最新！熱設備の脱炭素・低炭素化技術のご紹介【展示会出展】

PR水素ガスバーナー最新ラインナップや低炭素設備をご紹介！【サーマルテクノ…

【展示会情報】 工業炉と関連機器の製品・技術展示会およびセミナー発表と講演会で構成する関西からの情報発信イベント” サーマルテクノロジー2024に出展いたします。 日時：2024年10月10日（木）11日（金）10:00 ～ 17:00 会場：グランフロント大阪 北館 B2F 【最新！水素ガスバーナーラインナップ】 二酸化炭素を排出しない水素燃焼！SHOEIでは実績のある自社製バー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所 本社、東京支店、名古屋営業所、大阪支店、広島支店、九州支店

【コーター】小型塗工機、低価格、短納期、試作、選べる塗布方式

PRダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

複合マクロミクロレビュー検査装置(レーザーマーキング付き)

6・8インチウェハ対応！レーザーマーキング付きの検査装置をご紹介します…

当製品は、マクロミクロ検査装置にレーザーによるマーキング機能やマーカーカウント機能などが搭載された装置です。マクロユニットとミクロユニット、及びレーザーマーキング室には搬送ユニットがウェハを自動供給。マクロ目視観察、ミクロ顕微鏡...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

各種装置用ウェハローダー

8インチウェハ対応！ウェハ中央部に接触することなく搬送できる装置をご紹…

当製品は、スタンドアロン式の各種ウェハ測定器などに自動搬送機能を 追加できる装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送可能。 2mmまでの反りのあるウェハ、表裏面を反転させての搬送もできます。 また、測定機システムを上位として、連携さ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上式ウェハ移載装置

6.8インチSEMI規格ウェハ対応！基本移載パターンが選択できる装置を…

当製品は、カセットが通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応可能で相互間で移し替えることができる装置です。基本移載パターンは、同一スロット移載、スロット上下逆転移載、指定スロット移載などが選択可能。また、オプションとして、スロット指定レシピやウェハIDリーダーの搭載も可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【製作事例】ご要望に沿った仕様の装置

長年の経験と新規開発のソフトウェアを駆使！希望に沿った仕様の装置を製作

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 要望する目視検査できる装置が複雑過ぎて、他社では作ってもらえないとご相談をいただきました。 当社のカスタムオーダ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

当製品は、あらかじめ登録した欠陥種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

自動欠陥レビュー装置(ADR)

他の検査システムの欠陥データと連携！8インチウェハ対応の自動欠陥レビュ…

当製品は、他の検査システムの欠陥データと連携するもので、指定の座標の 画像を自動で撮像し、保存や他システムへ送信する装置です。 自動搬送ユニットがレビューユニットのXYステージにウェハを搬送。 受信した欠陥データの指定座標を高倍率(100x、150x)にて自動撮像 することができます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

製品カタログ　搬送機器

超小型で低消費電力！地球環境に優しく、CO2削減につなる製品をラインア…

当カタログは、超小型で低消費電力を実現したクリーン搬送機器の 開発専門集団であるアテル株式会社の製品カタログです。 卓上型クリーン搬送装置から半導体用搬送ロボット、防水対応用ロボット、 真空対応用ロボット、液晶用搬送ロボットなどを豊富に掲載しております。 【掲載製品】 ■卓上型　顕微鏡ローダー 　・SYAR110 　・S...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

4ポートソーター

カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介し…

当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8イン...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR110』

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』

低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…

『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

外観検査の自動化

検査の自動化！本当に見逃してはならない不良、異常に絞って自動化しません…

ています。 一昔前は多くの人、多くの検査員の目で製品の品質を確保していました。 しかし、今は人手をかけた作業が難しくなっています。 当社は、今まで人の目を使って検査していた、マクロ検査装置や顕微鏡観察の自動化に長年取り組んできました。 不良、異常の種類によっては、今すぐにでも対応可能。 バックグラインドのウェハ裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕やキズなど、検出が難しい不良...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

マクロミクロレビュー検査装置

ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹…

当製品は、ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動X...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

TAIKOウェハ対応反転移載装置

反転記載もできる！8インチタイコウェハ対応の装置をご紹介します。

当製品は、エッジグリップハンドによりウェハ中央部の研削部位に 接触することなく移載できる装置です。 研削面を下から上に、あるいはその逆の反転記載も可能。 カセットは通常ピッチカセットと2倍ピッチカセットに対応しており、 相互間で移し替えることができます。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型マクロミクロ検査装置『SYAR120』

8インチタイコウェハ対応！透過式マッピングセンサ搭載マクロミクロ検査装…

『SYAR120』は、卓上型ロボットとアライナ、マクロユニットを組み込んだ 8インチタイコウェハ対応顕微鏡マクロミクロ検査装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、マクロユニットへ搬送し、 表裏面を観察します。 ジョイスティックにより任意な座標制御が可能。 帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【製作事例】必要な機能のみを抜粋した新規装置

お客様が手持ちのものを再利用！新しい装置を製作した事例をご紹介

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 自社で保有する顕微鏡を再利用して、目視観察のできる装置を作りたいというご要望をいただきました。 当社のカスタムオ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【製作事例】取扱が簡単で安価な自動搬送の検査装置

品質の安定を図り、労働環境を改善したいというご要望に応えた事例をご紹介

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 ピンセットを使い、手作業でウェハを運んでいるが、よく破損する。 そのため品質の安定を図り、労働環境を改善したいと...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上顕微鏡ウェハローダー

卓上タイプでコンパクト！既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる装置をご…

当製品は、既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる卓上タイプの コンパクトな装置です。 顕微鏡のステージにウェハを供給、回収。 ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで自動的に 行われます。 もし、顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位と...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能で...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型ソーター『SYAR100』

レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソー…

『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備していま...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』

稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…

『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

高速型4ポートソーター

4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応で…

当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

【製作事例】特別なロボットとコントローラー

「欲しい」想いをカタチに！特別なロボットとコントローラーを作成した事例

当社は、検査をはじめ各種複合機開発、設計、製造メーカーです。 お客様のご要望に細かく応じる為、綿密な打合せをし、設計、製造を行っています。 また、お客様が手持ちのものを再利用し、新しい装置への作り変えも可能です。 カスタムオーダーによる製作事例を紹介します。 一秒でも早く、一秒でも多く顕微鏡検査をしたいというご要望をいただきました。 当社のカスタムオーダーにて、特別なロ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社