【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

超大型インバータチラー RKEシリーズ

オリオン機械/チラー。最大57％の省エネ制御を実現。

■最大57％の省エネ制御を実現 負荷に応じた最小エネルギーでの運転が可能。※負荷30％でHB制御と比較した場合 ■独自技術による高精度な液温度制御が可能 液温検知による圧縮機回転数制御により設定温度±0.2～±1.0℃の制御を実現。※負荷条件により変動しますので、高精度が必要な場合はご相談ください。 ■広範囲な液温度制御が可能 15～30℃の範囲で液温設定が任意に可能。 ■外部通信機...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

圧縮空気温度調節器 ナノサーモ ACUシリーズ（空冷）

オリオン機械/圧縮空気温調機。電子冷熱と高精度コントローラにより高精度…

■高精度制御を実現。 電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。 ■低振動、低騒音。 コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。 ■エアー温度を±0.01℃に制御。 ■コンパクト設計で省スペースを実現。...【特徴】 ●圧縮空気温度...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社