高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

液体からの除鉄装置『HIGAMS』＜無料サンプルテスト受付中＞

PR最大2.8Tの超強力磁力で回収が難しい微粒鉄粉を分離・除去。メンテナン…

『HIGAMS』は、主に製鉄所の鋼板ライン等で使用される クーラントやアルカリ洗浄液に含まれる微粒鉄粉を除去する装置です。 上記にかかわらず、様々な液体からの除鉄に活用可能です。 最大2.8Tの高磁力で鉄粉を吸着し、ステンレス摩耗粉などを回収可能。 クーラントの長寿命化のほか、廃液量の抑制による環境負荷の軽減にも貢献します。 また、磁極を振動させながら洗浄することで分離・排出する...

メーカー・取り扱い企業： 日本磁力選鉱株式会社 本社／エンジニアリング事業部

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。 ・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ 　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。 ・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ 　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し循環させることで常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。 ・シンプルなユーテリティは、優れたコストパフォーマンスと扱いやすさを両 　立。 ・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ 　ックスメーカーVAC社製 ...1.次世代型カートリッジ式ガス精製装置を搭載【特許技術】 2.酸素濃度・水分濃度を１ｐｐｍ未満に保つ能力があります。 3.洗...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

『PCシリーズ』は、プラズマ放電にさらすことで、従来の洗浄方法では 難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。 金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。 また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の 前処理などあらゆる試料のプラズマ処理に対応します。 低価格でコンパクト設計なので、実験・研究・開発に適しており...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

規格品装置　グローブボックス／ガス循環精製装置

グローブボックス、ガス循環精製装置のことならお任せください。

短時間で酸素・水分を除去し、最適な作業環境を創出。 【特徴】 ＜グローブボックス＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○真空型／ガス置換型対応 ○複数グローブ型／対面作業型対応 ○自動調圧機能により、グローブ作業が容易 ＜ガス循環精製装置＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○短時間でガス精製可能（水分、酸素） ○貴金属触媒とＮｉ触媒の選択が可能 ○製造装置に対応し、連続...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』

ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシン…

『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。 レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、 用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を 基材表面に強固に付与することができます。 本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。 詳しくはお問い合わせください。 【特長】 ■ロールtoロール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空乳化分散装置 研究用 小型卓上機　アヂホモミクサー(R)

【動画有】処理量に合わせて0.3L/0.5L/1Lから選べるラボ用ミキ…

真空乳化分散機アヂホモミクサー(R)の卓上型研究機です。 分解、洗浄がとても簡単です。容器を外すときはクランプを外し、側面をかきとる樹脂はワンタッチで外せます。底のスクレーパもワンタッチで外せるようになっています。 ■主な機能■ 高剪断乳化、スラリー高速微粒化分散、一般攪拌溶解、脱泡、熱交換...【アヂホモミクサー(R)の特長】 ■高速乳化分散機ホモミクサーMARK||と、混練均一用パドル...

メーカー・取り扱い企業： プライミクス株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置 　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリウムリークテスト装置 ○熱処理機器／熱測定機器 ○その...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

電子顕微鏡用液体ヘリウム冷却装置

トランスファーチューブはオリジナルの3重管式を採用！ヘリウムの消費量を…

『電子顕微鏡用液体ヘリウム冷却装置』は、液体ヘリウムを連続フローさせ サンプルを冷却するクライオスタットです。 電子顕微鏡は振動を嫌うため、ヘリウムのサプライ・リターンに 細いステンレス管を使用し、外部からの振動を除去しています。 冷却によるサンプルホルダーの膨張・収縮を最低限に抑えるため、 熱交換器全体にヒーターを施工し、温度コントロール時の膨張・収縮を抑え 高倍率でもサンプ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

オイルクリーナー

抜群のフィルタリング能力で真空ポンプを守る

水分による真空ポンプ内部のオイル劣化を防ぐオイルフィルトレーションシステム（油水分離装置）です。ラボマスターLMシリーズ、ハイパークリーンWSシリーズ、計4機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。 ...■□■特長■□■ ■オイルの汚れが原因となる真空ポンプのトラブル防止 強力な水分凝集作用によりエマルジョン化した油から水分を分離除去し、 粉体やゴミ...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

ポリイミド真空硬化 量産装置『VertaCure XP』

200mm/300mmウェーハに対応し、クラス1の環境下で最大2つのプ…

『VertaCure XP』は、生産実績のあるプラットフォームとして、 世界の大手企業で継続採用されているポリイミド真空硬化 量産装置です。 『VertaCure XP』1PMは50枚、2PMは100枚のウェハーを処理できます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【真空キュアの優位性】 ■低温ポリイミドの量産化へ適応 ■処理時間：低圧3.5時間 vs. 大気圧8時間 ...

メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.

継手、制御装置、真空装置等総合カタログ（ピスコ社製）

確かな製品づくりと豊富な品揃えで、あらゆる分野の産業界を支え続けていま…

関西理工社が取扱う、ピスコ総合カタログ（継手、制御装置、真空装置）です。クリーンエネルギーと共に歩み続け、ハイクオリティな製品で最先端ニーズにお応えします。配管用機器、真空用機器、駆動用関連機器など豊富な製品をご紹介しています。●カタログご希望の方はお問合わせ下さい。...【掲載内容】 ○継手シリーズ 　一般配管用 ： ワンタッチ継手、締付継手、バーブ継手 　特殊環境配管用 ： ワンタッ...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

真空凍結乾燥機『YFD型』

タッチパネル方式で運転パターンの入力も簡単！すべて受注生産の真空凍結乾…

『YFD型』は、製品を－20℃以下まで凍結させ昇華により水分を除去、 形状と色を残したままの乾燥（フリーズドライ）が可能な真空凍結乾燥機です。 タッチパネル方式で乾燥工程はオール自動運転のため温度、真空などの 設定、運転パターンの入力も簡単に変更できます。 受注生産で対応しているため、缶体寸法や能力、制御など 最適な装置の設計・製作を行います。 【特長】 ■すべて受注生産...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤスジマ

真空式自動脱気装置スピロベント・スーペリアー

工場の持続可能なパフォーマンスのためのシステム水のファーストクラスの真…

スピロテック社は、その全自動スピロベント･スーペリアー真空式自動脱気装置を完全に再設計しました。 性能の向上とメニューガイドによるコミッショニングにより、S400とS600は今までよりもさらに大容量のシステムに対応することができます。 さらに、新しいプラットフォームはクラウド経由のリモートアクセスと操作*を可能にします。...どのように機能するのか？ ある量のシステムの流体が循環する流体から取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本フローコントロールズ

(株)ブレス　大風量エアブロー『ブレスエアワイパー』

圧縮エアで、電線、チューブ、押出成型品などの『水切り』『乾燥』『冷却』…

【　用途　】 ・伸線酸洗い工程における水切りエアブロー乾燥 ・チューブ及びパイプのブロー乾燥 ・余分なコーティング、水、油の除去 ・洗浄機内における乾燥装置 ・ワイヤーメッキラインの水切り ・プラスチック成型機における抽出時の乾燥 ・板金および金属加工部品のブロー乾燥 ・他 『ブレスエアワイパー』は、コンプレッサーから供給された圧縮エアをブレスエアワイパー本体にて速度エネルギ...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

【食品工業向け部品でお困りの方必見！】改善事例集を無料進呈中

90％の節水に成功した事例から電気量の省エネ提案まで！　工場の改善提案…

『食品工場向け製品』では、メタルガードタイプや フッ素被服品などの「サニタリーパッキン」や、配管パイプ貫通部の 割れや歪みといった問題を予防し、長期的なメンテナンスコストを削減する 「フレキシブル配管カバー パイプタイト」をラインナップしております。 またニーズ・目的に合わせ、ベストなフィルターが提案可能な「フィルター製品」、 水処理・室内空間など幅広い用途でご使用頂ける「UV・オゾ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭ケミカルス

米国XALOY社製「BERINGERジェットクリーナー」

金属部品に付着した樹脂の安全で効果的なクリーニングに

ジェットクリーナーは、ダイ・スクリュー・スクリーンチェンジャー部品など金属部品に付着した樹脂を、熱と真空を利用して除去します。 トーチや手作業のブラッシング、化学処理のような時間のかかる複雑な処理を行う必要が無い為、クリーニングの時間、コストが削減でき、加えて安全性も向上します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○熱媒不要 →熱媒交換が必要ないためコスト...

メーカー・取り扱い企業： 極東貿易株式会社

ドライブロワ・ドライ真空ポンプの用途例

大型から小型まで。アンレットルーツにおまかせ！

ドライブロワ・ドライ真空ポンプの用途例をご紹介します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...【ドライブロワ用途例】 ○水処理 ○エアブロー ○船舶外装清掃 ○バキュームカー ○特殊ガス ○乾燥ライン ○焼却炉 ○溶接機 ○削粉の除去 【ドライ真空ポンプ用途例】 ○食品加工機 ○炭化水素系洗浄機用真空乾燥 ○水系洗浄機用真空乾燥 ○ミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アンレット

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を 　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』：大成技研

大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…

半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的に...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

プラズマクリーニング装置『GV10x型』

支持膜の親水化処理が1台で容易に行えるプラズマクリーニング装置！

『GV10x型』は、真空チェンバー用のプラズマクリーニング装置です。 SEM・TEM・XPS・SIMS等のチェンバー内の蓄積された有機系 コンタミネーション除去で、真空度の復帰からTEMグリッド、支持膜の 親水化処理がこの1台で容易に行えます。 【特長】 ■真空チェンバー用 ■支持膜の親水化処理が1台で可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社