半導体製造装置用サファイアカスタム品のご提案【技術データ進呈】

PRどんな複雑なサファイア加工依頼にも挑戦します。1個からでもお気軽にお問…

創業77年の老舗サファイア製造メーカーです。 サファイアの大型結晶を自社で育成しているため、1mm以下の微細な製品から 写真のような300mm程度の大型窓の製作も可能です。 設計段階からお客様のご要求に寄り添い、品質的／コスト的に最適なカスタム製品を共に作り上げていくことが得意です。 1個からのお問い合わせも歓迎しておりますので、ご遠慮なくお問い合わせください。 切断、研削、研磨といった基本的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社

最小0.1mm！北京ワールドダイヤ　微細加工PCDマイクロドリル

PR直径０.1mm～２mmで半導体検査治具、拡散板、シャワーヘッドなどの微…

北京ワールドダイヤは中国ではトップクラスの生産規模と技術力を持つダイヤモンド工具専業もメーカーです。同社の特徴は開発力、技術力で80を超える製品特許を保有しています。 日本へも2014年の市場参入以降、価格メリットと品質を武器に自動車・輸送機関連分野での採用が広がっています。 同社の新製品「PCDマイクロソリッドドリル」は独自の刃先形状と滑らかな溝形状によりバリの発生を抑制し、長寿命で高品質な加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社京二 本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海

【開発】厚膜５０μイットリアを複雑形状でのコーティング実現！

半導体製造装置での耐プラズマ・耐腐食・石英部品の長寿命化、溶融金属・電…

MLCCやフェライト部品など焼成用各種セッター、半導体製造装置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。 一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、 各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。 【特徴...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

【開発】セラミックDIPコーティングで厚膜イットリアを実現

半導体製造工程での耐プラズマ性向上、溶融金属へのセッター、るつぼ、ロー…

MLCCやフェライト部品など焼成用各種セッター、半導体製造装置向耐プラズマ、各種金属溶解用るつぼ、搬送ローラー、各種石英部品等。 一般的には困難であったセラミックスのディップコーティングを開発、 各種ファインセラミックスから石英、疎水性である等方性黒鉛や耐火物類への厚膜コーティングが可能となります。 特徴 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

コンプレッサー用ヒーター　FASシリーズ（ニクロムヒーター）

常温から800℃までの高温を長時間安定して噴射できる小型熱風発生ヒータ…

○発熱体は特殊な焼鈍処理をしたカンタル線を採用することで長寿命を実現し、 　 安定した高温が得られる ○コンプレッサーエアー、窒素ガス等の不活性ガスのスポット加熱に 　 威力を発揮し、発熱対は石英体で保護されており、 　発熱体表面色を監視しながらの熱風処理が可能 ○内部には温度コントロール用のＣＡセンサーを内蔵、 　 従来品に比べてより安全で正確な温度制御を実現 ○石英管先端部には...

メーカー・取り扱い企業： 大浩研熱株式会社

ＩＣＦ導電コーティング（ＩＣＦ−ＤＴ）

ＩＣＦ導電コーティング（ＩＣＦ−ＤＴ）

０Ω・ｃｍ（４深針法） ■硬度：１０,０００〜２,５００ＨＶ（ナノインデンテーション法） ■摩擦係数：０．１〜０．２５（ボールオンディスク法） ■膜厚：標準０．１〜２μｍ ※上記の値は、石英ガラス上における実験値データです。 　 コーティング品の形状・材質等で仕様は若干変更となります。 　また、上記製品は特許申請済み品 ■□■特徴■□■ ■適応材質 　 Ｓｉウエハ、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ツール・テック東北

株式会社モリセ精工　事業紹介

モリセ精工は皆様の研究開発を支え続けます

・横押材 ・高純度カーボン ・カーボンコンポジット ・含浸材 ■レアメタル 〔材質〕 ・タングステン ・モリブデン ・タンタル ・ハステロイ ・インコネル ・インバー ■石英・ガラス 〔材質〕 ・石英（天然・人工） ・パイレックス ・テンパックス ・ゼロ膨張（アドセラム・BK7）　など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社モリセ精工 横浜第一工場

内面研磨技術『精密特殊研磨技術』

内径・内面の精密研磨が可能！特殊精密研磨でminφ0.05mmの内径ま…

【対応材料】 ◎ステンレス　　　◎セラミックス ◎タンタル　　　　◎チタニウム ◎アルミニウム　　◎ニッケルチタン ◎モリブデン　　　◎コバルトクロム ◎マグネシウム　　◎石英　　など ※資料を併せてご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

シリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

クロスエッジ微細加工【ガラス微細加工】

透明性・耐薬品性・耐熱性に優れたガラス加工

弊社では、透明性、耐薬品性、耐熱性に優れたガラス加工を提供させて頂いております。 弊社が推奨するガラスでは、透明性の高い石英ガラスをはじめ、テンパックスガラス、他などがあります。 【特徴】 ◎0.1〜0.15mmまで極薄研磨可能 →観察出来なかった細胞・タンパク質・ＤＮＡ等の観察が可能 ◎不可能だった分析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニスコ

ガラスへのめっき

高周波の伝送損失低減！表面が平滑平坦で、貫通穴へのめっきも可能な技術！

当社の技術、『ガラスへのめっき』をご紹介いたします。 高周波特性に優れ、表面が平滑平坦。高周波の伝送損失を低減させます。 対応可能な素材は無アルカリガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、 ソーダ石灰ガラス、サファイアガラスなどで、貫通穴へのめっきも可能です。 実際のデザインについてはご相談ください。 【特長】 ■伝送損失の低減 ■高周波特性に...

メーカー・取り扱い企業： EBINAX株式会社 旧 ヱビナ電化工業(株)

無機系被膜塗装システム『パプロサーモ・プロセス』

ガスケットや石英管ヒータなどに！製品の形状に応じて1～20μmの金属酸…

『パプロサーモ・プロセス』は、無機皮膜を多様な製品表面に被覆できる 表面処理システムです。 製品の形状に応じて1～20μmの金属酸化物膜を生成させ、耐熱、 焼付・酸化防止、耐紫外線、意匠性、硬度などの機能が単独または複数 得られることが特長です。 また、膜の組成は金属酸化物に近似しているため、遠赤外線放射率が高く、 ヒ－タなどの表面処理に利用することも可能です。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： パーカー加工株式会社 技術本部

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

成膜する基板は、石英、アルミナ、金属アルミで行えることが確認されています。つばさ真空理研株式会社は、イオンアシスト蒸着法によるY2O3やY5O4F7といったドライエッチング装置部品の信頼性を大幅にアップさせる保護膜を成...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

表面処理サービス『ガラス上の無電解めっき』

エッチングなしで密着性の良いニッケルめっき皮膜、銅めっき皮膜をガラス上…

【密着性確認素材】 ■ソーダガラス ■耐熱ガラス ■ほう珪酸ガラス ■石英ガラス ■96％アルミナ ■99.6％アルミナ ■窒化アルミニウム ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニゾーン 本社

【強力な酸素バリア膜】透明で緻密なアモルファスアルミナ膜

可視光から紫外線領域まで透明、イオンアシスト蒸着によるアモルファスアル…

石英ガラス上に2μmのアモルファスアルミナ膜をイオンアシスト蒸着で成膜すると可視光から紫外線領域での透過率は90％、50nm以下の均一な微細構造をもった膜質が得られます。強力な酸素バリア膜として期待されます。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

耐プラズマ表面処理　CVDイットリアコート製品

環境対応型の新商品開発

【特徴】 ○耐プラズマ性に優れたイットリア膜で機材表面をカバー ○CVD法で密着性が高い緻密イットリア膜を形成 ○イットリア膜中の不純物含有量は、溶融石英ガラス相当 ○300mmパーツ対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社

『機能性薄膜の受託加工サービス』

柔軟な対応と30年の実績！多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サー…

よる合金膜の生成 　・各種積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al　など ■基板材質 　・シリコンウエハ　など 　・ガラス材：石英、ホウ系酸ガラス　など 　・セラミックス：サファイヤ材、SiC材、AIN材　など 　・金属材：Al材、Ti材、SUS材 　など 　・樹脂：PET、PEN、PI、PC　など 　・複合材：レジス...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

【フォトマスク事例】ガラスカット後の端面仕上げ加工

仕上げ加工を施すことによりテーパーが除去され、見栄え、寸法精度も向上！

【製品仕様】 ■材質：合成石英、ソーダライムガラス ■厚み：～5mm（実績値） ■加工形状：矩形のみ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

『鏡面研磨技術』技術紹介

単結晶から金属・セラミック・樹脂までナノレベルで仕上げる表面仕上げにて…

r　他 ■金属 　・ステンレス 　・アルミニウム 　・銅 　・チタン 　・モリブデン　他 ■非金属 　・セラミックス：SiC、アルミナ、ジルコニア、YAGカーボン、石 　・ガラス：石英、BK7、青板、白板、ゼロデュア 他 　・樹脂：アクリル、PEEK、PVC、MCナイロン、テフロン　他 ■表面処理層 　・アルマイト 　・Ni(ニッケルめっき) 　・Ni-P(無電会ニッケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリスタル光学

【フォトマスク事例】超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工

ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能で…

保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能。 またサンドブラスト加工に必要だった原版も不要となり、コスト面でも 有利となります。 【製品仕様】 ■対応材質：ソーダライムガラス、合成石英　など ■加工ワーク寸法：最大□300mm ■位置決め精度：各軸±5μm ■繰り返し精度：各軸±2μm ■ザグリ深さ精度：±20μm（実績値） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

ホウケイ酸ガラス表面への3μmザグリ

150μmtという極薄いカバーガラスの表面へフェムト秒レーザにて、浅い…

工時の面相度はSa=0.01程度ですが、加工後は0.2程度となり表面が白濁いたします。 光の透過率のコントロールや加飾など、様々な場面でお使いください。 もちろん、ホウケイ酸ガラス以外にも、石英ガラスや光学ガラス、サファイア等、様々な透明材料、脆性材料に超短パルスレーザ加工はご活用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リプス・ワークス

シャイン工芸【ガラスへの機能性セラミックコーティング】

シャイン工芸はガラスの透明度を残しつつ、セラミックコーティングで機能性…

で密着性抜群。 さらに、セラアーマーのカラーバリエーションの中には「クリアー色」もあります。これなら、ガラスの外観や物性（透過性等）を残したままで、セラミックの機能性を付与することができます。 石英ガラス・耐熱ガラス・白板ガラス等に加工実績があります。 ◆お問い合わせについて◆ お問い合わせを頂く際は、下記情報をご教示頂けますとスムーズです。 1. コーティング対象基材の性質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シャイン工芸

イットリアコーティング　石英部材耐プラズマ性向上

【新技術】溶射、CVDと異なる新工法で複雑構造でも全面コーティング可能…

0μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も） 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス（アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど） ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※現在、膜の緻密度のさらなる向上の改良テスト実施中です。 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

セラミックスコーティング【※サンプル品あり】

最大1メートル級の複雑構造でも全面コーティング可能！※ケース別コーティ…

0μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も） 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス（アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど） ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス膜を駆使し最適化を実現します。 お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

新技術！イットリアコーティング　アルミナ部材への成膜

【新技術】溶射、CVDと異なる新工法で複雑構造でも全面コーティング可能…

0μ の厚膜が可能 ◆コーティング面の面粗度が良く円滑性に優れる (Ra0.8 以下も） 【コーティング可能対象材質】 ■ファインセラミックス（アルミナ、ジルコニア、窒化アルミなど） ■石英ガラスなどの耐熱ガラス ■黒鉛、高融点金属 ※現在、膜の緻密度のさらなる向上の改良テスト実施中です。 ※コーティング事例集をダウンロードしてご覧ください。 用途に応じ複合セラミックス...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課