小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置

PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…

真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...

メーカー・取り扱い企業： 富士ハイテック株式会社

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…

当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』

半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…

『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな…

『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには…

『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空…

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 ＃副生成物対策 内部・外部ヒータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空フランジ ボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長で…

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…

「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…

ため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久：全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性の…

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事例がありましたら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』

内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コ…

『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用の デジタル温度コントローラーです。 当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルの ヒーターを同時に加熱することが可能。 制御温度範囲は室温～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従…

ラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー