蒸着装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

卓上型高真空蒸着装置ＶＥ－２０１３

卓上小型サイズの高真空蒸着装置です。カーボン蒸着・金蒸着・アルミ蒸…

★ VE-2013はVE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません（RPは床置き）。 ★ 小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

真空蒸着装置ＶＥ－２０３０

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。清浄高真空蒸着装置。

真空蒸着装置ＶＥ－２０３０はターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。清浄高真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応…

標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション社内デモ機にてサンプルテスト対応...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させること...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

破面蒸着保護膜形成装置

材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護！破面の各種分析を行う事が可能

『破面蒸着保護膜形成装置』は、各種金属、合金材料などを極高真空中（X10-9Pa）で低温（～100K）にして機械的衝撃により破断させた後直ぐに破面にNi等の真空蒸着を行う為に開発された装置です。これに、材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護することが出来るため 3次元アトムプロープ観察等による破面の各種分析を行う事ができます。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。...TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コン...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　RADAK

有機物蒸着にも対応。　コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

質薄膜フィルターメーカーLUXEL社は、真空蒸着にお使い頂ける、抵抗加熱型蒸着源(エバポレーター)を提供しております。使いやすさ、パフォーマンスを考慮した独自のデザインで構成されており、既存の蒸着装置への導入が可能。コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。また、用途にあわせて、ルツボ、ライナー、熱電対などのオプションをお選び頂けます。 ※アルミナルツボを標準でご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業：ラドデバイス株式会社

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化・光学部品製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子用途・効果レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研

カーボンコーターＶＣ－３００

ＥＤＳ（ＥＤＸ）・ＥＰＭＡ・ＸＭＡ用導電処理・ＦＩＢ用保護膜作成・カー…

VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。省スペース、低価格を実現。 ... 試料室サイズ＝内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。  試料台サイズ＝直径10...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

超小型有機材料用蒸発源『ESC-100』

ALQで連続使用5時間確認！有機EL研究や基礎材料開発などを援助する新…

『ESC-100』は、長年の有機材料用蒸発源の開発に従事した経験と Know-Howを結集して完成した超小型有機材料用蒸発源です。降温速度は蒸着温度350℃から200℃まで約12分が可能。材料の蒸着停止が高速でできます。大容量20ccタイプもご用意しておりますのでご要望の際はお気軽にご相談ください。【特長】 ■ALQで連続使用5時間確認 ■超小型コンパクト ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノブレイズ

Crea Tec社クヌーセンセル（Knudsen-Cells）

蒸着する材料に合わせて設計！多くの種類の物質や電子から原子線を発生

Crea Tec社の蒸発源セルは超高真空蒸着装置として多くの種類の物質や化合物より電子や原子線を発生させます。品質管理規定に基くヘリウムリーク試験、最高温度によるルツボ有無でのベーキング、超高真空中での性能試験を注意深く実施することでユーザ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャパンビジネスコンタクトグループ

クライオトラップTVPシリーズ

素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます

素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのTVPシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオトラップです。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

株式会社アクアテック『製品総合カタログ』

真空洗浄乾燥機や水系洗浄乾燥装置などを豊富にラインアップ

『製品総合カタログ』は、工業用真空洗浄機・薬品専門メーカーである株式会社アクアテックの総合カタログです。 PVD等、真空蒸着の前洗浄に最適な水系洗浄と炭化水素真空乾燥を融合したハイブリッド洗浄装置をはじめ、真空洗浄乾燥機の付帯設備や水系洗浄乾燥装置などを掲載。また、表面処理装置、排水処理装置、洗浄剤・関連機器もご紹介しています。【掲載内容】 ■会社案内 ■真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクアテック

ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティン…

『CARBOZEN　ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

簡易型スピンコーター「SC8002」

薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に最適！

簡易型スピンコーター「SC8002」は、化合物の溶液から薄膜を生成するための装置です。真空蒸着装置では成分が分解してしまうため、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に適しています。使い方は中央の回転体の上部に基板となる材料（ガラスや金属）をセットし、ポリマーや化合物など溶媒に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイデン

簡易型スピンコーター「SC4002」

薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に最適！

簡易型スピンコーター「SC4002」は、化合物の溶液から薄膜を生成するための装置です。真空蒸着装置では成分が分解してしまうため、薄膜を作ることが難しい化合物やポリマーなどの薄膜生成に適しています。使い方は中央の回転体の上部に基板となる材料（ガラスや金属）をセットし、ポリマーや化合物など溶媒に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイデン

株式会社アールデック　会社案内

理化学機器全般の開発・製造・販売のことなら株式会社アールデックにお任せ…

【取り扱い製品】 ■ガス分析用差動排気システム ■超伝導接合形成用高真空蒸着装置 ■金単結晶基板作製装置 ■コンパクト型ガス分析システムＤシリーズ ■赤外線サーモグラフィ ■ナノ粒子測定システム　　　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アールデック

リニアPECVDプラズマ源

物理蒸着(PVD)プラズマ源以外に、様々な化学的気相成長(CVD)プラ…

『リニアPECVDプラズマ源』は、標準的な静電容量結合プラズマ電極に類似した製品です。インラインダイナミックモードで動作しており、基板、キャリア、またはウェブは絶えず電極を通過し、連続的に製膜されています。 CCP CVDを用いる静止モードで大型の基板を均一に製膜するという機械的、電気的な大規模作業が求められる場合であっても、リニアPECVDは空間パラメーターを一次元...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社

【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、表面改質などへの応用が進められています。当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下でキセノンエキシマランプ（172nm）を照射。赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUV...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クォークテクノロジー

Crea Tec社蒸発源セル（Effusion Cells）

蒸着する材料に合わせて設計！多くの種類の物質や電子から原子線を発生

Crea Tec社の蒸発源セルは超高真空蒸着装置として多くの種類の物質や化合物より電子や原子線を発生させます。品質管理規定に基くヘリウムリーク試験、最高温度によるルツボ有無でのベーキング、超高真空中での性能試験を注意深く実施することでユーザ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャパンビジネスコンタクトグループ

印字・脱気装置付シール機『KSDPG20E-15／25ST 型』

プリンターテープの重なり防止、無駄低減を実現！オプションも多数ご用意

当社の高性能印字機を搭載した『KSDPG20E-15／25ST 型』をご紹介します。脱気装置付シール機は袋などの溶着すべき部分をシールベルトで挟んで移動させながら袋の中の空気を脱気。熱によって溶かし、加圧と冷却することで溶着させます。また、印字機は被印字体に加熱された活字をプリンターテープの上から加圧し、テープのインクを蒸着させ印字します。【特長】 ■板金・ネ...

メーカー・取り扱い企業：キムラシール株式会社