真空バルブ | イプロスものづくり

PR溶剤の有効成分の回収！運転やバルブ操作は、空気圧や窒素圧による遠隔操作…

本装置は、廃溶剤液から水分や不純物を除去し、溶剤の有効成分の回収を行う装置です。【特長】 ■溶剤のリサイクル、廃液処理のコスト削減 ■空気圧・窒素ガスによる遠隔操作方式の為、高い安全性確保 ■連続減圧蒸留方式で蒸留ユニットは防爆仕様 ■設置・移動が簡単な省スペース設計 ■簡単操作、自動運転 ■安全に留意した自動停止機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業：プリテクノジャパン株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！　　メーカーメンテ…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

半導体真空バルブの世界市場の調査レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年8月21日に、YHResearchは「グローバル半導体真空バルブのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、半導体真空バルブの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

加工事例【半導体製造装置向け】ゲートバルブ

大手装置メーカー様にゲートバルブ製品数千台の納入実績あり！半導体Φ…

大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に製作致します。また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても製作実績がありますので、あわせてご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース最高使用温度2000℃！還元雰囲…

◉ 卓上サイズ省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒーター ◉ ハイスペック&ハイコストパフォーマンス ◉ シンプルな構成、優れた操作性実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【特徴】 • あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します • 低発塵グリースとしても活用可能です • 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです • 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています • RoHS指令に対応製品...【用途】極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

ボールバルブ（ボール弁）『BCシリーズ』

標準で禁油・禁水対応のボールバルブ。LET-LOK（食い込み継手）接続…

ガス関連装置、一般的なガス配管等に最適なSUS316製ボールバルブ（ボール弁）です。＜特長＞・標準で禁油・禁水に対応し低コスト・コンパクト設計・禁油・禁水でありながら軽い操作トルク・パネルマウント対応・真空引き対応（カタログ記載リークレートご参照下さい）・豊富な国内在庫で対応サイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"の4種類をご用意し、継手で実績のあるL...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。【特長】...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。【特長】〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバ...

メーカー・取り扱い企業：ナカンテクノ株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が必要なく、民生の吸盤のように液晶ガラスを吸着搬送できます。原理は単純です。バルブを...

メーカー・取り扱い企業：大谷技研株式会社

真空バルブオーバーホールの流れ

真空装置周辺機器のオーバーホール・修理なら　お任せ下さい！

メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。分解・洗浄・修理・組立・動作テスト・リークテストの全てを自社で一貫して行う事により、短納期で信頼性のあるメンテナンスを衝撃のコストパフォーマンスで提供します。...アングルバルブ、カットバルブ、振り子式バルブ、APCバルブ、大型ゲートバルブ、ゲートバルブ、UHVバルブ等...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？除害装置前段での副生成物対策・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧ボールバルブ　#手動ボールバルブ　#アイソレーションバルブ　#Ｌ型真空バルブ

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

aまで10分以内 ■ベルジャー：SUS304　Φ507×H422 ■蒸発源：抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系：TMP800L/sec、RP360L/min、真空バルブ類一式、付属品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層成膜が可能です。【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

【会社案内】大型アルミの切削加工技術で実績多数！株式会社信和

蓄積した大型加工技術と最新の設備で高度な大型アルミ製品を保証します。半…

株式会社信和は、半導体製造装置、FPD製造装置、一般産業機械の精密機械加工を主とし、様々な分野の精密機械部品を製作しております。複雑形状に対応する最新のマシンと加工プログラムにより同時5軸切削加工を実現。高精度の加工技術を駆使し、真空チャンバーやFPD製造装置の電極やゲートバルブなど、様々な真空装置関連製品や各種産業分野の精密加工部品の製造実績が多数ございます。お客様の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

■Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ■3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ■使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ■試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

複雑な形状の大型チャンバー製作実績多数！製作前にCAD・プログラム…

半導体製造装置向けの大型アルミチャンバーです。複雑な形状をしており、長さ1200×幅1100×高さ380の大型製品です。加工の可否は、社内のCAD・プログラマーが細かく確認しており、設計者様には大変ご好評をいただいております。 5面加工マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをサポートします。上記の他、半導体製造装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

4層ベローズ

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわ…

『4層ベローズ』は、高圧下で柔らかさ、超寿命が求められる、振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズです。高い使用圧力にも拘らずベローズの長さに制限があり、バネ定数に制約のある、バルブ・安全弁・メカニカルシール・ロータリージョイント等に適しています。板厚、層数、材質等色々な組み合わせで各種ご要望にお答えできます。【特長】 ■振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収...

メーカー・取り扱い企業：三元ラセン管工業株式会社

多層ベローズ

一層山当りのバネ定数の違いで、従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさを発揮…

三元ラセン管工業が取り扱う『多層ベローズ』をご紹介します。薄板を重ねて製作することで、板と板が中でスライドし合い、柔らかい伸縮性のあるベローズが成り立ちます。高圧下で、柔軟性や高寿命が求められる振動吸収や真空振動乾燥機に使用され、安全弁・バルブ・メカニカルシールなどにも多く使用されています。【特長】 ■柔らかく伸縮性がある ■薄板を重ねて製作 ■従来品と同じ板...

メーカー・取り扱い企業：三元ラセン管工業株式会社

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バ...

メーカー・取り扱い企業：エヴァンリード株式会社

【資料】半導体・液晶加工のQ&A集~アルミ切削加工の疑問を解消~

半導体・液晶関連の方、必見！【サイズ・板厚・材質・精度の4ポイントで部…

半導体・液晶製造装置向けの大型製品や真空チャンバーなどの加工では、複雑形状のため多工程になりがちです。市場スピードの速いこの業界では、材料・板厚の選定から、高精度の加工までを少ない工程数で加工対応できるパートナー探しが重要になります。『信和のQ&A』資料では、サイズ・板厚・材質・精度の4ポイントで、半導体・液晶の部品加工について役立つ情報をQ&A形式でわかりやすく紹介しています。【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

卓上型蒸着装置『Mebius』

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな蒸着装置です。電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能です。【概要】 ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ ■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

切削加工部品

新しい情報及び必要とされる加工技術で、お客様の抱える問題を早期に解決し…

当社では、各種製造装置に使用される切削加工部品を生産しております。半導体製造装置をはじめ、FPD関連装置、工作機械、電子計測器、液体機器、産業機械など多種多様の切削部品を、多くのお客様に供給させて頂いています。ご要望の際は、お気軽にお問合せください。【事業内容】 ■医療、制御、現像、計測、ロボット、液晶、環境、バイオ、プラズマ、　真空、半導体製造装置等のマシン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社久保村製作所

ミューコム　薄膜製造装置自動成長プログラム

自動成長プログラムによりバルブやマスフロー、温調計等を自動制御するシス…

真空制御、圧力制御、流量制御、温度制御やバルブ制御、各メカニカル駆動制御など、さまざまな制御装置に使われています。...【特徴】 ○バルブを制御 ○マスフローを制御 ○温調計を制御 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミューコム

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を...

メーカー・取り扱い企業：山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

加工事例【半導体製造装置向け】アルミ薄板

加工段取り・特殊クランプにて加工した板厚２～５mmの全面切削加工の製品

【製品紹介】 ○アルミ薄板加工製品 ○板厚２～５mmの全面切削加工の製品 ○加工段取り・特殊クランプにて加工 ○特殊クランプにより、キズ・打コンのない表面仕上がりに対応詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【株式会社信和　事業内容】 ○半導体製造装置部品製作 ○液晶製造装置部品製作 ○真空チャンバー・ゲートバルブ・シャワーヘッド・ステージなど真...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

チャンバー

真空チャンバーを製作いたします

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、希薄な活性ガス環境などの特殊な環境になるチャンバーの製作をいたします。...高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能...

メーカー・取り扱い企業：入江工研株式会社

原子層堆積装置『AFALD-8』

優れた段差被覆性と精密な膜厚制御！高品質な成膜が可能

『AFALD-8』は、複雑な三次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜ができる原子層堆積装置です。ミリ秒単位で高品質な薄膜成膜が可能なため、低ダメージで安定した成膜を実現。操作性に優れたソフトウェアや、自由度の高いオプション構成ができます。【特長】 ■段差被覆性 ■高精密な膜厚制御 ■ピンホールフリー ■低ダメージ ■原料コスト削減 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート・ガスサービス事業・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材...・ガスエンジニアリング＆サポート高圧配管設備施工、シリンダーキャビネット、ガスユニット、ボンベバルブ自動開閉装置、ガス混合装置、燃焼試験装置、警報監視システム、薬液供給設備、真空関連機器...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたしま...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

バルブ修理、ヒートエクスチェンジャー改造

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！　　メーカーメン…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等　...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

◉Max2000℃（真空中1x10-5Torr, N2, Ar） ◉3種類のヒーター材質：・高純度グラファイト：Φ6〜Φ8inch ・SiC3（炭化珪素）コーティング：Φ4〜Φ8inch ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング：Φ4〜Φ8inch ◉使用雰囲気：・真空・不活性ガス（グラファイト）・還元雰囲気（TiC3コーティング） ◉試料台サイズφ4inch〜φ8inc...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

半導体製造装置の真空チャンバー切削加工事例！長さ1200×幅1100×…

5面加工マシニングセンタ【加工対象範囲5200×4100×1700】や各種設備を駆使し、大物加工部品の試作・製作・加工・メンテナンスをサポートします。半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極やゲートバルブにて実績があります。また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済！【特長】 ■ 半導体製造装置に使用される大型チャンバー ■ 長さ1200×幅1100×...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリングプラズマエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

２液ディスペンサー（２液樹脂自動計量混合吐出装置）MAKシリーズ

本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、自…

本装置でウレタン、エポキシ、シリコーン等の２液樹脂の真空脱泡、温調、計量・混合・定量吐出が可能です。従来の溶剤での洗浄が必要ない弊社独自の「無洗浄式使い捨てパワーミキサーＷＬ−５０１型」は、メンテナンスが非常に簡単で、健康や環境に優しいミキサーです。吐出ノズルやワークにロボットを装備し、様々な安全装置を設けた自動装置により更なる生産性の向上にお役立ていただけます。いずれの設備も樹脂...

メーカー・取り扱い企業：エムアンドケー株式会社本社・工場

リチウムイオン　電解液　注液実験機　大型電池用

i-ion（リチウムイオン）、Ni-MH（ニッケル水素）電池用の各種生産設備および実験装置の設計製作いたします。円筒型、角型、ラミネートタイプ各種対応します。工程によっては、デモ機・実験機がありますのでお気軽にお問い合わせください。...定置用や動力用などの大型リチウムイオン電池等へ電解液を注液する実験機真空注液により注液時間短縮可能ですプランジャーポンプ方式で正確な注液ができ...

メーカー・取り扱い企業：長野オートメーション株式会社

加工事例【半導体製造装置向け】インペラー（５軸加工）

５軸加工機によって制作した４ブレードインペラーです。

【製品紹介】 ○インペラー（５軸加工） ○５軸加工機によって制作した４ブレードインペラー ○隅部の仕上がり精度の高さが特長詳しくはお問い合わせください。 ...【株式会社信和　事業内容】 ○半導体製造装置部品製作 ○液晶製造装置部品製作 ○真空チャンバー・ゲートバルブ・シャワーヘッド・ステージなど真空関連の精密部品の製作 ○各種製造装置を構成する大型アルミ製品の製作 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和