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PRアライメントマークありの場合、位置合せ精度±0.05mm!スリッター機…
『R-ACSE430aa』は、コンベア式、カメラ位置数値制御タイプの 半自動真空枚葉貼合装置です。 300万画素カメラ4台による画像処理自動位置合わせ方式で、 上吸盤仕様は旋回式AL吸着パネル、下吸盤仕様は貼合コンベアベルト バックアックパネル仕様。 また、オプションでスリッター機能追加が可能です。 【仕様(一部)】 ■装置名称:R-ACSE430aa(コンベア式・カメラ...
メーカー・取り扱い企業: クライムプロダクツ株式会社
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PR【※デモ機無料貸出中】韓国メーカーよりポンプを直輸入(総代理店)し低価…
当社は、産業機械用や医療機器用ポンプの提供で豊富な実績をもっております! 今回は、なかでも当社が日本総代理店である韓国・G&M Tech.社製の『ローコストポンプ』をご紹介します! 【ラインナップ(一部)】 <オイルレス ピストン式真空ポンプ DCモータータイプ> ■低価格でコストダウンに貢献 ■特殊樹脂製ピストンリングを使用し、オイルフリー ■メンテナンスが容易で、国内採用実績が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社CSP(シーエスピー)
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酸素フリー、高効率のウェーハプロセス!図を用いて分かりやすく説明してい…
当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分か...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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真空排気省エネソリューション!半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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連通する時間はわずか10秒!アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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300mmウェーハのFOUP、FOSB用!シンプルなベーシックユニット…
『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB(パージポート付)に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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【資料】FOUP用 真空ガス置換システム『VGX-system』
多数のVGXオペレーションや、特長などを分かりやすく掲載しています!
当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換 システム『VGX-system』のご紹介資料です。 現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの 概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。 是非、ダウンロ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ベック
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