電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

最新　実用真空技術総覧

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…

『最新　実用真空技術総覧』 発刊：2019年2月 定価：本体58,000円＋税 体裁：B5判1096頁 発行：(株)エヌ・ティー・エス ISBN 978-4-86043-559-2 C3043 編集...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

許）を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。（1ｇ使用時100回程度） ★ コーティング操作はフルオートです。SEMのスタブに取り付けた試料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。 ○調整操作もラクラク！黄色ＳＷを右から順に押していくだけです。 ○繰り返し処理を行う時は緑ＳＷを押すだけで全自動処理します。 ○試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

卓上真空プラズマ装置　YHS-R

超小型！卓上で扱える表面改質装置！

表面改質に特化した卓上型の真空プラズマ装置！ ワンタッチの簡単な操作性で安価な価格帯です。 大学・研究機関等に多数の導入実績有り！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室): φ440×195(H)mm ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○シャーペンの替え芯を蒸着。マグネト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

『PCシリーズ』は、プラズマ放電にさらすことで、従来の洗浄方法では 難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。 金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。 また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の 前処理などあらゆる試料の...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。 ○当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＴＫは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のタングステンコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

研究開発に最適！卓上型の真空・大気圧・粉体プラズマ装置

【表面改質】濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄！最先端プラズマ処理で新技術…

『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ワンタッチ機能で真空機器初心者でも簡単に取扱いでき、ラボレベルで効果を試すのに適した安価な価格帯です。 【R&D実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪...プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

小型回転式真空プラズマ装置

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

真空プラズマ表面処理装置の世界市場レポート2023-2029

真空プラズマ表面処理装置の世界市場規模、シェア、動向分析の調査レポート…

2023年8月10日に、QYResearchは「グローバル真空プラズマ表面処理装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。真空プラズマ表面処理装置の市場生産能力...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－１０

プラズマ放電で生ずる＋イオンで試料表面をクリーニング。

プラズマイオンボンバーダ　ＰＩＢ－１０型は試料に優しい交流イオンボンバードです。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。ソフトとハードの切り替えができます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○試料に優しい交流イオンボンバードです。 ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。 ○小型で場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコスト ○処理可能基板サイズ550×650ｍｍ その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

熱のないエネルギー「真空プラズマ」とは？【※小冊子を進呈】

「いまさら聞けない」プラズマ技術を図解を交えて解説！プラズマ表面処理装…

界に存在するプラズマとして挙げられるのは、 雷、オーロラ、太陽などです。 日常では、蛍光灯、省エネランプ、テレビなどにもプラズマの原理が使用されています。 【技術冊子の内容（抜粋）】 ◆真空プラズマ処理とは ◆表面処理仙蔵・エッチング・コーティング ◆標準装置、カスタム装置の用途 ※プラズマのことが分かる小冊子を進呈しています。PDFをダウンロードしてご覧ください。 プラズ...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能。CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成し、様々な材料の精密成膜、エッチング、表面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

真空プラズマ表面処理装置『V6-G』

高性能卓上システム！簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示

『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な 真空プラズマ表面処理装置です。 装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。 内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと 各パラメーターを保存してお...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

プラズマ窒化処理（イオン窒化処理）

真空中でプラズマエネルギーを利用した環境重視の窒化処理についてのご紹介…

朝日熱処理工業株式会社では、真空中でプラズマエネルギーを利用した 環境重視の窒化処理を行っております。 真空炉中、炉壁と処理品との間で直流電圧をかけると、グロー放電が発生。 グロー放電を起こすための反応ガスとして、水素と...

メーカー・取り扱い企業： 朝日熱処理工業株式会社

大口径Ｏリング　（真空装置用）

半導体・有機ＥＬ製造装置・真空チャンバー・大型タンクのふっ素ゴム製のJ…

送り焼きとは・・・ 従来金型のないOリング等は押出しゴム紐などを接着剤などでつなぎ使用されていました。この方法では接着部分の強度・耐熱性・耐油性・耐薬品性やシール性能に問題がありました。送り焼きOリングとはプレス加硫によって成型を致しますので、接着剤等は一切使用しません。よって通常の成型製品と同様の性能を有しております。 送り焼き成型は、JIS規格、AS規格にない特別寸法を成型する技術であ...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

プラズマイオン注入成膜装置

日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…

・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD

最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセ…

繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連するカスタムアプリケーションを最適化することができます。 PlasmaMAX ホローカソード は、形状をカスタマイズすることができるため、水平型インライン式の真空成膜装置、垂直型インライン式真空成膜装置、ロールツーロールのウェブコーティングプロセスにも容易に組み込むことが可能です。簡単にカスタマイズできるデザインプラットフォームと広範囲な圧力域で安定したプロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン化機構で緻密で高い密着威力を持つ電極膜を高速形成。 横型タイプを採用し、小さな設置面積で大きな処理量を実現。 電極の形成も密着層・接合電極も同一真空槽で一括形成。成膜前...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

卓上大気圧バリア放電装置

低価格な小型装置！

部の一体化で取り回しが良い ●シンプルな構造 　- メンテナンス、点検が容易 　- 電極（消耗品）を簡便に交換 ●均一性 　- ハンディタイプのコロナ処理よりも均一 ●処理効率 　- 真空プラズマ処理と比べ真空排気が不要 ●ランニングコスト 　- ガス供給なしで使用可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

VacuTEC-真空プラズマトリーター

低電力と特別な処理用ガスを必要としない設計！材料に応じて20～120秒…

■主電源と圧縮空気に接続するだけで使用可能 ■高い出力効果により、材料に応じて20～120秒で処理できる ■チャンバーと部品トレーは、用途に合わせて設計 ■用途に応じて、0.1～6 mbarの真空レベルでプラズマ放電が行われる ■導電性表面と非導電性表面の両方を処理できる ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック