【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

クライオトラップTVPシリーズ

素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます

素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのTVPシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオトラップです。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

小型冷温調機『One by Oneシリーズ』

小型冷温調機でコンパクトに適材適所でお応えします！

■ダイカストマシーン　金型の冷却 ■MRI　ヘリウム冷凍機冷却及び傾斜磁場コイルの冷却 ■包装機　ヒートシール後の冷却 ■ファイバーレーザ　ダイオードレーザの発振部及び光学系の冷却 ■真空蒸着装置　チャンバーの冷却 ■X線検査装置　光源、またはLEDチップの冷却 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カンネツ

ウォーターベーパークライオポンプ

ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮でき…

オポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム