自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。

スト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布をスピーディに表示します。KV-300は、自動R-θステージ採用により、300mm基板に対応しながらもフットプリントを最小限に抑えた設計になっています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

可搬型膜厚プロフィル測定装置「Line-FiDiCa」のご案内

手軽に持ち運ぶことができる膜厚プロフィル測定装置をご紹介いたします

● 約140mmの線状領域の膜厚分布を1320点測定可能 　ハイパースペクトルカメラを使用した測定で、空間軸方向の画素数は1320画素と多いため、従来では考えられないほどに高精細な膜厚の分布を観測することが可能になります。 　点...

メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社

インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内

薄膜による干渉光をイメージング分光器で測定した世界初のインライン膜厚分…

イメージング分光カメラ（ハイパースペクトルカメラ）により、線状領域の反射光を分光して2次元の画像として出力します。 モノクロカメラと接続することで同時に多くの点の分光データを採取できます。...■装置仕様 　膜厚レンジ：50nm～1000nm 100nm～5000nm 1000nm～100000nm 　測定サイズ：視野幅：50mmから2000mmまでで任意に設定可能 　　　　　　　測定長：...

メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社

半導体製造装置用 面内温度分布測定ツール『T/C ウエハー』

温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達！温度特性を正確に把握す…

実温をリアルタイム測定できる 半導体製造装置用の面内温度分布測定ツールです。 装置側の設定温度のみではなく、実際にウエハにかかる温度分布特性を 知ることでプロセス温度設定・制御の簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献。 独自の埋め込み技術により、温接点位置の固体差も低減し、読み込み温度の 高い信頼性が得られます。 【特長】 ■ウエハの実温をリアルタイム測定 ■読み込み温度の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミヤビインターナショナル

光学式細孔率・細孔分布測定装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔…

■ 前処理が必要がなく、 20分/ポイントと従来型に比べて高速に測定が可能です。 ...【アプリケーション】 ・Low-k膜の細孔率測定 ・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定 ・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル 【特徴】 ・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測も測定可能 ・従来の方式に比べ、短時間での測定が可能（２０分/point...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

【受託分析・受託試験にお役立ち可能！】MSE試験装置

素材の耐久性や強さを自身で分析・測定が可能！MSE試験を自動で！材料表…

当装置は「物理エッチング（粒子エロージョン）部」と「エロージョン形状計測部」で構成されています。 試料表面から精密エロージョンし、その深さ計測を繰り返し連続取得することで、強さ比較・強さの断面分布、 層毎の厚さや強さ、面内の強弱分布などが評価できます。 これまでに測ることが難しかった材料表面において、短時間で多くの情報が得られます。 成膜プロセス違いの膜強さを比較したり、深さごとの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対…

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

ハイパースペクトルカメラ／イメージング分光システムのご案内

当社では、20年にわたり蓄積した豊富な技術と経験を活かし、あらゆる業界…

ector）と最適機能を備えたカメラとの組み合わせでお選びください。 ■イメージング分光システム ・標準モデル 　◎ポータブルハイパースペクトルカメラ（HSC–800/1000） 　◎膜厚分布測定装置（FiDiCa） 　　 面測定仕様／ラインプロフィル仕様 　◎フラッドベッド型画像色彩計（CMS050–V2） 　◎高感度イメージング分光顕微鏡（PSAM–800HS） ・カス...

メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社