高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

サイクロン式クーラント液浄化装置　※デモ機有り

PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去！フィルタレスと液…

「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGｓに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...

メーカー・取り扱い企業： 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部

ファンフィルターユニット『EC-MAC』＜下メンテタイプ＞

RoHS指令対応品！装置に取付けたまま、本体下面からメインフィルターの…

『EC-MAC』の下メンテシリーズは、運転状態が一目でわかる LED運転表示灯付のファンフィルターユニットです。 当製品を装着した状態でメインフィルターの交換が可能。 クリーンブース等で天井部のメンテナンススペースがない場合、 装置内から交換作業ができます。 この他、工業製品不良の原因物質であるフッ化水素酸、 シロキサンを除去し、リスク低減を図る特殊フィルター仕様の 「EC-...

メーカー・取り扱い企業： 日本エアーテック株式会社 本社