【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

温度管理用 示温材『真空用サーモラベル』

1Pa～常圧下の温度が一目でわかる！　真空対応の不可逆性サーモラベル

ラベルタイプの示温材『真空用サーモラベル』は、 1Pa～常圧環境に対応した、不可逆性のサーモラベルです。 減圧環境となる、エッチング、真空蒸着、真空加工等、 有線センサを導入しづらい密閉装置内の温度管理に活躍します。 また、装置内への影響を低減すべく、ローアウトガスタイプの構成材料を使用しています。 【特長】 ■配線・電源不要。ラベル1枚で密閉装置内の温度測定が可能。 ■ローアウトガスタイプ...

メーカー・取り扱い企業： 日油技研工業株式会社 第1営業部