高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

サイクロン式クーラント液浄化装置　※デモ機有り

PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去！フィルタレスと液…

「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGｓに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...

メーカー・取り扱い企業： 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

レーザークリーニング装置”IMT100P”のご紹介

母材にメカニカルなダメージを与えることなく 異物除去又はクリーニン…

☆レーザクリーニングとは:- レーザ光を母材（対象物）の表面に照射することにより、 レーザアブレーションプロセスを起こさせて、 母材の表面に付着している炭化物等のコンタミを除去します <仕様用途> オーブンにこびりついた炭化物(焦げ)、オイル残渣の除去 酸化膜の除去など ＜経済的＞ ドライクリーニングで環境に配慮し経済的 ＝＞クリーニング後の水洗浄等不要 ...レーザーシステム:- ・韓国...

メーカー・取り扱い企業： サマック株式会社

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

TWC-200Aは露光工程で使用されるマスクの洗浄に特化して開発されました。 本装置の特長はマスクに付着したレジストとパーティクルを一挙同時に全自動で除去する点にあります。 特にレジスト除去に関しては大手薬品メーカーと共同で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。 危険な薬品に曝される事も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

レーザーIC開封装置　PL101

レーザーIC開封装置　PL101

プラスチックモールドされたICのプラスチック部分を ICチップ表面から100ミクロン以下まで 樹脂を残しチップに損傷を与えず除去できる、レーザーIC開封装置 【特徴】 ○薬液による開封前処理として、Cu配線されたIC等の開封に 　薬液の影響を極力少なくすることができる ○チップの表面に薬液を滴下するだけで開封でる 　開封装置を使用しても勿論開封可能であり、薬液使用量は極めてわ...

メーカー・取り扱い企業： 日本サイエンティフィック株式会社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

■国内マスク製造メーカー業界ではシェアー90%を誇ります。 ■「研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

純水装置（純水製造装置）パッケージ型イオン交換樹脂ボンベ

純水が必要な場所で簡単に！

【特長】 ・内臓のカートリッジフィルターにより原水中の微粒子が除去されます。 ・不純物イオンはカートリッジカラムで除去されます。 ・イオン交換ボンベの寿命はランプでお知らせします。...【用途】 ・イオン交換処理 ・超純水製造 ・実験水、研究室などでの純水、超純水製造 ・軟水製造 ・酸化剤除去・有機物除去 【仕様】 ・流量：300～1000L/h ・採水量：約3,500L（T...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄と リンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です 1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。...■主な特長 ・ワーク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

高除去率の除鉄装置

永久棒磁石を使用した粉体用除鉄装置の除去性能を向上した改良版

除鉄試験により除鉄性能ＵＰを立証済み。特許出願中。絶縁材料への除鉄装置として導入済み。...棒磁石を水平に配置する従来型の欠点（1)棒磁石の上に粉が堆積する（2)流動性の悪い粉には向かない⇒閉塞し易い（3)棒磁石に金属異物が接触するチャンスが少ない等々）を解消することにより、除鉄性能を従来型より１．３〜１．８倍向上することができます。...

メーカー・取り扱い企業： ダイカテック株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ 製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果 ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化 ・光学部品 製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子 用途・効果 レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。 ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。 製造業現場においての...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 　厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。 【特長】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によっ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ドライ洗浄装置アストロジェット1000シリーズ

除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！

〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜 液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ 被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果的に除去します。 【特長】 ■完全ドライ洗浄！ウェット洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません ■従来の洗浄装置で除去不可能だったゴミ・チリ・バリを完全除去 ■革新的技術に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディップス・エイチシー

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

逆浸透膜純水装置　AQLIA　NEOシリーズ

イニシャルコスト、ランニングコスト激減！　逆浸透膜方式の純水装置

AQLIA NEOシリーズは、イニシャルコスト、ランニングコストが市価の５０％になるように、目標を設定した高精度の純水装置です。 独自の逆浸透膜方式により、有機・無機物質などの様々な不純物を除去し、高品質の純水を造水します。 《特長》 ■独自のシステム基板(PNET2008)で使い勝手がさらに改善！ ■動作タイミングの任意設定機能。 　 PCでのプログラミングが不要で、現場で簡単に操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プライムネット

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

剥離装置　剥離・アルカリエッチングライン

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

剥離・アルカリエッチングラインは、高精度なアルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構が付いています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○薄板搬送可能な剥離装置 ○FPC搬送対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。...【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■　レジスト残渣／有機物残渣の剥離洗浄 ■　金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■　固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■　受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄（成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 　 バック...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...プラズマ装置国産メーカー『魁...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

テープ剥がし機

テープ剥がし機

テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。 ■リトライ機能■ 離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残し...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

加圧脱泡装置（オートクレーブ）

液晶ディスプレイの第7世代以降の大型パネル対応

加圧・加熱により粘着シート等の粘着剤に混入した気泡を除去し、粘着強度を短時間に増大させる装置です。 当社独自の技術により均一な温度分布が得られ、プロセス時間も短縮されます。 液晶ディスプレイの第7世代以降の大型パネル対応のインライン枚葉式のオートクレーブ装置もご用意しております。...加圧・加熱により粘着シート等の粘着剤に混入した気泡を除去し、粘着強度を短時間に増大させる装置です。 当社独自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協真エンジニアリング 本社

精密洗浄

精密洗浄

大宮工業の精密洗浄は、半導体及び液晶生産工場での製造工程でパーティクルの原因となる装置部品に付着したデポを除去し、生産に支障無きよう各種の部分を部品を再生します。 真空装置部品の精密洗浄だけでなく、精密加工部品の脱脂洗浄・排気配管等の洗浄、配管・サイレンサー・トラップなど生成物の除去も承ります。 ...大宮工業の精密洗浄は、半導体及び液晶生産工場での製造工程でパーティクルの原因となる装置部品に付...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込み...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

《１》【W-スピンスクラブ自動処理装置】 　◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 　◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 　◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ 　◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等々 　　豊富なオプションに対応可能です。 　◆各種カスタマイズにも対応します。 《２》...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

光学レンズ・ガラス基板の水洗浄と溶剤による乾燥システム

HFE/HFC溶剤による乾燥システムは素早く水分を除去し、水染みの発生…

で簡単に装置外へと取り出す事が出来ます。洗浄後の水染み発生の原因は乾燥用溶剤中に徐々に溶け込んでいく微量の水分です。この水分を確実に低濃度に保つ事が水染み「０」に繋がるのです。弊社の開発した「水分除去装置（オプション）」を設備する事で確実・安心の乾燥工程が期待できます。 又、近日中に発売予定の「HFE／HFC中アルコール濃度自動管理装置」との組み合わせにより、より安心な乾燥システムが構築できる事...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

オートピラー水平型装置

PinとAirを利用してMylar filmを除去！製品別に別途の厚さ…

本装置は印刷回路基板のDry Filmを保護するために表面に 密着された保護フィルム（Polyester Film）を現像工程前に 自動で剝離させる装置です。 Peeling方式で、PinとAirを利用してMylar filmを除去。 製品別に別途の厚さ調整が不要で、製品サイズに合わせた 区間設定できます。また、周期的に取替消耗品が不要なシステムです。 【特長】 ■製品別...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。 ...ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。 しかもファインソニック使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

実装基板表面クリーニングマシン（インラインタイプ）

基板上のほこり・ゴミ等をきれいに取り除きます！

プリント基板表面上のゴミ等を簡単・確実に除去する、 実装基板表面クリーニングマシン（インラインタイプ）です。 【特長】 ・SMTライン用に専用開発したクリーニングマシーンです。 ・基板下面にチップ部品が搭載されていてもクリーニング可能です。 ・イオナイザー※を出口部に標準装備。クリーニング後の基板への静電気等による 　ゴミの付着も防止します。　 　※お客様のご要望仕様により特注仕...

メーカー・取り扱い企業： ユニテク株式会社

半導体製造装置用チラー

半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、 一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは ・高い生産性 ・長期にわたる信頼性 ・操作ミスを誘発しない簡易な操作性 　が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に 　設計されたOEMモデルです。 ...MX500 ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』

Revasum社の枚葉処理装置！SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提…

『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できる ドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に 使用することでプロセスの簡素化を提供。 当社は半導体製造装置や装置用精密部品の輸出入商社として、 広く世界に革新技術を求め、お客様の求める製品を迅速にご提案いたします。 【特長】 ■150mm及...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

サービス　『半導体工程を支援します』

お客様に活力を！半導体後工程及びIT関連装置設計、製作

YMCは、「開発、提案型」企業を目指しお客様と共に歩む会社です。お客様の活力を実現するために、何度も繰り返し行い、しかも低コストで徹底して目的達成までのお手伝いをさせて頂きます。過去導入/協力開発実績には、T/F（Trim　Former）M/C、クリーンベンチ、自動再シールM/C、レンジ塗布装置、高速未充填除去M/C、レーザーマークM/C、タブレット自動エアーブローM/C、タブレットマガジン自動挿...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・シー

マニュアルプリカットテープマウンター PFM-9008

プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンター

PFM-9008は、プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンターです。 プリカットテープの貼付けには、高価な専用装置が必要でしたが、シンプルなマニュアル機で行います。 R&D、少量貼付のご要望に最適です。...■特長 ・貼付け動作とテープ送り出しのメカニカルリンク機構搭載。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・貼付ローラーの自動平衡機構内蔵。 ・UVカットカバー標準装備。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500/2000ｋHz）で、微細な出力調整ができ、1W刻みの安定した出力調整が可能です。最大出力がアップし、洗浄エリアの拡大が可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

半導体・電子部品、食品、医薬品、化粧品 業界の皆様からの問い合わせ多数！ 通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。 ■特徴１：生産・検査・試験プロセスの歩留まり改善 液体に溶け込んでいるガス成分（窒素、酸素等）を高効率で除去、または供給することで液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

ぐれ、自動化に対応 　■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース 　■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 　■清浄度クラス100以下を実現 　■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース 　■ガラス基板を非接触で搬送できる 　■振動吸収パレットにより、搬送時に振動を吸収 ※詳しくはカタログダウンロード、も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

株式会社イズミテクノ　事業紹介

ニーズに合わせた高度な表面処理を施します！

株式会社イズミテクノは、自動車エンジン部品、半導体・液晶製造装置、 医療機器、航空機部品等のアルミ素材に対し、超硬質・高耐蝕・ クラックレス・潤滑・高耐電圧等、お客様のニーズに合わせた 高度な表面処理を施した各種機能アルマイト皮膜の開発、 生産を行っております。 当社のオリジナル技術である「イズミコート」は、絶縁皮膜である アルマイト皮膜に導電性を持たせ、半導体製造行程等での静電気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イズミテクノ

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

『チャッククリーニングウェハ(CCW)』についてご紹介します。 当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 フォトリソグラフィーのほか、エッチングやスパッタリングの プロセスにおいて効果が期待できます。 【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。 リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。 洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。 本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

LCD基板端子洗浄装置

LCD基板端子洗浄装置

LCDパネル電極部にACFを張付ける前の端子部洗浄を行うセル生産対応の卓上型セミオート機...LCD基板のIC搭載端子部に付着した異物を特殊クリーニングヘッドと洗浄テープにより従来の洗浄方式では取りきれない異物除去が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

フィジカルファインエッチャー（PFE）

プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的…

幅610mm以下、厚さ0.2 ～ 2.0mm までのプリント配線板などの薄板材表面の精密物理洗浄をおこなう表面処理装置。 薄板材両面を均一に処理し、水洗、水切り乾燥までを連続自動処理可能。プリント配線板の洗浄、異物・酸化膜除去、デスミヤ、表面粗化、エッチングなどに使用可能。 ...•幅広ガン630mmを使用し、処理幅610mm以下までの薄板材の処理が可能。 •ワーク両面の処理が可能。 •...

メーカー・取り扱い企業： マコー株式会社

超音波発生器

半導体用ウェーハ洗浄から産業用部品洗浄まで幅広い分野の洗浄装置に応用で…

当社が販売している超音波発生器のメーカー、KYUNG　IL　MEGASONIC(韓国）は創業以来１０年の製造経験を持ち、国内の半導体メーカーはもとより、欧米にも輸出実績を持っています。 特に、三星電子、及びHYNIXには、過去3年間で約３００台以上の 実績を誇り、装置の完成度の高さと、安定性には定評が あります。 シリコンウェーハー、ガリウム砒素、ハードディスク、 液晶基板等の通常洗浄はも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

多段式HP-CP装置

【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...〇装置概寸：(L)4000×(W)3600mm ...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

精密洗浄

精密洗浄が必要な半導体装置本体や半導体関係部品など大物から小物まで幅広…

精密洗浄は目に見えない汚れや残留物の除去が目的です。 特に半導体製造過程では異物が付着してしまうと生産に不具合が生じます。 光伸産業では独自の洗浄技術をいかしクリーンな製品に仕上がります。 ...大型の薬品槽があるので大物が出来るのが得意としています。 半導体関係に限らず様々な製品にも対応可能ですので精密洗浄でお困りごとはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 光伸産業株式会社

千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。...【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現 （ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式） ○炉内酸素濃度100ppm以下 （気密性に優れたチャンパー構造） ○フラックスヒューム回収装置 炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

当社は、半導体・FPD製造装置を中心に機器の販売等を行っています。 今回は当社で実績のある『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

ティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 　薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 　薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。 超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

プラズマクリーナー　G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モー…

G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。 ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素＋アルゴン等)を選択することにより、有機質のみならず無機質汚染も確実に除去します。 HIC基板やリードフレームのボンディング面洗浄によるボンディング強度の向上や、表面改質(親水化)による濡れ性改善に最適なシステムです。...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

USシャワー（両面対応）超音波洗浄機

LCD・ウェーハ基盤の枚葉洗浄に最適

特殊反射方式で構造がシンプル・洗浄効率が高い超音波洗浄機...【特徴】 ○従来のUSシャワーに比べ 　約5倍の超音波強度（当社比）が得られ、洗浄効果が大幅にアップ ○枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能 ○0.2μｍ以下のパーティクルを 　ハイ・メガが除去し、超精密洗浄が可能 ○高周波（950kHz）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない ●その他機能や詳細については、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【基盤洗浄向け】逆浸透膜純水装置　AQLIA　NEOシリーズ

イニシャルコスト、ランニングコスト激減！　逆浸透膜方式の純水装置

AQLIA NEOシリーズは、イニシャルコスト、ランニングコストが市価の５０％になるように、目標を設定した高精度の純水装置です。 独自の逆浸透膜方式により、有機・無機物質などの様々な不純物を除去し、高品質の純水を造水します。 《特長》 ■独自のシステム基板(PNET2008)で使い勝手がさらに改善！ ■動作タイミングの任意設定機能。 　 PCでのプログラミングが不要で、現場で簡単に操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プライムネット

【衛生用品製造向け】逆浸透膜純水装置　AQLIA　NEOシリーズ

イニシャルコスト、ランニングコスト激減！　逆浸透膜方式の純水装置

AQLIA NEOシリーズは、イニシャルコスト、ランニングコストが市価の５０％になるように、目標を設定した高精度の純水装置です。 独自の逆浸透膜方式により、有機・無機物質などの様々な不純物を除去し、高品質の純水を造水します。 《特長》 ■独自のシステム基板(PNET2008)で使い勝手がさらに改善！ ■動作タイミングの任意設定機能。 　 PCでのプログラミングが不要で、現場で簡単に操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プライムネット