小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ハイブリッド洗浄装置

PVD等、真空蒸着の前洗浄に好適！水系洗浄と炭化水素系真空乾燥を融合し…

『ハイブリッド洗浄装置』は、真空乾燥のため、温風乾燥と異なり、 短時間でシミのない乾燥が可能で、酸化や変色も発生しません。 炭化水素系洗浄剤は、その中に混入した不純物をワークに再付着させないために 自動で連続的に蒸留し、常に蒸留した新液を供給するよう、装置内に 多段式真空蒸留再生機を内蔵しています。 【特長】 ■アルカリ・中性洗浄剤にて無機物・有機物の洗浄を行う ■真空洗浄の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクアテック