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48件 - メーカー・取り扱い企業
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29件 - カタログ
100件
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変…
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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半導体チップの移載装置に取り付ける、ピックアップ製品作ります
もうチップにキズはつかない、チップを確実に移載する技術
半導体の移載には、精密なピックアップツールが必要です。 交換式ゴムコレットは、多種多様なアプリケーションに対応できるピックアップツールであり、デバイスへの傷対策や吸着力アップにも寄与します。 また、樹脂コレ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ECP
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ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機
とチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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ウエハ移載機
薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長 １．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。 ２．低価格にてご提供することが出来る。 ３．高スループット。 ４．対象ウエハは、５、６、８、インチウエハ。 ５．豊...
メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社
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ウエハ移載機
従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・...
メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社
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FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）
FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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LDバー移載装置
コート治具への移載とコート治具からの移載が行える移載装置...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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一括カセットtoカセット移載
本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…
１．スルーホール穴あき基板、フィルム基板 吸着可能 ２．基板の大きさ、穴の位置に関係なく吸着可能 ３．段積み基板を１枚ずつ吸引 ４．吸着器の段取り替えが不要 ５．傷、汚れパッド跡を付着しない ...段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウェハメーカーのキャリアからプロセスキャリアへの移載が手動にて容易に行…
シュスライドタイプで、ほぼ全てのキャリアに対応しています。特殊キャリアの場合はご相談ください。 6インチと8インチは兼用のタイプもございます。 アルミ製、PVC製その他対応致します。 傾斜型の移載器もございます。 その他特殊品も対応致しますのでお問合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エボルシオン
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SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）
本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 300wph OCR / 750wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備！各試料ホルダーへ…
『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社コメット
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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カスタムメイドで対応します。
□ランク毎にチップを取り出す事で、常時高速運転が可能です。 □オプションで機構を一部改造することにより、トレー配列から シート配列に変更も可能です。 □オプションのウエーハ用ローダーを取り付ける事で フルオート化が可能です。... 本装置は、チップ化後にエキスパンドされた測定済ウエーハより、 高速でチップを取り出し、該当するランクのテーブルに配列していく チップ分類機です。...
メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社
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軽い操作で、セッティング作業が思いのままに！
反転作業にも対応できます。 アタッチメントは、個々の作業に合わせた最適設計。 大型、長尺物のセッティング作業に最適です。 １人で作業することができます。 ※詳細は、ＰＤＦカタログをダウンロードしてご覧ください。...板状の物のハンドリング作業を省力化することにお役に立ちます。...
メーカー・取り扱い企業： アイコクアルファ株式会社 ラクラクハンド事業部
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マイクロクラックなどのダメージ不良改善！ピックアップツールならお任せく…
当社が提案した、 センサーチップの移載工程での不良改善事例をご紹介します。 インジウムリン、ガリウムヒ素のセンサーチップを検査ステージへ移載する 工程で、クラック、マイクロクラックによる不良が発生していました。 素材が脆弱...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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ディスプレイモニタ代替品カタログ-4
CE-9000xx,PE-250xx,PE-252xx,FX-500xx,SE-5xx,UVS-xx,SK-W60A,SK-W80A,LAW-820,DES-206,RAM-200,RAM-250,移載機Y316A0100,ウエハ移載機,PXJ-200,TE-8500,移載機,Model3100,Model3200,OPM-A1250...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブル
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移載機能と厚み測定機能を搭載しています。
移載機能と厚み測定機能を備えたウェーハ厚み測定装置です。 指定したウェーハ内の各ポイントの厚みを測定することが可能です。 6インチ・8インチウェーハに対応しています。 【特徴】 ■移載機能と厚み測定機能を搭載 ■6インチ・8インチウェーハに対応 ■最大2000点のポイントを測定可能 （厚み測定ポイントは任意に設定可能） ■取得データのリアルタイムモニター機能を搭載...
メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社
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25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置
キャリアに挿入された25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ（275～600um）混在可能で、高速スループット25秒／回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください...
メーカー・取り扱い企業： 玉川エンジニアリング株式会社
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クラック、マイクロクラックによる不良等にお困りではありませんか？
【事例紹介】従来の硬い超硬製コレットをゴムコレットに置き代えた結果、ク…
オルテコーポレーションは、半導体製造装置の消耗パーツを取り扱っている会社です。 当社が提案した、センサーチップの移載工程での不良改善事例をご紹介します。 ■お客様の悩み ・クラック、マイクロクラックによる不良が50%発生している ・素材が脆弱なため、ダメージの少ないピックアップコレットが必要 ・移載装...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！
バッチ式ウェーハ移し換え機です。 ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として 発塵を防止します。 【特長】 ■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載 ■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハンドリング ■最適速度制御により、短時間での移載が可能 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイナミックス
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ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します
当社は、材料投入、加工、組立、検査、梱包までのラインすべての 全自動化に対応し、適した生産設備を設計・製作まで一環体制でご提案いたします。 昇降装置(シザーリフト 他)・搬送・移載装置(コンベアシステム)などの マテリアルハンドシステム(マテハン)による、工程管理の最適化により、 ムダの最小化、コストの削減に貢献。 また、液晶ガラス基盤(LCD)、半導体ウエハの製造...
メーカー・取り扱い企業： レック株式会社
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シリコンウェーハを反転移載する装置です。
・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとし...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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半導体関連装置やパワー半導体関連装置、LED関連装置を掲載！
製品】 ■半導体関連装置 ・厚さ測定機 ・膜厚測定機 他 ■半導体関連（収納／保管庫） ・簡易型マスクストッカー ・マスクストッカー 他 ■半導体関連（卓上タイプ） ・手動移載機 ・一治具移載機 他 ■半導体関連（治具関連） ・スピンチャック ・石英フォーク 他 ■パワー半導体関連装置 ・Cies/Rg検査装置 ・絶縁耐圧検査装置 他 ■LED関...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピクリング
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チップソーター
プソーター】 ・自社開発の把持ピックアップ方式が吸着ピックアップ方式による不良（チッピング・汚れ）軽減を実現 ・ウェハーtoトレー、トレーtoウェハー、ウェハーto GEL Pack 等のチップ移載に対応 ・８インチウェハー対応で巾６００ｍｍの超コンパクト設計 ・マッピングデータ対応 ・高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載 ・各種カスタマイズ対応可能（例：高精度ディスペン...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
新機能：周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。 ソ－ラ－リサ－チ研究所では、□5ｍｍウエハ～の微小ワークのチップ用ベルヌーイチャック「非接触クリーンチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…
2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...PVA Metrology & Pla...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム
株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供させていただいております。 シリコンウェーハ製造産業向けのノウハウを応用しSiCウェー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。 ・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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H-Square社製半導体製造用、基板ハンドリングツール・装置
高品質で多種多様な基板搬送ツール
H-Square社製『基板ハンドリングツール・装置』をご紹介しております。 「自動ウエハ移載機」や「ウエハノッチ/フラットアライナ」、「ウエハリフタ」などコンパクトな卓上型自動装置および手動機をはじめ、従来の「真空ピンセット」、「メカニカルピック」など多数ラインアップがございます。 ...
メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター
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モールド後のリードの処理も装置から金型までご提案します!
半導体電子部品のリード端子を切断・曲げ加工処理を行い、単品に切出し処理を行った後に搬送用トレイに整列・移載までを自動で処理する装置です。3t サーボプレス 2 ヘッド搭載。お客様のニーズに応えて装置を設計します。 また、装置に合わせて、各種タイバーカット型、リードカット型、フォーミング型など設計から製...
メーカー・取り扱い企業： ローム・メカテック株式会社
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プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。
プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。 空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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【導入事例】ワーク持ち帰り防止、安定したチップトレイへの収納
交換式のため、経済的であり、作業現場で簡単に交換可能な導入事例のご紹介
で簡単に交換でき、絶えず最高クラスのコンディションで使用できます。先端形状は丸形、正方形、長方形で、標準仕様として豊富なサイズを用意しています。 【事例】 ■課題 1mm口以下の小ワークの移載は経験がなく険しい内容で、ユーザーからの 引き合いもお断りせざる負えない状況。ワーク持ち帰り防止、安定した チップトレイへの収納に期待。 ■結果 0.75mm口 t=0.2mmのchip...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
000 （300mm）/ W1100×D1400×H2000 （８インチ） 工程 Process： カセットを手動で設置→扉を閉めて運転開始→ロボットにてカセット上部より1枚づつセンターリング部に移載→4本のシリンダーにてセンターリング→ロボットにてセンターリング部からウエハーを洗浄装置に送る→二流体洗浄・超音波洗浄・乾燥→ロボットにて洗浄装置からウエハーを排出カセットに送る 洗浄物 Clea...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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一番の目的は研削工程の自動化！人手作業からの研削・良否検査・種別排出全…
別排出全自動で行う装置です。 成型されたワークを人手により適量バラ投入し、パーツフィーダ にて一定方向に整列させます。 その後ワーク挿入ユニットにて研削円テーブルのワーク回転 ユニットに移載、研削円テーブルとワーク回転ユニットにて研削。 研削円テーブルを検査位置に移動させ、ワークを回転させながら 画像検査を行ない、アクチュエータによりワークの種別排出をします。 一番の目的...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日東電機工業
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微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。
「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ＩＣミュウチップを非接触状態にてつかみ搬送します。 チップ吸引時、作動面とチップとの間隙が微小であるため作動面とチップとを平行に維持することは操作上難しいため、本機は、微小なクッション室にて効率よく負...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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2台のロボットが協調しながら似顔絵を作画！輪郭などの線を画像から抽出し…
影したお客様の顔写真を用いて協調しながら似顔絵を描きます。 作画を行う「6軸ロボット」は、ハンドに保持したペンを用いて似顔絵を描き、 2本の腕を用いた「双腕スカラロボット」は、色紙を取出し、移載、保持、 及びお客様へのお渡しなどを行います。 似顔絵を描く際には顔写真を画像処理し、輪郭などの線を画像から抽出して ロボットの軌跡を生成します。 【特長】 ■撮影したお客様の顔写...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウチゲン
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プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット
『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...『プロトスキャリア用 ウエハ非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ３００ｍｍ高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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・ICハンドラ ・UV硬化装置 ・マウントキュア装置 ・ウエハリング洗浄装置 ・パッケージ移載装置など ※詳細はお問い合わせください...
メーカー・取り扱い企業： 日本ベンチャー工業株式会社
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、ＣＶＤ装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、4ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）
本装置は、SMIF対応2ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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精研工業株式会社の100ミクロン角半導体チップ用P-Pハンドです。
【応用製品】 ○半導体チップ用テスター ○半導体チップ移載機 ○半導体チップ外観検査機 ●詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 精研工業株式会社 技術部
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