コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

溶剤回収装置(真空蒸留式)『HRSシリーズ』

PR溶剤の有効成分の回収！運転やバルブ操作は、空気圧や窒素圧による遠隔操作…

本装置は、廃溶剤液から水分や不純物を除去し、溶剤の有効成分の回収を行う装置です。 【特長】 ■溶剤のリサイクル、廃液処理のコスト削減 ■空気圧・窒素ガスによる遠隔操作方式の為、高い安全性確保 ■連続減圧蒸留方式で蒸留ユニットは防爆仕様 ■設置・移動が簡単な省スペース設計 ■簡単操作、自動運転 ■安全に留意した自動停止機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： プリテクノジャパン株式会社

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

各メーカー品との互換性を持ち バルブには安定したMFCを搭載するオートプレッシャー・コントローラー　 【特徴】 ○互換性のあるため、ユーザー様でも設置交換が可能 ○現在使用中の真空ゲージを活用するため 　既存品ゲージを無駄にすることがない ○APCの交換をオートプレッシャー・コントローラーで代替することで 　費用を大幅に削減 ○AC85V〜AC264Vの電流に対応 ○MF...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

圧力コントローラ『AP-100Rシリーズ』

独立した圧力モニター及びコントロールが可能な、ダウンストリーム圧力制御…

『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し独立した圧力モニター 及びコントロールが可能。 インコトロールステータス信号の出力、コントローラ異常警報出力 ができます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： メガトール株式会社

超小型デジタル圧力コントローラ　AP160M/CV150シリーズ

AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です

AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エー・シー・イー

自動圧力制御コントローラ『MGCS-11』

簡単で親切なタッチ画面操作！上位システムからの遠隔操作が可能な自動圧力…

『MGCS-11』は、静寂なバルブ動作で安定した制御性を実現した 自動圧力制御コントローラです。 オートチューニングによりPIDパラメータは自動的に素早く最適化。 簡単で親切なタッチ画面操作と上位システムからの遠隔操作が可能です。 成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、 脱気プロセスの定圧コントロールに適しています。 【特長】 ■電源投入で自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社美幸輝

デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』

内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コ…

『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用の デジタル温度コントローラーです。 当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルの ヒーターを同時に加熱することが可能。 制御温度範囲は室温～Max180℃で、入力電源はAC100V/200V共用 となっています。 【主な仕様（抜粋）】 ■制御温度範囲：室温～Max180℃ ■適用温度センサー：K...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

植物油対応 特別高圧変圧器

植物油を使用した環境配慮型の特別高圧変圧器！ 純国産生産により、安定…

周波数：50/60Hz 電圧・容量：電圧：特別高圧クラス､ 容量：3MVA～ タップ切換器（TC）：無電圧TC／真空バルブ式負荷時タップ切換器(OLTC) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン