中量機用二流体ノズル 　※2024年3月導入済！

PR300種類超の製造実績！1987(昭和62)年運転開始以来コンタミクレ…

ラボ機での反響を踏まえ、平均粒子径5～20μmの微粒子造粒粉をつくる 中量機用二流体ノズルを2024年3月に導入致しました。 2022年12月に、微粒子生産試験用として二流体ノズル噴霧機構を 導入してから約一年、お客様からのフィードバックが良好であること、 またその結果を踏まえスケールアップをご希望の声があることなどをかんがみ、 中量機(大川原・OC-16型)向けにも二流体ノズル噴霧...

メーカー・取り扱い企業： 日華化成有限会社

冷却水配管用ワンタッチ継手『タッチコネクターFUJI　Vタイプ』

PR外装は全て金属パーツの冷却水配管用ワンタッチ継手。金型交換の際の破損リ…

『タッチコネクターFUJI Vタイプ』は外装は全て金属パーツの 冷却水配管用ワンタッチ継手です。 金型交換の際、ぶつけて割れるなどの破損リスクを軽減します。 パッキンはフッ素ゴム製で耐熱性に優れ、耐食性にも優れています。 また、特殊ロックリングは継手内で回転するため、チューブの回し切れの心配もありません。 【特長】 ■外装は全て金属パーツで破損リスクを軽減 ■高耐熱性・高...

メーカー・取り扱い企業： 千代田通商株式会社

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性…

『WD』は、半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を 流体として使用できるダイヤフラムバルブです。 バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、 シート（ASSY）部の交換をユーザーサイドで可能としました。 また、アクチュエーター径φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに 対応可能です。 【特長】 ■半導体や液晶装置で使用されるTEOS等...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。 【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な…

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス（接液）部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着…

高純度ガス系バルブ『ZDシリーズ』『ZD-Kシリーズ』（高温リプレイサブルバルブ）は、 シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 【特長】 ■お客様自身でバルブシート交換が可能！ 　バルブ内洗浄の際などにシート部のみの脱着交換が可能なためバルブを再利用できます。材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に適しています。 　※メンテナンス後は製品保証外と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　リプレイサブルシート バルブ『KD-E』

シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に…

『KD-E』シリーズは、「KD」シリーズをベースにシートと ダイヤフラムを脱着交換可能な構造として、ランニングコストの 低減を実現するダイヤフラムバルブです。 シートとダイヤフラムの交換によってボディ・駆動部品を再利用可能。 液体材料容器用など、バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に適しています。 また、専用の交換工具セットを使用することで、簡単かつ正確にシートと ダイヤフラムを交...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

開閉表示用磁気近接スイッチ

IVBシリーズ用！バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチのご紹介

当社が取り扱う『開閉表示用磁気近接スイッチ』をご紹介します。 「IVB」「IVBL」「IVBH」シリーズのエアーシリンダー式バルブ （NC・NO・DA）は、バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチを 取り付けることが出来ます。 無接点スイッチ「PE33L3」と、有接点スイッチ「PD31L3」をラインアップ。 耐衝撃は294m/s2で、動作時間、復帰時間は1ms以下となっています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従…

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

メカニカル式メタルガスケット面シール継手『CVC』

傷付きやすいシール面に平坦鏡面加工と特殊硬化処理を施した、メカニカル式…

『CVC』は、高純度ガス系配管にお使いいただけるよう、当社独自の 電解研磨による表面処理及びクリーンルーム内での洗浄・検査・梱包を 行ったメカニカル式メタルガスケット面シール継手です。 構成部品である「メスナット(NF)」は、メスネジには銀メッキ処理が施され、 かじり焼付けを防ぎ、締め付けが確実に行えます。 また、リークテスト用ポート(2箇所)がガスケットの線上に位置しガスケット ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス…

『KDシリーズ』は、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる 品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。 ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm3まで小さくする事により 優れたガス置換特性を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■内容積を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティ…

『VLDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして使いやすさと シンプルさを追求したダイヤフラムバルブです。 基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法の変更及び 部品数を削減し安全で且つ低プライスを実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応し パーティクル性能を極限まで追求しました。 【特長】 ■駆動部品数の最小化、単純...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FP…

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』

コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手…

『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大きい窓と見やすいOPEN/CLOSE表示を採用。 「自動弁」は、ボディとアクチュエーター結合部の剛性をアップして、 信頼性を向上させ、特許を取得しているクサビ式倍力機構を採用すること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータ…

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』

内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コ…

『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用の デジタル温度コントローラーです。 当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルの ヒーターを同時に加熱することが可能。 制御温度範囲は室温～Max180℃で、入力電源はAC100V/200V共用 となっています。 【主な仕様（抜粋）】 ■制御温度範囲：室温～Max180℃ ■適用温度センサー：K...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』は、ボルト1本で締結する構造 となっており、配管施工後でも脱着が可能な継手です。 ボルト締結時、継手が締まる方向に回転する当社独自の構造により、 取付方による継手の緩みは発生しません。 半導体用材料容器搬送時の振動による緩み防止対策や工場配管設備 の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。 ＃振動対策 【特長】 ■ボル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOT…

『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。 ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱での シール性能を高めています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態 或いは OPEN-C…

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 また、ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、 バルブのLock-out Tag-outができ、ヒューマンエラーによる誤操作防止に役立ちます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

自動溶接継手『SCM』

素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用！コンパクトな溶…

『SCM』は、直管部が短いタイプの溶接継手です。 形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能。 接続端は自動溶接に適したネック付で、放出ガスを抑えるために 素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用しています。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能 ■自動溶接に適したネック（直...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『流路まるごと事例集』 原料容器用バルブの安全対策 ※無料進呈中

半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。

出荷時はしっかり閉まっていた原料容器バルブが、輸送時の振動により緩んでしまう、 ハンドルが半開しているのに気づかずに作業者がキャップやプラグを外してしまったなど、 原料容器輸送時における緩み防止、ヒューマンエラーなどの課題はありますか。 KKITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 ＃副生成物対策 内部・外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち、それぞれMax180℃まで 任意の温度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。 ＃副生成物対策 また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っております。 【特長】 ■ステンレスボディの採用により、耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能 ■角...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換…

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズ（高温リプレイサブルバルブ）は、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。 お客様自身でバルブシート交換が可能！ ・材料容器用など、バルブを洗浄・交換する用途に好適です。 　※ メンテナンス後は製品保証外となります ・高温環境下で使用可能！ ZD series：200℃まで、ZD-K series：2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行って...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

自動溶接継手『SCF』

各接続端は自動溶接に適したネック付！高純度ガス供給用の溶接継手

『SCF』は、パイプ材から製造し、内面研磨したクリーンな溶接継手です。 放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用2重溶解材をオプション として採用し、電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下を実現。 また、自動溶接に適したネック（直管部）付で突合せ溶接用の開先のため、 高品質の溶接が簡単に行えます。 カタログ外のサイズやフランジ等は各営業担当にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『KCDシリーズ』

「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシ…

『KCDシリーズ』は、「KDシリーズ」をベースとして更なるコンパクト化を 図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。 耐久性能を落すことなく、自動弁400万回、手動弁10万回を実現。 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに 対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。 【特長】 ■KDシリーズの内容積1.2cm3に対し、0.97cm3まで小さく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

自動溶接継手『SCL』

マニホールド配管施工の際、単管が不要！作業工数が減少する自動溶接用継手

『SCL』は、直管部が長いタイプの溶接継手です。 電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現。 直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要になる為、 作業工数が減少（溶接箇所1ヵ所不要）します。 【特長】 ■電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で実現 ■直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管が不要 ■自動溶接に適したネック（直管部）付 ■高品質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー