静電気除去装置　※設置例付き

PRクリーン環境の除電に好適！印刷等のラインスピード300～500m/分の…

当社で取り扱う、電気力線方式の「静電気除去装置」をご紹介いたします。 放射電極より電気力線を放射し、この電気力線により帯電体より放射している静電力線を消滅し除電する構造。 帯電している極と反対の電気力線が引きつけあい、電気力線自体の回り込む性質上、品物の裏まで除電出来ます。 また、高真空層内の除電ができ、使用電力は2～5W前後の省エネタイプです。 【特長】 ■メンテナンスが簡単 ■送風の必要が...

メーカー・取り扱い企業： クリーンテクノス株式会社

３K改善！手投入廃止！安全かつ省スペースで行える粉体空気輸送機！

PR作業現場の省人化に貢献！粉体の外部飛散も無くなり、人と設備を守ります。

『VOLKMANNバキュームコンベア』は業界を問わずお使いいただける完全エアー駆動の粉体吸引搬送装置です。 組み合わせ自由なモジュール構造で搬送条件に合わせた搬送レイアウトが設計となっており、工具なしで分解組立もできますので、メンテナンス性にも優れております。 また、1台で搬送⇒排出⇒フィルタークリーニングまで全て完結するため、 省スペースでも設置可能です。 完全エアー駆動により防爆エリア...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のよ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【分析事例】真空中での有機成分の脱離評価

複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です

TDS（昇温脱離ガス分析法）は真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温しながら脱離成分と脱離温度を確認できる手法です。さらに有機物を同定できるGC/MS（ガスクロマトグラフィー質量分析法）とTDSの結果を組み合わせて解析することで、真空...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】エポキシ樹脂のTDS分析

真空中での有機物からの脱ガス挙動を調査可能です

エポキシ樹脂は半導体封止材として、また真空装置内外で接着剤や真空リーク対策として使用されています。しかし硬化後であっても加熱により脱ガスが発生する場合があり、製品や装置に悪影響を及ぼす可能性があります。TDS（昇温脱離ガス分析法）は高真空中...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202101-04 陽電子によるバリア膜や分離膜評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

結晶化度の異なるPETに対する応用例 ４．密度の異なるシリカ薄膜に対する応用例 ５．まとめ 【図表】 図1～図8、表1～表2 結晶化度の異なるPETの酸素透過係数・拡散係数・溶解係数など、真空下におけるo-Ps寿命・形成確率 室温真空下のFT-IRスペクトル PECVD膜の水の脱離速度 シリカ薄膜の室温真空下におけるD-規格化強度、陽電子寿命...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のよ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

［TDS］昇温脱離ガス分析法

真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水…

TDSは、真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法です。 TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによるグラフェンの脱ガス分析

炭素材料中の官能基や不純物などに起因する脱ガスについて評価可能です

グラフェンの電子放出素子への応用や、カーボンナノチューブへの水素貯蔵など、炭素材料は真空中での用途が増えてきています。そのため真空中での炭素材料からの脱ガスを評価することは、今後の炭素材料の応用の上で重要なポイントとなります。 本事例では真空中において試料からの脱ガスが評価できるTD...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201902-02 大気圧RBS分析の開発

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 多くの場合、表面分析において分析対象は真空に保持できるものに限定される。一方で、高速イオンのポテンシャルを応用すれば、分析プローブを大気圧下に引き出すことができる。TRCでは大気圧におけるラザフォード後方散乱分光法（RBS）を検討し、その実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】有機フィルムの昇温脱離ガス分析（TDS）

真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能

TDSは真空環境下で試料を昇温し、脱離したガスをモニターする手法です。有機物の測定を行う場合、多量の脱ガスによる装置汚染で測定が困難となる場合がありますが、あらかじめ試料量や分析条件を調整し脱ガス量をコントロー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料DL可：AFM】走査型プローブ顕微鏡おける事例集

構造解析/弾性率測定/導電性測定などAFM走査型プローブ顕微鏡による分…

当事例集では、『AFM：走査型プローブ顕微鏡』における分析事例をご紹介します。 【掲載内容】 ●「食品（そうめん）の構造解析および弾性率測定」手法、結果 ●「真空中AFM導電性測定」の特長や分析事例 ●「AFMによる材料表面の導電性評価」の特長や分析事例 ●「高分子材料のAFM観察（ミクロトームによる平滑化）」 弊社の強みの１つであるAFMを使って...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

EDXによる元素分析サービス｜JTL

試料表面に含有される元素(B～U)の定性・定量分析を実施します。

が同時に測定ができるため、含有される元素が未知な場合でも検出が可能です。 【短時間での分析】 多元素の同時測定が可能なため、定性定量分析・カラーマッピングが短時間で実施できます。 【低真空モードでの分析】 汎用のSEMの低真空モードにより、ガスの出やすい試料や導電性の無い試料で蒸着をしたくない試料でも分析が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。 「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、 エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。 また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した 受託測定を致します。 【受託分析詳細】 <水蒸気...

メーカー・取り扱い企業： アイゲート株式会社 本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

■微細イオンビームによる試料加工 Gaイオンを試料表面に照射すると、Gaと共に試料表面を構成している原子や分子が真空中にはじき出されます。このスパッタリング現象を応用したエッチングにより、サブミクロンの精度で平滑な断面を作製したり、穴を開けたりすることができます。 ■原料ガス供給による立体構造形成 原料ガ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Oリングの使用履歴による形状評価

X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能

X線CT分析では、部品の構造や寸法を非破壊で比較・調査することが可能です。本資料では、真空装置に使用されているゴム製のOリングの測定事例を紹介します。ガスがリークしている長時間使用品を調査するため、Ｘ線CT分析および三次元画像解析を行い、新品のデータと比較しました。その結果、長時間使用品...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】三次元培養ヒト皮膚表面の微細形状観察

AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化

した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件下での試料変質を抑えた観察が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによるレジスト膜の脱ガス評価

TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です

TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温し、試料から脱離するガスを質量分析計を用いて調査する手法です。真空装置であるため有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】熱分解GCMSによる空気中高温加熱時の発生ガス分析

酸素存在下での熱分解挙動の追跡が可能

材料を真空中あるいは窒素などの不活性気体中で加熱した時の分解挙動と、空気中で加熱した時の分解挙動は異なることがあります。そのため発生ガス分析を行う際は、実際に材料が暴露される環境と同じ環境下で加熱することが望...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによるSiN膜の昇温脱離ガス分析

薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能

成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2（H2）、m/z 18（H2O）、m/z 27（C2H3：有機物のフラグメント成分）が脱離しているのが分かります。高真空下（1E-7Pa）で分析を行うTDSは膜表面の吸着ガス成分や膜中の微量ガス成分の評価に有効です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS粉体の組成・不純物分析

主成分および微量成分の定量分析が可能

CIGS薄膜太陽電池のフレキシブル化・低コスト化を目指した開発において、光吸収層の低温形成プロセスや非真空下プロセスが必要とされており、CIGS組成の成膜方法の最適化や金属汚染量の制御が重要になっています。 今回は原料となるCIGS粉末の組成・含有不純物濃度について、ICP-MSを用いて高精度に評価し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法

数十μm角程度の領域の測定が可能

赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。 ・非破壊での測定が可能 ・真空下での測定により、大気成分であるCO2やH2Oの影響を除去することが可能 ・顕微測定により、数十μm角程度の領域の測定が可能 ・透過法、反射法、ATR法などを用いることで、様々な形状や状態の試料...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XRD］X線回折法

XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温～1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

酸素やセシウムなどのイオン(一次イオン)を試料表面に照射すると試料表面近傍の原子は攪拌され、一部が真空中に飛び出してきます（スパッタリング）。 飛び出してきた粒子のうちイオン(二次イオン)を質量分析することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

熱解析受託サービス　（数値解析ソリューション）

経験豊富な解析技術者が熱伝導、対流、輻射などの熱解析業務に迅速に対応、…

然対流、強制対流、輻射 等。 20年の豊富な実績と110名の解析技術者が、適正な価格で迅速に対応します。　 【事例：宇宙関連】 ロケットや人工衛星、ミッション機器の温度解析、輻射熱解析、熱真空試験支援を行なっています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＨＩエスキューブ 総務部総務グループ

【AFM/AESオージェ電子分光装置】めっき部品の加熱影響評価

AFM走査型プローブ顕微鏡/AESオージェ電子分光装置によりめっき部品…

、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 AESオージェ電子分光装置では、材料の極表層（~5nm程度）の元素分析や深さ方向の濃度勾配を調査することが可能で...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

スペクトル解析ソフトウエア『SCOUT』

光学モデルを用いたシミュレーションとのフィッティング解析から、膜厚や光…

などを決定するスペクトル解析ソフトウエアです。 豊富な誘電分散モデルなどにより、あらゆる波長領域の 分光スペクトルに対する多様な解析アプリケーションに対応します。 【主な特長】 ■真空紫外領域からテラヘルツ領域に至る広いスペクトル範囲の観測データに対応 ■透過率、反射率などのあらゆる分光スペクトルに対して、任意の組み合わせで 同時フィッティング解析が可能 ■膜の層数に制限が...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクノ・シナジー

【DL可/AFM】めっき済み接点部品表面の導電性評価

AFMでは極めて微小な表面形態（凹凸）を捉えて測⾧することが可能です

と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う」装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性や絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 この分析装置を使い「めっき加工したコネクタ接点部品の表面処理」の調査を行いました。 ぜひPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

オージェ分光分析

固体表面の元素組成と化学状態の分析が可能です。

真空下で試料に電子線を照射し、励起した電子（オージェ電子）の分析を行います。オージェ電子は元素固有の運動エネルギーを有しているため、オージェ電子のエネルギーを測定することで、元素の種類を特定できます。オージェ電子は数ｎｍの深さからのみ発生するため、極表層の分析が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】α-アルミナ（α-Al2O3）のTDS分析

セラミックスの昇温脱離ガス分析

熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で 利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような 部材が昇温された際に発生するガスは製品や装置に悪影響を及ぼすことがあるため、部材からの脱ガ スについて把握しておくことが重要です。今回、多孔質と...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料DL可】高分子材料のミクロトームによる平滑化とAFM観察

クライオミクロトームとAFMで軟らかい高分子材料の各種高分解能観察が可…

、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 その物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。 また、クライオミクロトームを用いることで、凍結下で樹脂など軟らかい高分子材料の超薄切片作製が可能です。 こ...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社