管路曲り測定装置 孔曲り測定　削孔曲り測定　レンタルOK

PRアンカー工事、地盤改良工事等のボーリング孔の曲り測定や埋設管（水道、通…

『NEMONAVI』は、管路内にセンサーユニットを通すことにより、管路の真直度や位置を測定することができる装置です。 主にアンカー工事で地中に挿入埋設された外管の真直度の計測や、埋設物直下での自在ボーリング工法のロッドの位置計測に使われています。 ～デモンストレーション（無償）ご希望される方はご連絡下さるか、カタログをダウンロード下さいませ！～ 【特長】 ◎測定の開始から...

メーカー・取り扱い企業： 根本企画工業株式会社

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速…

のでより精度の高いプロセスコントロールができます。 クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、 その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の 他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能（400x300の基板） ■従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜で...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スピンドライヤー

スピンドライヤー

カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。 小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応 【特長】 ・小型コンパクト設計 ・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

2"4"　ウェハシッピングボックス

2"4"　ウェハシッピングボックス

小口径ウェハーを搬送するケースです。 素材はPP　25枚収納です。...

メーカー・取り扱い企業： ツインリンクス株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ンチ～12インチ（12.7～300mm）まで装置製作は対応可能です。 ウェハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

シリコンウェハ

2インチ；3インチ；4インチ；5インチ；６インチ；8インチ；１２インチ…

ウェハー (wafer ウェイファ)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。洋菓子のウェハースに由来（英語表記ではいずれもwafer）。 ウェハーのほか、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハなどさまざまに呼ばれる。 ...ウェハーの直径は50mm–300mmまでいくつかあり、この...

メーカー・取り扱い企業： D&X株式会社

生体適合材料・医療用プラスチック

高機能、かつ安全な材料で医療機器産業の明日を拓く！

　・リスクから見た医療機器の安全性、原材料メーカーの製造物責任 　・有機 無機ハイブリッド材料、医療応用の現状と今後の期待 　・植物由来接着剤の接着力とその安全性 　・絹を用いた抗血栓性小口径人工血管、人口角膜、人工骨の開発 　・PC基含有ポリイミドからなるナノシート、血液適合性 　・血液透析膜等の医用膜の設計・開発 　・医用膜の特殊性である血液接触時の反応、性能低下に関する事例...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

小型循環式サンドブラスト機『ASB-2N型』

汎用機仕様のノウハウを凝縮した省スペースタイプのサンドブラスター

『ASB-2N型』は、小物部品の各種表面処理に、研究開発用・小ロット生産用として幅広く活躍する小型循環式サンドブラスト機です。 多量の研削材を一度に噴射することで驚きのハイパワーブラスト処理を実現。 スペースを取らずに短時間で表面処理が可能です。 また、サンドブラスト自体の圧送能力が優れているため、細かい粒度の研削材でも楽々処理できますので、加工物の表面荒れが少ない仕上がり面を生成で...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社秋山産業

大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

キャリア『シリコンキャリア』

高平坦度・高位置精度のキャリア

『シリコンキャリア』は、半導体製造装置を改造せずに、 小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、 または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。 ２～１２インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に 加工（研削・...

メーカー・取り扱い企業： Carrier Integration株式会社

低価格Ｗｅｔ処理装置

○2インチ等小口径にも対応○　1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！

～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。 【特徴】 ・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上） ・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り） ・コンパクトな装置サイズ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ

ウェハ用移載装置『Sicホルダー移載機』

コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置

『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...【仕様】 ■ウェハスペック：5インチ　210～600μm ■カセット：50枚　ピッチ：2.38mm　PFA ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ECP

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ

CD-SEM

圧倒的なシェアを誇るCDSEM、日立S8000＆S9000シリーズ。装…

【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ 小口径・化合物ウェハ対応改造 ■ SMIF→オープンカセット改造 ■ 複数ウェハタイプ（トレイ使レイ使用）改造 【定期メンテナンス】 ■ チップ交換 【移設業務】 ■ 構内移設 ■ 工場移設 【ト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ