程...
メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社
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段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」
段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…
積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。 積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。 浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に移...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…
設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇窒素流量調整 ◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ スプレー ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など その他お気軽にご相談下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する
ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。 スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。
微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
ASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびサファイア基板と接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。 クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われてます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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簡単な操作で、途切れることなくガスを供給
る事が可能 さらに、ガスを供給しながらボンベを切替る事が可能 ■切替ハンドルを倒すだけで、系統が切り替わるため操作が簡単 ■入口部に小型逆止弁を内蔵 ボンベ交換時に口金よりガスが逆流噴出することがない ■系列切替時に電磁弁等の電気を使用しないため 水素などの可燃性ガスにも使用可能 ■豊富なオプションをご用意 ・ガスボンベの本数追加(2×2から必要に応じて) ・...
メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所
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空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…
極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非接触にて懸垂搬送する。クッション室内にて気体を垂直方向に噴出することにより生じるベルヌーイ効果およびエゼクタ効果による負圧発生により非接触状態にてウエハを懸垂保持する。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ３００mm 厚さ２０μmの高屈折率ガラスウエハを気体を噴出することによりピンセットのようにマニュアル操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて掴み、所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送す...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気でつかむ
気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いていますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。紙、フィルム、不...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハを非接触にて掴むピンセット！非接触ピンセットＷ型
ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハを手操作により非接触にて掴むピンセット
ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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