従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

極・超高真空チャンバー

お客様の多岐に渡る研究用途に合わせて、高真空、超高真空、さらには極高真…

北野精機では、お客様の多岐に渡る研究用途に合わせて、高真空、超高真空、さらには極高真空の領域まで各種真空チャンバーを制作しています。真空チャンバーの形や使用するステンレス鋼の材質は、実験の内容に応じて豊富な種類の中から最適なものを選択。分岐機器や計測機器の...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

走査プローブ顕微鏡装置（SPM）用 極高真空装置

走査プローブ顕微鏡装置（SPM）用 極高真空装置

を調べることができる原子間力顕微鏡(AFM：Atomic Force Microscope)などがございます。(7.1.14.10) 主な装置構成は、分析室、準備室、試料作成室、試料導入室等の超高真空〜極高真空領域の3室〜4室から構成されます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

3次元アトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

3次元アトムプローブ装置 (3D-AP) 用 極高真空装置

1988年にオックスフォード大学のA. Cerezoらにより開発された位置敏感型アトムプローブ(position sensitive atom probe, PoSAP)は、アトムプローブの検出器に位置敏感型検出器(position sensitive detector)を取り入れたもので、分析に際してアパーチャーを用いずに検出器に到達した原子の飛行時間と位置を同時に測定するこができる装置です。こ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTMシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】弊社トランスファーロッドは…

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。 本製品は、比較的短い距離（200mm～300mm）での試料等の搬送を行う際におすすめです。 マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。 真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

LEED分析用 極高真空装置

LEED分析用 極高真空装置

●特徴 本装置は電子線の回析現象を利用し、表面の結晶構造などを観察する電子検出形表面分析装置です。 ...●特徴 本装置は電子線の回析現象を利用し、表面の結晶構造などを観察する電子検出形表面分析装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

試料搬送装置

試料搬送装置

本製品、試料搬送装置（Sample Carrying System：KSC-1000）は試料導入室を兼ね備えた搬送装置です。 複数の真空システム間において超高真空領域を保ったまま試料搬送が行え、将来的に真空システムの増設・拡張が容易です。 また標準で６連の試料搬送キャリアを備え試料ストッカーとしても最適で付属の過熱機構にて試料表面...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

2軸型 回転導入機（マグネット型）

マグネット方式なので、操作は安定・半永久的！超高真空領域まで対応可能！

『2軸型 回転導入機（マグネット型）2Axial Rotary Drives』を 取り扱っています。 マグネット方式なので、操作は安定・半永久的です。 内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで対応。 マグネット結合により運動を伝達するので外部との真空封止は完全です。 また、固定ネジにより、任意の角度設定が可能です。 【特長】 ■接続フランジはICF規格 ■内部に...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』

超高真空領域まで使用可能！X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを…

す。 接続フランジがICF-152のタイプをの場合、接続フランジ上部に設置された 6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1回転当たりの移動量は各々0.5mm ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的な 　チルト機構として...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

中空型 回転導入機

ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能！中空構造の回転導…

当社では、『中空型 回転導入機』を取り扱っています。 クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 回転させることが可能です。 手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類があり、ウォームギアを 使用することにより、スムーズに位置決めが可能。 また、有効内径を最大...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

超高精度5軸マニピュレーター

超高精度5軸マニピュレーター

特徴 本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。 オプションであるサンプル加熱/冷却機構または...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

2軸トランスファーロッド（マグネット型）

超高真空領域までの使用が可能！直線移動と回転運動が同時に行えます

意のストローク・先端加工、 又モーター駆動型等も可能です。 【特長】 ■マグネットタイプのスライド方式で直線移動と回転運動が同時に行える ■マグネット方式なので、操作は簡単 ■外部との真空封止は完全 ■ストッパーにより、任意の位置設定が可能 ■超高真空領域までの使用が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

シャッター機構

マグネット方式で操作は簡単・半永久的！フルオープンタイプなので視界は広…

当製品は、真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の 保護シャッターです。 バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲。 RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。 各...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

上下機構(Z軸)『KUDシリーズ』

本体を回転させてフランジ間の距離を正確に調整が可能！ベローズ式直線導入…

『KUDシリーズ』は、手動駆動型とモーター駆動型の2種類がある 中空構造の直線導入機でです。 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用可能。 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を 行うことが出来るほか、側面に目盛りスケールを設置している為、 精度を要する移動や微調整などに使用出来ま...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

電界イオン顕微鏡装置（FIM）

電界イオン顕微鏡装置（FIM）

Microscope）は鋭く尖った金属針先端の表面原子像を容易に観察できる投影型の顕微鏡で1951年にペンシルバニア州立大学のErwin E. Mueller教授により発明されました。本装置は、超高真空の環境の中で、試料としてセットした金属tip（探針）の電圧を除々に大きくしていくことで、スクリ−ンにFIM像を出現させ、針状の試料表面原子の凹凸を100万倍程度に拡大した像を肉眼で観察できるイオン検...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTSシリーズ）

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動と回転運動を伝達する導入機です。 本製品は、比較的短い距離（100mm～300mm）での試料等の搬送を行う際におすすめです。 マグネット方式の為、外部との真空封止は完全で、半永久的に安定した動作を得られます。 真空中に取り付けられた直線運動及び回転運度を要する機器への応用が可能です。 本体の内部には、電界研磨処理を施し超高真空領域まで使用可能です。 駆...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

HR-EELS装置用 極高真空装置

HR-EELS装置用 極高真空装置

●特徴 本装置は非弾性散乱現象を利用し、試料中での電子エネルギー損失を計ることにより表面プラズモン(surface plasmon)電子の表面状態などを検出する電子検出形表面分析装置です。 ...●特徴 本装置は非弾性散乱現象を利用し、試料中での電子エネルギー損失を計ることにより表面プラズモン(surface plasmon)電子の表面状態などを検出する電子検出形表面分析装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-152-50Z/150Z』

超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能…

、接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に 設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の 導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせている ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの 　簡易的なチルト機構としても使用可能 ■蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』

ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に…

『KSM-114-50Z/150Z』は、X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせ、 超高真空領域まで使用出来るセミ・マニピュレーターです。 Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や 微調整などに使用出来ます。 本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

2軸型 直進・回転導入機（ベローズ型）

真空中の試料や機器等に、大気側から回転運動と直進運動を伝達する2軸型導…

当社では、『2軸型 直進・回転導入機（ベローズ型）』を取り扱っています。 真空中の試料や機器等に、大気側から回転運動（外軸）と 直進運動（内軸）を伝達します。 【ラインアップ(抜粋)】 ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM-I ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社