独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【ベアリング使用環境】真空環境

真空環境にグリースレスベアリングやフッ素グリース封入ベアリングが適して…

真空蒸着装置やスパッタリング装置など真空状態で動作する装置には、 基油の蒸発が少ないフッ素グリース封入ベアリングや グリースレスベアリングが適しています。 当社では、グリースが使用出来ない高温や真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社南海精工所

真空・高温用ボールベアリング

真空中で３５０℃まで使用できるボールベアリングです。ベアリング材料の金…

真空中での油性の潤滑剤の使用は困難です。そのため多くの真空機器（熱の掛かる蒸着装置など）は「無潤滑」と称して強引にＳＵＳのベアリングを回すか、銀や二硫化モリブデンをコーティングしたベアリングを使用しています。しかし、これらのコーティングの寿命は短く、短時間で剥がれてしまいます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル