装置設計 | イプロスものづくり

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【デモ機無料貸出し中】高精度CW 小型LDドライバー

PR高精度な電流制御で高い安定性を実現、産業機器や医療機器の組込み用として…

『CW LDドライバー TLA-514』は、小型で組込み用に好適です。安定性に優れ評価用から量産まで対応。量産時も長年構築した部材調達網で高品質な製品を少量から安定供給致します。電圧・電流の仕様範囲内で汎用的に使用でき、セミカスタムが可能です。デモ機貸し出しも行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。【LDドライバー　TLA-514仕様(抜粋)】 ■入力電圧：L...

メーカー・取り扱い企業：東北電子産業株式会社東京支店
遊星歯車減速機　製品カタログ

PR同軸上での減速が可能で、装置のコンパクト化にも貢献。ユニットの組み合わ…

当カタログでは、「マテックス遊星減速機」についてご紹介しております。ユニットタイプの「LGU」、ギアヘッドタイプの「LGH」の多種多様な製品について詳しく掲載。また、設計ガイドや用途事例なども掲載しておりますので、製品選定の際に是非ご活用ください。【掲載内容(抜粋)】 ■製品特長・分類 ■ユニットタイプ ■ギアヘッドタイプ ■設計ガイド ■用途事例 ■設...

メーカー・取り扱い企業：マテックス株式会社
真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

【製品】蒸着膜形成装置・各種金属/有機物蒸着膜形成・物性の評価用・薄膜形成・膜厚強度(強化)・温度制御・ドーピング・材料研究評価用【製作例】・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却) ・グローブボックス対応装置(高純度雰囲気室＋真空チャンバ) ・各種精製機の設計製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス
乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応できます。...【幅広い対応範囲】　各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに　最も適した処理剤の選定ができます。　また...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
RIBER社分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。構成例として、クリーニングとパッシベーションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社
緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。ホー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
液体ソースプラズマCVD装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…

当製品は、TEOSをはじめ、液体原料ソースを対象としたシリンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を設計開発。上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の優れた装置です。【特長】 ■シリンダーキャ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。また、3インチウェハ対応となっております。【特長】 ■酸化シリコンを成膜 ■コンパクトな設計となっており省スペース化を実現 ■3インチウェハ対応 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
CVD・MOCVDカスタマイズ装置

多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタ…

当社では、研究開発や小規模バッチ量産向け装置である、「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの多彩なプラズマソースが搭載可能。また、FLOCONシリーズのフロー管理システムを搭載しております。【特長】 ■研究開発や小規模バッチ量産向け装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

PICOSUN Sprinter ALDシステムは半導体、ディスプレイ、IoT等の業界における 300 mm製造ラインで活躍するバッチALD生産システムです。 SEMI S2 / S8認定のPICOSUN Sprinterは、枚葉成膜の品質と均一性を高速処理、高スループット、高信頼性と組み合わせています。処理時間が短く、熱負荷が抑えられるため、破損しやすい基板材料やデバイスにも理...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
CVD装置向けモジュールヒーター

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

超硬チップや金型のコーティングに使用するCVD装置向けのモジュールヒーターです。ご希望の炉寸法、仕様に容易にカスタマイズ可能ですのでお気軽にご相談下さい。...□■種類＆特徴■□ カンタルA-1銭を発熱体として使用した断熱材一体型のモジュールヒーターです。 ○CVD装置向けモジュールヒーター　・既に超硬チップ用CVDコーティング装置に導入した実績がございます。　・特に出力の高い...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー
立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

当社で取り扱う『立体物対応実験用プラズマCVD装置』をご紹介いたします。立体物に成膜可能で、対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等。 PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギングが可能です。当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■立体物に成膜可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC
プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

●コンパクトな設計でありながら、試料は3インチウエハーなら5枚、4インチウエハーなら3枚、8インチウエハーなら1枚が対応可能。 ●最大100ステッププロセスが可能。 ●ロードロック室を装備しているため安定したプロセスが可能。 ●各種安全対策のためのインターロック機構を搭載。...PD-220NLは、納入実績の豊富なプラズマCVD装置『PD-220シリーズ』での経験をもとに開発したロードロック...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
GaN半導体 MOCVD用機能部品

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ…

Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ・超高温（1500℃以上）での使用が可能・腐食性ガス雰囲気に耐性がある・色々な形状にも対応でき、設計の自由度が高い ■その他機能部品・MOCV...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

中国製、世界中で実績があり、日本国内も大変実績があります。アメリカ輸入濾過材使用、品質が保証。...VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２シリーズは2回ろ過プロセ...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
プラズマCVD装置

漏洩マイクロ波検出用も付属！試料の取付は、下部よりモーターによる上下機…

『プラズマCVD装置』は、実験用に極端に簡素化して製作されたCVD装置です。マスフロー本体は、メーカー品を使用。表示器、設定器は当社オリジナルで製作し価格を下げております。また、プラズマ発生域と試料の距離を変更できるよう、マイクロ波導波管を上下できる機構を備えています。【特長】 ■実験用に極端に簡素化して製作 ■マイクロ波導波管を上下できる機構を備えている ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...ドイツのAIXTRON社のMOCVD装置用の排気フィルターシリーズ製品はアメリカ産の高級耐高温ガラス繊維制濾過材（濾過布）と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品。ガラス繊維制...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
グラフェンCVD成膜装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

グラェン膜を合成するための管状炉熱CVD装置です炉のスライド移動機構を搭載、サンプルの急加熱／急冷が可能　　　オプションで、モータ駆動による自動スライド機能も追加可能　　オプションで、ターボ排気ポンプの追加により、さらに高品質のグラフェンが成膜可能 ...・熱電対センサーを炉内に導入、試料温度を直接モニター可能・3系統のマスフローガス流量制御系、正確なガス制御が可能・コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ
常圧CVD装置

省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールか…

本装置は、4/5/6 及び 8 インチ・ウェハーに対応しており、プラズマ CVD 法によってウェハーに酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜を形成するものです。基本構成は、プロセス・モジュール及び RF ジェネレータ・モジュール（高周波,低周波各 1Set ）、バキュームポンプ・モジュールの 3 モジュールで構成されます。...※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
スリットバルブシール

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
【コストダウン】機能性アルミフレームと豊富なアクセサリー

最大5800ｍｍまでのアルミフレームの販売が可能！また、外装ブース…

弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台、クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、国内外問わず数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。アルミフレームを定尺サイズからご要望サイズへのカットだけではなく、端面の角度付カットやタップ・ザグリ加工等にもお客様のニーズに合わせて柔軟に対応いたします。弊社のアルミフレームは最長5800mm...
メーカー・取り扱い企業：株式会社タイトウトレーディング草津本社工場
固着対策シール

固着対策シール

●半導体、液晶、太陽電池をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体・液晶製造装置向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬品性はもちろんのこと、低固着特性に優れた製品を製造・販売しております。...●半導体、液晶、太陽...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
アルミフレーム(TFシリーズ)・アクセサリー

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん…

弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台や躯体、クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、国内外問わず数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。また最近では、飛沫感染防止用のパーテーションのニーズが高まり、弊社製品をご愛顧頂いております。【アルミフレーム（TFシリーズ）・アクセサリー】 ■定尺サイズからご要望サイズへのカット ■端...
メーカー・取り扱い企業：株式会社タイトウトレーディング草津本社工場
微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。...【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
真空蒸着フィラメント、ボート

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

規格品も取り揃えていますが、オリジナル、特注への対応が得意です。コスト対策、改善したい面を改良して設計から相談に乗ります。...真空蒸着装置に使われるフィラメント、ボート。真空機構の部品オーダーメイド部品。液晶、半導体製造プロセスに使われる消耗部品、特注冶工具。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ビット･テック
活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高電圧リレー

高電圧リレー

高電圧、パワースイッチングで30年以上の実績を持つキロバック 1964年以来、キロバックは高電圧スイッチングおよび高電圧負荷の絶縁用途に、小型/軽量デバイスを開発してまいりました。キロバック社の誇る真空シール技術が、最大70kVまでのリレー、コンタクターなどの幅広い製品に活かされています。 ...キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コムクラフト
原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法についてアドバイスをいたします。 ALD法の開発最初期から現在までノウハウの蓄積があるPICOSUNだからこそご提案できるサービスで、技術の導入検討からお客様をサポートいたします。....

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社