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温度制御システムタンク『RKMH シリーズ』(加圧・真空タイプ)
PR撹拌真空、圧送、温度制御を1台で!加熱撹拌、真空脱泡、加熱などの用途で…
電熱線の内蔵されたマントルヒーターをタンクに取り付け タンクを直接加熱しPID制御にて温度制御を行います。 温度制御は温度制御コントローラーにて調整可能です。 撹拌粘度、撹拌目的に応じて撹拌機・撹拌羽根を設計、製造します。 また、10L以外の容量も製作可能です。その他、ご要望に合わせてオーダーメイド製作致します。常圧仕様もお取り扱いしております。 詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 加藤ステンレス科学株式会社
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PR漏洩による損失コストをゼロにするのは勿論、継続運転と応急漏洩補修を両立…
富士ファーマナイトでは、プラント設備を構成するバルブ、フランジ、配管、浮き屋根式タンクのデッキなどからの漏洩を 「ファーマナイト工法」という独自の技術を用いて封止するリークシール補修をご提供しています。 当社の技術は、各種流体(スチーム、空気、水、油、ガス、化学物質)に対応しており、幅広い漏洩トラブルに対応可能。 現在、漏洩箇所ごとの補修方法を紹介した資料を進呈中です。 (PDFダウン...
メーカー・取り扱い企業: 富士ファーマナイト株式会社
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半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…
『IVWFシリーズ』は、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できる シンプルな構造を持った遮断弁です。 シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより 開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。 【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』
スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている…
「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの 巻き上げを防止します。 メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気から真空に 排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な圧力 変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気により 圧力コントロールをします。 バイパスバルブには流量の固定と排気スピードが調整可能なタイプの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能!シンプルな…
『IVB/IVBL』は、従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、 低コスト化を考慮したL型真空バルブです。 極限まで部品点数を減らしたシンプルな構造により低コスト化を実現し、 容易なメンテナンスが可能なデザインになっています。 ベローズシール構造により高いリーク性能を持っておりま...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵!弁体・ベローズを加熱できる真空…
『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 #副生成物対策 内部・外部ヒーター...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズバルブ!マントルヒーターには…
『IVBHK』は、「IVBH」シリーズの構造をベースに接ガス部温度を 最高250℃まで昇温可能なL型真空ベローズホットバルブです。 バルブ外側ヒーターの他にベローズ内部のヒーターも装備されおり、 内部ヒーターは弁閉、弁開状態でも弁体とベローズを加熱できるため コールドスポットがなくなり副生成物付着を防ぎます。 #副生成物対策 また、エアシリンダ部への熱影響を低減する構造やインコネル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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Max180℃まで任意の温度に設定可能!メンテナンス期間を大幅に延長で…
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…
当製品は、真空用KFフランジ接続タイプのベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。 【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能!
『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。 #副生成物対策 【特長】 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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チャンバー内を汚染しにくい構造!Oリングへのストレス低減、高い耐久性能…
『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。 新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGの ねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、 反応室を汚染しにくい構造です。 シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を 実現しました。 【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性の…
『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積(デッドボリューム)を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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内部・外部ヒーターを同時に加熱可能!IVBH用PID制御デジタル温度コ…
『IVBH-C015』は、L型真空ベローズシールホットバルブ用の デジタル温度コントローラーです。 当製品1台で、内部ヒーター・外部ヒーターの2チャンネルの ヒーターを同時に加熱することが可能。 制御温度範囲は室温~Max180℃で、入力電源はAC100V/200V共用 となっています。 【主な仕様(抜粋)】 ■制御温度範囲:室温~Max180℃ ■適用温度センサー:K...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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