真空機器 | イプロスものづくり

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気システム」を納入した事例をご紹介いたします。本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できるフッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた処理方法の選定が求められます。フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。【掲載内容】・フッ素薄膜処理とは・真空蒸着法、スプレー法とは・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

APIEZON アピエゾン真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純...

メーカー・取り扱い企業：エドワーズ株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。【取り扱い産業一覧】半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。【特長】　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）　◇真空グリースの銘柄指定可、ノ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

瞬間真空高温ヒータープレス

ハイテク・ナノテク・新素材の研究試験機として高精度・手頃な価格で

■研究・実験・開発用向け瞬時高温真空プレスコンパクトサイズで場所をとらない為研究室などに容易に設置できます。 ■最大400℃ 常用温度350℃（最大400℃） ■瞬時真空 1kPaを10〜30秒の短時間で真空引きできます。 ■省スペース省電力、軽量、小型で操作がしやすく、工場内をキャスターにて移動することができます。 ■保守点検空気圧作動のため保守点検が簡単です。 ■特注...

メーカー・取り扱い企業：ミカド機器販売株式会社

真空対応マイクロリニアアクチュエータ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。【特長】　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　　外形サ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます【用途】各種下記前...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。【特徴】ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用本体の異常振動検知に振動スイッチを採用真空度のチェックに真空監視機構を採用その他詳細は、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業：エア・ブラウン株式会社電子機器部

吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

オーダーメイド品を製造・販売しているケニックス社の『真空封止・接合装置』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,000℃ ■加圧：Max1,000kg/cm2 ■雰囲気圧力：真空〜加圧雰囲気 ■各種MEMSセンサー・マイクロチップ・次世代デバイス ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

LED製造関連機器　撹拌・脱泡機シリーズ

シリンジのままでも、カップ式でも撹拌・脱泡はおまかせください！

株式会社マルコムの『撹拌・脱泡機シリーズ』は、2つの撹拌方式とシリンジ・カップ対応で、あらゆる材料の撹拌・脱泡が可能です。「シリンジ専用撹拌機シリーズ」は、20年前にソルダペースト用に開発した独自の自転角可変方式を採用、自転公転を組み合わせた歳差運動により、他方式では不可能な強い撹拌効果が得られます。シリンジのまま蛍光体・分散剤・封止剤を均一に撹拌・脱泡可能で、工程の短縮実現と材料の無駄を排除する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マルコム

明昌機工株式会社　事業紹介

大学や研究機関、電機メーカーに多数納入実績！研究開発機器の製造販売を行…

明昌機工は、レーザー機器やナノインプリンターなどの製品の製造販売を行っている兵庫県の会社です。他にも、放射線測定機器や各種超高真空機器、ナノテク機器、半導体・液晶パネル製造機器、各種電子応用機器などを取り扱っています。大学の研究所や研究機関、電機メーカーなどに納入実績が多数あります。【事業内容】 ■中性子・...

メーカー・取り扱い企業：明昌機工株式会社

株式会社メイコー　事業紹介

「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創…

株式会社メイコーは、「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創造し、地域社会に貢献するもの作りナンバーワン企業です。弊社は各種リソースのバランスを図り、主力ビジネスであるFPD（液晶、プラズマディスプレイ、有機EL）関連事業、半導体関連事業、計測機器事業、自動化・省力化機器関連事業、クリーンエネルギー（太陽電池、燃料電池、etc.）関連事業、超大型・精密機械加工...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

ダイレクトドライブモータ［Zシリーズ］（DDモータ）

様々なバリエーションを揃え、半導体製造機器や液晶パネル製造機器、一般F…

ダイレクトドライブモータ Zシリーズは、様々なレイアウトに対応する薄型の15Nmタイプから大型設備を支える2,000Nmタイプまで、幅広いバリエーションを揃えあらゆるニーズに対応します。【特長】 ○大きい中空径 ○耐環境性、メンテンス性向上 ○1,000倍以上の高イナーシャ比対応 ○様々なネットワークにも対応可能 ○短納期対応可能 ○自由度の高いカスタマイズ対応も可能 ○様々...

メーカー・取り扱い企業：シンフォニアテクノロジー株式会社 (旧)神鋼電機

切削加工部品

新しい情報及び必要とされる加工技術で、お客様の抱える問題を早期に解決し…

■工作機械　・研削盤 ■電子計測器　・オシロスコープ、電源装置、電圧・電流・電力装置、無線観点測定器 ■液体機器　・ポンプ、管継手、油圧機器、ディスペンサー、空圧機器、バルブ、真空機器　他 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社久保村製作所

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型１００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

【会社案内】大型アルミの切削加工技術で実績多数！株式会社信和

蓄積した大型加工技術と最新の設備で高度な大型アルミ製品を保証します。半…

株式会社信和は、半導体製造装置、FPD製造装置、一般産業機械の精密機械加工を主とし、様々な分野の精密機械部品を製作しております。複雑形状に対応する最新のマシンと加工プログラムにより同時5軸切削加工を実現。高精度の加工技術を駆使し、真空チャンバーやFPD製造装置の電極やゲートバルブなど、様々な真空装置関連製品や各種産業分野の精密加工部品の製造実績が多数ございます。お客様の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

・ガスエンジニアリング＆サポート・ガスサービス事業・ガス販売：工業用ガス、燃料用ガス、半導体・液晶用ガス、電子・照明用特殊ガス、標準ガス・ガス機器販売：ガス機器、低温機器、溶材機材...・ガスエンジニアリング＆サポート高圧配管設備施工、シリンダーキャビネット、ガスユニット、ボンベバルブ自動開閉装置、ガス混合装置、燃焼試験装置、警報監視システム、薬液供給設備、真空関連機器...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

中空直進導入機

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。 ...中空構造のため、可能フランジに駆動させたものを任意に取り付けが可能シール部に溶接ベローズを採用し、高真空の領域で使用可能ベーキング温度120℃(最大150℃まで)対応...

メーカー・取り扱い企業：入江工研株式会社

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けに...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

【フロアーコーチ自社大型ショールームのご紹介】興研代理店

■大阪府堺市に新規開設■国内最大級の大型ショールーム■実際の作業時の清…

大阪府堺市堺区に、KOACHの大型ショールームを新規開設(関西国際空港から高速経由25分、阪神高速湾岸線三宝ジャンクション直近) フロアーコーチTz(ガイドスクリーン長20m スリープモード付き)の実機あり ■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

弊社が手がけた装置製作事例をご紹介です。...【事例】 ◆スパッタ装置　ジョセフン素子作成装置（アルミ・ニオブ）、タブテープ作成用ロールコータ　（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、　ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装置、　実験用スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2） ◆蒸着装置　ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

表面改良コンポーネント

オーダーメイド品を製造・販売しているケニックス社の『表面改良コンポーネント』のご案内です。 ■□■ラインナップ■□■ ■172nm真空紫外光によるエキシマ光源・低温、ダメージレス処理・エネルギー効率の高い単一波長・有機ELの仕事関数アップ ■ハンディータイプの大気圧プラズマ・コンパクト設計・取り扱いが簡単・AC100Vのコンセントで動作・メンテナンスが...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

【KOACHショールームのご紹介】興研株式会社代理店

■ISOクラス１のクリーンゾーンを体感できる■実機デモ可能■事前予約制

■デモンストレーションによって体験いただける内容 ◆プッシュプル気流にて同一ベクトル集合流を可視化 ◆同一ベクトル集合流の気流復元性 ◆清浄空間形成の原理 ◆ゾーン内での作業や障害物の影響を受けない気流（作業、製品・機器による清浄度の低下なし） ◆数分で形成する高清浄度のクリーンゾーン ◆抜群な清浄度の回復力※ （一旦汚れても数分で元の清浄度に戻る） ※パーティクルカウンター用意...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

【フィルタ(FERENA)の特徴・仕様　興研KOACH】興研

◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る

■FERENA※の特長 ◆HEPAフィルタなみの低圧損で、ULPAフィルタなみの捕集効率を誇る ◆ナノファイバーの存在比率が高い ◆フィルタとして有効なランダム構造 ◆耐水・耐油性に優れる ◆耐熱性に優れる ◆ボロンが出ない ※FERENA(フェリナ)とは、オープンクリーンシステムKOACHのプッシュフードに搭載されているフィルタです。FERENAにより、KOACHは清浄度ISO...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社

真空バルブオーバーホールの流れ

真空装置周辺機器のオーバーホール・修理なら　お任せ下さい！

メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。分解・洗浄・修理・組立・動作テスト・リークテストの全てを自社で一貫して行う事により、短納期で信頼性のあるメンテナンスを衝撃のコストパフォーマンスで提供します。...アングルバルブ、カットバルブ、振り子式バルブ、APCバルブ、大型ゲートバルブ、ゲートバルブ、UHVバルブ等...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

豊栄工業株式会社会社案内

医薬職、食品、製菓の自動包装機、自動化機械、環境機器など省力化機械の専…

豊栄工業は「モノづくり」を原点に、環境機器、自動化・省力化機械の製造を通じて豊かな未来づくりに貢献しています。システム構築から設計・製作まで一貫したトータル体制で、お客様のニーズにきめ細かく対応いたします。【事業内容】 ■産業機械の設計開発（自動包装機・自動省力化機械・環境機械）・設計 ■機能部品アッセンフリー ■産業機械・製造装置の保守、メンテナンス ■産業機械...

メーカー・取り扱い企業：豊栄工業株式会社

⾼精度花崗岩真空吸着プラットフォーム

気道の負圧を個別また同時ににON/OFF切り替えることができます

当社で取り扱う「⾼精度グラナイト吸着定盤」についてご紹介いたします。外形寸法: 900x600mm。【特徴】 1. 全体の寸法、内径、側面の空気チャネルと表面の細孔の数は、ニーズに応じてカスタマイズできます。 2. 使用中は、単一の気道の負圧を個別にオンおよびオフに切り替えることができ、複数の気道の負圧を同時にオンおよびオフに切り替えることができ、すべての気道のオンおよびオフを均一に切...

メーカー・取り扱い企業： ND GROUP 日本支社